スーパークリーンルーム対応 高精度6軸ロボット
繊細なプロセスが必要となる半導体用途に求められるロボットは、スーパークリーンルーム環境に適合しているだけでなく、 高い生産性を実現する信頼性の高さと精度が求められます。TX2 SCRシリーズはスーパークリーンルームでのキャリアの搬送、ウエハやマスクプロセスに多くの実績を持ちます。
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基本情報
TX2 SCRシリーズ リーチ範囲：670～2010mm 可搬質量：3.7kg～40kg 清浄度：ISOクラス2
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用途／実績例
キャリア搬送 マスク検査 マスク貼り付け ウエハ検査
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企業情報
ストーブリには、電気コネクタ、流体コネクタ、産業用ロボット、繊維機械の 4 つの事業部があります。卓越した専門性と長年培ったノウハウをもとに、様々な産業分野に対してメカトロニクス・ソリューションを提供しています。 1892 年、スイス/チューリッヒ近郊で小さな繊維機械の修理工場として設立されたストーブリは、現在、28 か国で事業を展開し、4 大陸の50 か国に販売店/代理店をもつグローバル企業へと成長しました。 1983年には日本でのビジネスにユニットとしてストーブリ株式会社が大阪に設立されました。
