高速チップ・チルトピエゾミラーステージ『S-335』
小型パッケージながら大きな偏向角が可能！歪みセンサによる高リニアリティ！幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現
『S-335』は、小型パッケージながら、大きな偏向角が可能な 高速チップ・チルトピエゾミラーステージです。 独立駆動の2ペアのピエゾアクチュエータにより、幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現。 また、内蔵されている高分解能のフルブリッジ歪みゲージセンサ(SGS)が、 絶対位置制御、すぐれた再現性を可能にします。 【特長】 ■チップ／チルト角35mrad、光偏向角70mrad(～4°) ■歪みセンサによる高リニアリティ ■ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数 ■パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上 ■小型パッケージながら、大きな偏向角が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
