半導体をはじめ様々な産業で活躍 高密度/高純度な特殊炭素材料 SiC膜を被覆したClear Carbon
高純度黒鉛材料は、半導体製造工程で幅広く使用されています。 さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンは、エピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。 【特徴】 ・半導体をはじめ様々な産業で利用（特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えています） ・特殊炭素材料：高密度／高均熱特性／高耐酸化性 ・SiCコートグラファイト：高純度／優れた高温耐久性／高均熱特性 ・高純度グレード：特殊炭素材料は、さらなる耐酸化消耗性を備え、半導体用途に適した高純度グレードも取り揃えております。 ・Fine Grain コーティング：枚葉サセプター用には、結晶の緻密なFine Grain コーティングもございます。 ※詳しくはお問い合わせください
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基本情報
高温に強く、ヒートショックに耐えるクリアーカーボン！ 金属材料や他のセラミックス材料に見られない特性を活かしたクアーズテック社の各種炭素・黒鉛製品は、半導体をはじめ様々な産業で利用されています。 特に高純度黒鉛材料は、特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えており、シリコン単結晶引き上げ用ヒーター・ルツボ、液相エピタキシャル用ボートなど、半導体製造工程で幅広く使用されています。 さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンはエピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。 ※詳しくはお問い合わせください
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用途／実績例
【用途】 ・クリアーカーボン(SiCコートグラファイト)サセプター、各種治具：Epi用 ・シリコン単結晶引き上げ用ヒーター/カーボンルツボ/輻射シールド ・液相エピタキシャル用ボート ・化合物半導体溶融用ルツボ
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企業情報
1930年（昭和5年）に輸出入の専門商社として発足し2020年で創立90周年を迎え、渡辺商行グループの更なる発展に全力で取り組んでいるところでございます。 1960年代半ばより、半導体業界に対しケイ素(Si)関連製品を販売する方針のもと、石英加工品、シリコーンゴム成形品、洗浄装置などの自社製品を製造販売を開始いたしました。 モノづくり商社として、質の高い製品・サービスを提供することにより、IT社会の成長とともに成長してまいりました。 今後とも株式会社渡辺商行を中核とするグループ各社の社員が、毎日活き活きと働き、職場全体が学びの組織となる会社づくりを目指します。 そして、社会の真のニーズに応える強い意志を持ってこれからも日々あらゆる事業に邁進していく所存です。 今後とも益々のご支援とご愛顧を賜りますようお願い申し上げます。
