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サンプリング作業に最適化されたコンパクトな1台
低価格にも関わらず、大変コストパフォーマンスに優れた実体顕微鏡です。 弊社製クイックプロ、ラビトル３Dと組み合わせれば、 非常にコンパクトで使いやすい顕微鏡一体型のマニピュレーターシステムになります。 《製品の特徴》 ■標準で、LEDリング照明（反射）とCマウントアダプタを装備 ■観察倍率は7×～45×、補助対物レンズを併用すれば14×～90×までもカバーできます ■誇張の少ないナチュラルな見えにより、微細な作業での疲労を低減 ■オプションで、XYステージの用意もあり ※ 詳しくは以下リンクからお問合せください。
アクティブ防振内蔵！ステージ交換だけで電気化学測定や環境制御などに対応します
『CoreAFM』は、高いパフォーマンスと、どのような測定にも対応する 拡張性を兼ね備えた多機能コンパクト原子間力顕微鏡です。 トップビューカメラにより測定対象への位置合わせを容易に行うことができ、 サイドビューカメラによりカンチレバーとサンプル間の距離を目視可能。 また、カンチレバーホルダーはAFMヘッドユニットから簡単に着脱可能で、 ホルダーだけを安全に清掃したり洗浄することができます。 【特長】 ■コントローラ、電源、USBケーブルの接続ですぐに使用可能 ■高分解能24bitADC/DAC ■最大走査範囲(X Y Z)：100μm、100μm、12μm ■Zノイズレベル：40pm RMS値 ■液中測定を含めた32の標準測定モードと数々のオプションモードを搭載可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
XY電動ステージとオートフォーカス機能を搭載！ソフトウェアなどのカスタマイズも対応
『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
8インチ電動XYステージとオートフォーカス機能を搭載！正確に移動制御し測定エラーを防止
『TOMOS-80XY』は、あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、 MEMS、半導体ウェハなどの表裏パターンやアライメントマークのずれを 自動測定できる両面顕微鏡システムです。 円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを自動検出し、 中心座標同士のずれを測定。XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数箇所を自動測定します。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載しており、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【ソフト機能(抜粋)】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θずれ補正 ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ移動制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
