更新日： 集計期間:2025年06月11日～2025年07月08日
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安心設計・低運転音を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 60kPa以下(V/B/VB) ■常用排気圧力 80kPa以下(VH/BH/VBH) ■流量 1350～2200L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により10％アップ(当社従来比)
安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 推奨60kPa以下(最高80kPa) ※KRF15Aは最高75kPa ■常用排気圧力 推奨60kPa以下(最高70kPa) ■流量 280～685L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により30％アップ(当社従来比)
安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 KRF04A：55kPa以下 KRF08A：推奨60kPa以下(最高75kPa) ■常用排気圧力 KRF04A：50kPa以下 KRF08A：推奨60kPa以下(最高70kPa) ■流量 75～155L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応 ■低運転音…静音化設計により2～5dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により20％アップ(当社従来比)
安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 推奨60kPa以下(Vタイプ) ■常用排気圧力 推奨80kPa以下(Bタイプ) ■常用圧力 推奨真空度と排気圧力の合計で60kPa以下（V・Bタイプ） ■流量 280～685L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応・RoHS指令対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により30％アップ(当社従来比) 【用途】 印刷・製本機材・包装機・自動機などの真空源
新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮！
【主な特徴】 ◆ 環境に優しい完全オイルフリー ◆ 排気速度 ２５０ｍ３／ｈ（ＳＰ２５０）、６３０ｍ３／ｈ（ＳＰ６３０） ◆ 新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮（最高到達真空度：１Ｐａ以下) ◆ 新設計フラッシングキット搭載（オプション）により内部洗浄時間とコストを飛躍的に削減 ◆ 完全空冷（オプションにて水冷も可能） ◆ 独自のべアリング構造により、メンテナンス時ベアリングの脱着が不要。通常メンテナンス時間を大幅に短縮 ◆ 省エネ設計 ◆ パージガス機能を搭載。バインダー等、パーティクル吸い込みからシール部を完全保護 ◆ 独自のモニタリング機能 ＳＰガードを搭載。運転状況（振動、内部温度、背圧、等）を液晶モニターにて常時表示
独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポンプ
◆独自設計のスクリューロータにより、 従来ドライポンプでは不向きとされていた 凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの 吸引を含むハードプロセスにおいても 安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、 堅牢性を重視した構造設計により、 ハードプロセスにおいても 安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、 容易に洗浄作業や分解作業ができ、 ランニングコストを 最小限に抑えます。 ●1Pa以下の優れた到達圧力が得られます。 ●パーティクルが ドライポンプ内部に堆積しにくい構造です。 一般的なドライポンプに比べ、 粉体・生成物・液体の排出性に優れます。 ●ポンプ回転速度が低速なため、 軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。 ●オプション品 多彩なアクセサリーを取り揃え、 ご用途に応じた最適なドライポンプをご提案します。
SEMICON Japan 2023に出展！ハーシュプロセスにおいて従来比２倍の耐久性を誇るドライポンプを実機展示！
★SEMICON JAPAN 2023に出展します★ 会期： 2023年12月13日（水）～15日（金） 会場： 東京ビッグサイト 東3ホール 小間番号 3736 【製品説明】 COBRA Semiconファミリーはスクリュー式ドライポンプです。半導体、ソーラーモジュール、フラットスクリーンの製造や、様々なコーティング用途など、要求が極めて厳しいプロセスで使用する際に特に優れた効率を発揮します。半導体業界の複雑な条件のアプリケーションに特適用可能な設計です。 【特長】 COBRA Semiconファミリーではいくつかのシリーズを展開しており、それぞれに特長があります。 ■ DSシリーズ：業界標準、高気密、従来型ベアリング ■ BAシリーズ：フライングベアリングシステム、空冷 ■ BCシリーズ：超低温真空ポンプ、フライングベアリング、水冷 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クリーン、ドライ環境に最適なドライポンプ
クリーン、ドライ環境に最適なドライポンプです。 圧縮には潤滑油、シール油あるいはギアオイルを全く使用しない ドライポンプです。 ◆ドライポンプの特徴◆ ・高効率 スクロール技術により、低い消費電力で高い到達真空、 排気能力を達成 空冷式で低ランニングコスト ・メンテナンス 接触圧縮で、部品は長寿命 ・高い信頼性 シンプルな構造により、取扱いが容易な真空ポンプ ・低騒音 ・コンパクト設計で軽量かつ移動が容易 ・パージの窒素は不要
ユーザーの柔軟性を備え、世界中どこででも一貫した性能を。
『nXLi』は、静音運転と小さな設置面積を実現し、コンパクトながら便利、 かつ柔軟で高性能な空冷式単相ドライポンプです。 オイルを必要としない非接触型のポンプメカニズムは、メンテナンス無しで、 オイルを廃棄する手間もかけずに、最大稼働時間を最大5年延ばします。 また、逆流防止のため排気バルブを内蔵しています。 【特長】 ■空冷式単相ドライポンプ ■性能向上されたEMC対応機種 ■インテリジェントドライブ一時的過負荷保護 ■標準として手動制御、簡易リモート制御、シリアル通信制御 ■システムビルダーによって更に多くの制御オプションが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポンプ
豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、 省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを 有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、 ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、 省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。 ●非腐食性ガスの場合、 冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。 ●ポンプコントローラを搭載しており、 手動運転、遠隔操作が可能です。 ●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。 アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。 ●ポンプ回転速度が低速なため、 軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。 ●キャスター付
一般産業向けのミドルレンジの真空ポンプ。実績のあるGXSをベースに、シンプルな制御設計により低いランニングコストを実現します。
EXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、排気速度450m3/hrと750m3/hrの2モデルから選択できます。 標準でインバーターが搭載されており（コントローラー無し）、モーター回転数を調整し消費電力を低減いたします。 750m3/hrのモデルでは、ブローオフバルブ機能を有しており、低真空圧近くの気体をバルブを介して排気することにより、モーターへの負荷軽減による更なる省エネ効果が期待出来ます。 ＜特長＞ ・ 高い信頼性と優れた排気速度 エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用 ・到達圧力 <1Pa ・ ランニングコストの低減 高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減 ブローオフバルブ機能によるモーターへの負荷軽減（750m3/hrのモデルのみ） ・ パージ機能により幅広い用途に適応 ・ 高電圧仕様（380～460V） ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
