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特に光学ミラーの”アオリ調整”に適した形状です。１軸アオリ（θx）と２軸アオリ（θx、θy）があります。
ピエゾステージ PT光学ミラー用タイプは、微小な傾斜や回転・アオリ角度の 調整が可能です。 レーザビームスキャニング、ミラーアライメント、面合わせに最適です。 圧電素子を用いて、回転・傾斜などの角度変位を高速且つ精密に行えます。 弾性ヒンジ構造による高速な微小角変位を行うタイプです。 回転、傾斜はもちろん複数軸の同時制御により直線動作も可能です。 圧電素子の高い応答性と内蔵センサ信号のフィードバック制御により、 高速・高精度で微小角の位置合わせが可能となります。 構成要素がシンプルなので本体サイズも小さくでき、装置にも組み込みが容易です。 単純な傾斜型（チルト）や回転型、または仮想回転中心を持ったゴニオ型、さらには3点支持構造の平面アオリまで、様々な角度調整用をラインナップしています。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
小型パッケージながら大きな偏向角が可能！歪みセンサによる高リニアリティ！幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現
『S-335』は、小型パッケージながら、大きな偏向角が可能な 高速チップ・チルトピエゾミラーステージです。 独立駆動の2ペアのピエゾアクチュエータにより、幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現。 また、内蔵されている高分解能のフルブリッジ歪みゲージセンサ(SGS)が、 絶対位置制御、すぐれた再現性を可能にします。 【特長】 ■チップ／チルト角35mrad、光偏向角70mrad(～4°) ■歪みセンサによる高リニアリティ ■ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数 ■パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上 ■小型パッケージながら、大きな偏向角が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
衛星通信・ビーム安定化などのアプリケーションに最適な大角度駆動が可能なステージです。
※ビームの偏向角度 最大 8° ※共通の回転中心を持つ直交する2つのチップ/チルト軸 ※パラレルキネマティクスによる両軸の同一動特性 ※コンパクトなデザイン ※フレクシャーによる高耐久性と無摩擦 ※リニアエンコーダによる位置測定 Tip/tilt 動作レンジ： ± 35 (± 2°) mrad 最小移動動作量： < 1 μrad 再現性： < 2 μrad リファレンス精度： ≤ 50 μrad リニアリティ： < 0.2 % ステップ応答： < 20 ms（荷重等による） ミラー最大直径：1インチ 最大荷重：20g OEM供給用につき、複数台～数百台などカスタマイズもご相談ください。
