省エネ運転が可能で、モニタリング・保護機能を搭載した次世代型ドライポンプ
豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、 省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを 有したスマートドライポンプです。 ●独自設計の面シールスクリューロータにより、 ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。 ●排気速度重視の「パワーモード」、 省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。 ●非腐食性ガスの場合、 冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。 ●ポンプコントローラを搭載しており、 手動運転、遠隔操作が可能です。 ●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。 アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。 ●ポンプ回転速度が低速なため、 軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。 ●キャスター付
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基本情報
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価格情報
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納期
用途／実績例
◆主な用途◆ ●真空はんだ付け装置（パワー半導体） ●薄膜形成装置（金型・電子デバイス） ●吸着搬送用真空源（小型電子部品） ●封止装置（半導体チップ） ●断熱層減圧（ガス貯蔵タンク）
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企業情報
神港精機は技術主導のメーカーとして、特に真空機器分野において蓄積した数々のノウハウを生かし、ユーザーニーズに沿った革新的な製品を送り出しています。 又、近年はエレクトロニクス・新素材などの最先端分野へ挑戦し特長ある技術の高度化と有機的結合により、真に価値のあるハードウェアとソフトウェアの開発を目指し取り組んでいます。