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高純度有機溶剤向けGEMÜステンレス製ダイアフラムバルブ
半導体産業では、イソプロパノール、アセトン、N-メチルピロリドン（NMP）などの有機溶剤が、物質の溶解や洗浄目的で使用されます。例えば、リソグラフィー工程では、フォトレジストを特殊な溶剤で除去します。溶剤は引火点が低く、また導電性があるため、ステンレス製コンポーネントが特に適しています。GEMÜはこの用途領域向けに、ステンレス製バルブコンポーネントの最適な製品ラインナップを提供しています。 ・高いKv値 ・コンタミを最小限にした設計 ・耐久性の高いアクチュエーターとダイアフラム でGEMÜバルブは定評です。世界中の半導体工場で数多く採用いただいており、20年以上の実績がございます。 半導体工場では下記の要求もあります。 ・洗浄品 ・防爆対応 ・電解研磨 上記もすべて対応可能です。 配管接続規格・アクチュエーターも幅広く取り扱っておりますのでお客様に合わせた最適な製品を選定させていただきます。
アクチュエータの材質にPPを採用！エアオペレートバルブのSDシリーズをご紹介
『SDシリーズ』は、接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、 耐薬品性・耐久性に優れているダイアフラムバルブです。 当社独自のシンプルな流路構造を採用し、アクチュエータ部の材質は、 PPを使用。 バルブ動作状態が確認できるインジケータを標準採用しました。 （流量調整付き仕様は除く） 【特長】 ■エアオペレートバルブ ■インジケータを標準装備 ■アクチュエータの材質はPPを採用 ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体・薬品関係などに！流量調整機構に差動ネジを採用したダイアフラムバルブ
『PSDXシリーズ』は、流量調整機構に差動ネジを採用し、 分解能を向上したダイアフラムバルブです。 流量変化量を緩やかにし、流量調整が容易になりました。 また、接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、 アクチュエーター部の材質はPVDFとなっています。 【特長】 ■エアオペレートバルブ ■流量調整機構に差動ネジを採用 ■分解能を向上したダイアフラムバルブ ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ■アクチュエーター部の材質はPVDF ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アクチュエータの材質にPPを採用！操作性に優れ、省スペース取り付けが可能
『SSVシリーズ』は、シャット機能とサックバック機能を一体化した サックバックバルブです。 接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、耐薬品性・耐久性に 優れています。また、操作性に優れ、省スペース取り付けが可能。 オプションでサックバック量調整付もご提案できます。 【特長】 ■シャット機能とサックバック機能を一体化 ■アクチュエータの材質にPPを採用 ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ■操作性に優れている ■省スペース取り付けが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
アクチュエータの材質にPVDFを採用！シャット機能とサックバック機能を一体化しました
『PSSシリーズ』は、操作性に優れ、省スペース取り付けが可能な ダイアフラムバルブです。 シャット機能とサックバック機能を一体化。 オプションでサックバック量調整付もご提案できます。 また、アクチュエータ部の材質は、PVDFを採用したガス透過対策品で、 接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用しました。 【特長】 ■シャット機能とサックバック機能を一体化 ■アクチュエータの材質にPVDFを採用 ■接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用 ■操作ポートの上出し仕様もラインアップ ■操作ポートは、ワンタッチ継手付きのため、チューブ接続が容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
流体によって駆動部分が腐食されない！テフロンシールバルブの技術情報を紹介
「PTFE（テフロン）シールバルブ」の利点は、駆動部分と、流体が流れる 弁体部分とが分断されているので、流体によって駆動部分が腐食されないことです。 ダイアフラムと弁シール部にPTFEを使用していることから、高い耐食性をもち、 熱にも強く汚れがつきにくいため、洗浄しやすいという利点もあります。 また、注意点としては、ゴミ、ホコリなどに非常に弱いため、使用流体には フィルターなどを取り付けて異物の混入を防ぐ必要があります。 当社では、パーフロロエラストマーいう耐薬品性に優れた特殊な弾性体を シール部に装着し、傷の発生を極力抑えるオプション、「ソフトシール」を 用意しております。 【PTFEシールバルブの利点】 ■高い耐食性 ■熱にも強く汚れがつきにくい ■洗浄しやすい ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クランプ接続で取り外しが簡単なダブルダイアフラムシステムの圧力監視システム。SIPおよびCIPにも対応。
このシステムはSIPプロセスでの洗浄蒸気温度に対応し、測定媒体とダイアフラムシール間の無菌接続を保証します。 表示部は主にダイアフラムの受圧状態の表示と電気信号による発信を行い、ダイアフラムの状態は赤/緑のエリアがある機械式圧力計のダイヤル面に表示されます。 ダイアフラムが破裂した場合、圧力測定器内の予備ダイアフラムが作動する事により、圧力測定とプロセス間の確実な分離が保証されます。 ＜製品スペック＞ ・圧力レンジ：-1 ～ +2.5 MPa ・出力：4-20mA、HART対応 ・電源：12-36V ・精度：±1.0% of FS ・周囲温度：10～40℃ ・媒体温度：0～135℃ ・接液部材質：SUS316L ・IP規格：IP65 ・接続規格：DIN32676 / 11866、BS4825、ISO 2852 / 2037 ・3-A準拠 詳細は製品データシートをご覧下さい。
クランプ接続で取り外しが簡単なダブルダイアフラムシステムの圧力監視システム。SIPおよびCIPにも対応。
このシステムはSIPプロセスでの洗浄蒸気温度に対応し、測定媒体とダイアフラムシール間の無菌接続を保証します。 表示部は主にダイアフラムの受圧状態の表示と電気信号による発信を行い、ダイアフラムの状態は赤/緑のエリアがある機械式圧力計のダイヤル面に表示されます。 ダイアフラムが破裂した場合、圧力測定器内の予備ダイアフラムが作動する事により、圧力測定とプロセス間の確実な分離が保証されます。 ＜製品スペック＞ ・圧力レンジ：-1 ～ +2.5 MPa ・出力：4-20mA、HART対応 ・電源：12-36V ・精度：±1.0% of FS ・周囲温度：10～40℃ ・媒体温度：0～135℃ ・接液部材質：SUS316L ・IP規格：IP65 ・接続規格：DIN32676 / 11866、BS4825、ISO 2852 / 2037 ・3-A準拠 詳細は製品データシートをご覧下さい。
クランプ接続で取り外しが簡単なダブルダイアフラムシステムの圧力監視システム。SIPおよびCIPにも対応。
このシステムはSIPプロセスでの洗浄蒸気温度に対応し、測定媒体とダイアフラムシール間の無菌接続を保証します。 表示部は主にダイアフラムの受圧状態の表示と電気信号による発信を行い、ダイアフラムの状態は赤/緑のエリアがある機械式圧力計のダイヤル面に表示されます。 ダイアフラムが破裂した場合、圧力測定器内の予備ダイアフラムが作動する事により、圧力測定とプロセス間の確実な分離が保証されます。 ＜製品スペック＞ ・圧力レンジ：-1 ～ +2.5 MPa ・出力：4-20mA、HART対応 ・電源：12-36V ・精度：±1.0% of FS ・周囲温度：10～40℃ ・媒体温度：0～135℃ ・接液部材質：SUS316L ・IP規格：IP65 ・接続規格：DIN32676 / 11866、BS4825、ISO 2852 / 2037 ・3-A準拠 詳細は製品データシートをご覧下さい。
クランプ接続で取り外しが簡単なダブルダイアフラムシステムの圧力監視システム。SIPおよびCIPにも対応。
このシステムはSIPプロセスでの洗浄蒸気温度に対応し、測定媒体とダイアフラムシール間の無菌接続を保証します。 表示部は主にダイアフラムの受圧状態の表示と電気信号による発信を行い、ダイアフラムの状態は赤/緑のエリアがある機械式圧力計のダイヤル面に表示されます。 ダイアフラムが破裂した場合、圧力測定器内の予備ダイアフラムが作動する事により、圧力測定とプロセス間の確実な分離が保証されます。 ＜製品スペック＞ ・圧力レンジ：-1 ～ +2.5 MPa ・出力：4-20mA、HART対応 ・電源：12-36V ・精度：±1.0% of FS ・周囲温度：10～40℃ ・媒体温度：0～135℃ ・接液部材質：SUS316L ・IP規格：IP65 ・接続規格：DIN32676 / 11866、BS4825、ISO 2852 / 2037 ・3-A準拠 詳細は製品データシートをご覧下さい。
クランプ接続で取り外しが簡単なダブルダイアフラムシステムの圧力監視システム。SIPおよびCIPにも対応。
このシステムはSIPプロセスでの洗浄蒸気温度に対応し、測定媒体とダイアフラムシール間の無菌接続を保証します。 表示部は主にダイアフラムの受圧状態の表示と電気信号による発信を行い、ダイアフラムの状態は赤/緑のエリアがある機械式圧力計のダイヤル面に表示されます。 ダイアフラムが破裂した場合、圧力測定器内の予備ダイアフラムが作動する事により、圧力測定とプロセス間の確実な分離が保証されます。 ＜製品スペック＞ ・圧力レンジ：-1 ～ +2.5 MPa ・出力：4-20mA、HART対応 ・電源：12-36V ・精度：±1.0% of FS ・周囲温度：10～40℃ ・媒体温度：0～135℃ ・接液部材質：SUS316L ・IP規格：IP65 ・接続規格：DIN32676 / 11866、BS4825、ISO 2852 / 2037 ・3-A準拠 詳細は製品データシートをご覧下さい。
クランプ接続で取り外しが簡単なダブルダイアフラムシステムの圧力監視システム。SIPおよびCIPにも対応。
このシステムはSIPプロセスでの洗浄蒸気温度に対応し、測定媒体とダイアフラムシール間の無菌接続を保証します。 表示部は主にダイアフラムの受圧状態の表示と電気信号による発信を行い、ダイアフラムの状態は赤/緑のエリアがある機械式圧力計のダイヤル面に表示されます。 ダイアフラムが破裂した場合、圧力測定器内の予備ダイアフラムが作動する事により、圧力測定とプロセス間の確実な分離が保証されます。 ＜製品スペック＞ ・圧力レンジ：-1 ～ +2.5 MPa ・出力：4-20mA、HART対応 ・電源：12-36V ・精度：±1.0% of FS ・周囲温度：10～40℃ ・媒体温度：0～135℃ ・接液部材質：SUS316L ・IP規格：IP65 ・接続規格：DIN32676 / 11866、BS4825、ISO 2852 / 2037 ・3-A準拠 詳細は製品データシートをご覧下さい。
