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独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポンプ
◆独自設計のスクリューロータにより、 従来ドライポンプでは不向きとされていた 凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの 吸引を含むハードプロセスにおいても 安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、 堅牢性を重視した構造設計により、 ハードプロセスにおいても 安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、 容易に洗浄作業や分解作業ができ、 ランニングコストを 最小限に抑えます。 ●1Pa以下の優れた到達圧力が得られます。 ●パーティクルが ドライポンプ内部に堆積しにくい構造です。 一般的なドライポンプに比べ、 粉体・生成物・液体の排出性に優れます。 ●ポンプ回転速度が低速なため、 軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。 ●オプション品 多彩なアクセサリーを取り揃え、 ご用途に応じた最適なドライポンプをご提案します。
ケミカル用途のクロータイプのドライポンプであり、プロセスガスの局所的な凝縮と微粒子の蓄積を最小化します。
ドライポンプEDPシリーズは、主にケミカル業界および製薬業界での蒸留や乾燥プロセスにて使用頂いているポンプです。 非接触でそれぞれ逆回転するクローローターとポンプ垂直機構を採用しており、ポンプ内のプロセスガスの局所的な凝縮と微粒子の蓄積を最小化します。 排気速度は、80m3/h、160m3/h、250m3/h、および400m3/hの4種類で、到達圧力は20～50Paです。 その他、トルクリミッタ、ラビリンスシール、PTFEリップシール、熱交換器が採用されています。 防爆対応のポンプであり、外部独立機関により耐爆性試験済みで欧州防爆基準のATEXに準拠しております。 日本国内では、日本防爆モーターの後付けが可能です。
一般産業向けのハイエンドレンジの真空ポンプであり、信頼性の高いパフォーマンスを発揮します。
GXSシリーズは、スクリュータイプの真空ポンプであり、一般産業向けに多くの納入実績がある製品です。 コントローラ、インバーターを標準搭載しており、オプション選択により外部システムとの通信が可能となります。 パージ機能を有しており、シャフトパージに対応、ポンプ内部を洗浄・フラッシングする機能（オプション）もあり、幅広い用途・プロセスに対応できるのが特長です。 排気速度に応じて、メカニカルブースター付属仕様（ケーシング内にポンプと一緒に収まる）も選択頂けます。 ＜特長＞ ・コントロールパネルを標準装備 リモート/ローカルON/OFFやアラーム・ワーニングを表示 ・ 高い信頼性と優れた排気速度 エドワーズ独自のスクリューローター（特許取得）を採用 優れた温度制御システムの採用で高速排気とロングライフを実現 ・到達圧力 1Pa（ポンプ単体）、0.1Pa（ポンプ＋メカニカルブースター） ※製品詳細は［PDFダウンロード］からカタログ資料をご覧いただくか、お気軽に［お問い合わせ］ください。
クリーン、ドライ環境に最適なドライポンプ
クリーン、ドライ環境に最適なドライポンプです。 圧縮には潤滑油、シール油あるいはギアオイルを全く使用しない ドライポンプです。 ◆ドライポンプの特徴◆ ・高効率 スクロール技術により、低い消費電力で高い到達真空、 排気能力を達成 空冷式で低ランニングコスト ・メンテナンス 接触圧縮で、部品は長寿命 ・高い信頼性 シンプルな構造により、取扱いが容易な真空ポンプ ・低騒音 ・コンパクト設計で軽量かつ移動が容易 ・パージの窒素は不要
半導体プロセスでの経験と実績を基に、最新のテクノロジーを搭載した、工業用ドライポンプ。
パージ機能の選択や排気ポートの取り出し位置や洗浄オプションを装備しており、 アクセサリ等幅広い選択肢を準備しております。 また、堅牢構造で長期メンテナンスフリー。 高効率インバーターモーターの採用で電力消費量を低減。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
安心設計・低運転音を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 60kPa以下(V/B/VB) ■常用排気圧力 80kPa以下(VH/BH/VBH) ■流量 1350～2200L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により10％アップ(当社従来比)
小型のドライ真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 55kPa以下 ■流量 29L/min(60Hz)以下 【特長】 ■サイド調整不要のフリーロータ方式を採用 ■無給油式のため油分を含みませんから、作業環境や製品を油で汚しません ■ゴムまたはビニールホースを直接接続することができます。
小型のピストン式真空ポンプ
【仕様】 ■到達圧力 10.7～2.7kPa[abs] ■流量 33～85L/min(60Hz) 【特長】 ■オイルフリー 特殊樹脂製カップシールを採用 ■低運転音・軽量 53dB(参考値)、アルミケージング一体型 ■メンテナンスが容易
コンビネーションポンプをパッケージ化
【仕様】 ■常用真空度 60kPa以下(CBXP□A-VB-02B/VV-02B) (CBXP□B-VB-02B 03B/VV02B 03B) ■常用排気圧力 80kPa以下(CBXP□A-VB-02B) 70kPa以下(CBXP□B-VB-02B 03B) 60kPa以下(CBXP□A-BB-02B CBXP□B-BB-02B 03B) ■流量 1115～2200L/min(60Hz) 【特長】 ■パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、ブロワ・ブロワ等の各種組合せにより、19機種を取り揃えました。 ■低運転音を実現。当社従来比3～5dB低減しました。 ■実績ある標準型ポンプを搭載し、メンテナンス性が向上しました。
CEマーキング対応の高真空型ドライポンプ
【仕様】 ■到達圧力 8kPa[abs]以下 ■常用排気圧力 到達圧力～大気圧力までワイドレンジ使用可能(但しKHF08-VHは到達圧力～48kPa[abs]) ■流量 150～400L/min(60Hz) 【特長】 ■CEマーキング対応。(04 01Bタイプ) ■到達圧力での連続運転可能。 ■ブレード交換が容易。(KHAシリーズ比) ■運転真空度が高く、エゼクターの代替えや電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適。
高真空型ドライポンプ
【仕様】 ■到達圧力 8kPa[abs]以下 ■流量 65～400L/min(60Hz) 【特長】 ■到達圧力(8kPa以下)での連続運転可能 ■運転真空度が高く、電子部品等の小部品の自動機(装着機等)に最適です。
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
アルミハウジング、耐久性および低騒音、低振動、小型ながら高流量を実現し、オイルフリーメンテナンスフリーです。 シリンダ－内でピストンが往復運動することによって、真空用・排気用としてご利用いただけます。
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
アルミハウジング、耐久性および低騒音、低振動、小型ながら高流量を実現し、オイルフリーメンテナンスフリーです。 シリンダ－内でピストンが往復運動することによって、真空用・排気用としてご利用いただけます。
業界トップクラスの基本性能
•コーティング、フリーズドライ、リークディテクションなど一般産業向け •高スループット •10m3までの大型チャンバーの排気が可能（オプション） •耐腐食ガス対応モデル（Gバージョン）
