高純度黒鉛製品「半導体をはじめ様々な産業で活躍」
半導体をはじめ様々な産業で活躍 高密度/高純度な特殊炭素材料 SiC膜を被覆したClear Carbon
高純度黒鉛材料は、半導体製造工程で幅広く使用されています。 さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンは、エピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。 【特徴】 ・半導体をはじめ様々な産業で利用（特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えています） ・特殊炭素材料：高密度／高均熱特性／高耐酸化性 ・SiCコートグラファイト：高純度／優れた高温耐久性／高均熱特性 ・高純度グレード：特殊炭素材料は、さらなる耐酸化消耗性を備え、半導体用途に適した高純度グレードも取り揃えております。 ・Fine Grain コーティング：枚葉サセプター用には、結晶の緻密なFine Grain コーティングもございます。 ※詳しくはお問い合わせください
- 企業：株式会社渡辺商行
- 価格：応相談
