更新日： 集計期間:2025年11月19日～2025年12月16日
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マシン仕様にJust-Fit！カスタムメイドリニアステージ実例を多数掲載
当資料は、進化型リニアステージ『τ Linear Stage』の カスタムメイド実例集です。 「Xステージ」をはじめ、「X2ヘッドステージ」、「XYステージ」、 「円弧型ステージ」などカスタムメイドリニアステージ実例を豊富に掲載。 CKD日機電装は、お客様のマシン仕様にジャストフィットする高品質な リニアステージをご提供いたします。ぜひ、ご一読ください。 【掲載内容】 ■特長 ■カスタムメイドリニアステージ実例 ■リニアステージ生産体制 ■位置決め精度校正システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【真空対応】リニアエンコーダの位置情報で再現性が取れる10nm分解能で50mm動作の高性能位置決めステージ
真空中で使用するためにアウトガスを出さない部品でステージを作りました。 そのため、真空チャンバー内にステージを導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 50mmストロークを10nm分解能で動作させることができます。
真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって 「50nm」または「100nm」になります。
10nm分解能で位置決め！単軸、多軸に対応したリニアステージ
FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。 ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。 エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの中から選択可能です。
