簡易面取り機(WEB-01型)
ウェーハ外周端面を、簡易的に面取りする半自動の研削加工機
φ2インチ~φ6インチまでのウェーハに対応。 Si、ガラスのほか、SiC、酸化物、化合物ウェーハなど各種材料に対応いたします。 研究、開発、試作工程などで使用できるよう小型化しました。
- 企業:株式会社ジャステム
- 価格:応相談
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ウェーハ外周端面を、簡易的に面取りする半自動の研削加工機
φ2インチ~φ6インチまでのウェーハに対応。 Si、ガラスのほか、SiC、酸化物、化合物ウェーハなど各種材料に対応いたします。 研究、開発、試作工程などで使用できるよう小型化しました。