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高速フォーカス・高精度検出で、実装工程の課題を解決！
電子部品実装業界では、部品の正確な配置と高品質な接合が求められます。特に、高密度実装が進む中で、位置決め精度の向上と、ウエハ反りなどによる焦点誤差の解消が重要です。不正確な位置決めは、製品の不良や歩留まりの低下につながる可能性があります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を持ち、高さ90mmのコンパクトな構造で、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・電子部品の実装工程 ・半導体製造工程 ・検査工程 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・ウエハ反りなどによる焦点誤差の解消 ・実装工程の効率化
高速フォーカス・高精度検出で、組立工程の品質と効率を向上！
精密機械組立の分野では、部品の正確な位置決めと組み立てが、製品の品質と性能を左右する重要な要素です。特に、微細な部品の組み立てや、高精度な位置決めが求められる工程においては、わずかな誤差が製品の不良や性能低下につながる可能性があります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を備え、精密な位置決めを可能にします。ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消し、組立工程の効率化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・精密部品の組み立て ・光学部品の位置決め ・半導体製造装置 ・検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めによる品質向上 ・組立時間の短縮 ・不良品の削減 ・作業効率の向上
真空中で使える リニアエンコーダによる5nm分解能の高性能位置決めステージ
位置決めステージにアウトガス対策を施してあるため、真空チャンバーにそのまま導入可能です。 ステージ内蔵の光学式リニアエンコーダの位置情報によるフルクローズドループ制御を行っているため、高精度な繰り返し位置決め性能を持っています。 20mmストロークを5nm分解能で動作させることができます。
ナノメートル精度のポジショニングステージで微細加工をサポート！
半導体業界の微細加工においては、高精度な位置決めが不可欠です。特に、ウェーハの製造プロセスや、微細な回路パターンの形成においては、ナノメートル単位での正確な位置制御が求められます。位置決め精度が低いと、製品の歩留まり低下や性能劣化につながる可能性があります。当社のナノ精度位置決めステージは、±2nmの位置決め安定性を実現し、100mm/sでの高速安定性も±0.1%を誇ります。これにより、半導体製造における微細加工の精度向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体製造装置 ・半導体検査装置 ・微細加工プロセス 【導入の効果】 ・歩留まりの向上 ・製品品質の向上 ・生産性の向上
微細工程の精度を支える、半導体・センサ実装向け高精度単軸ステージ
半導体・センサ・パッケージング工程では、微細化・高集積化の進展により、位置決め精度と動作の安定性が製品品質を大きく左右します。特に、チップ実装やワイヤボンディング、検査・アライメント工程においては、わずかな位置ズレや振動が不良や歩留まり低下の原因となります。当社のナノ精度位置決めステージは、高剛性構造と安定した直線動作により、微細工程に求められる高精度な位置決めを実現します。コンパクト設計で装置への組み込み性にも優れ、繰り返し精度が求められる半導体・センサ製造工程において、安定した生産と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体チップの位置決め・アライメント工程 ・センサ実装・パッケージング工程 ・ワイヤボンディング・ダイボンディング装置 ・微小部品の搬送・供給ステージ ・半導体・電子部品の検査・調整工程 【導入の効果】 ・微細実装・検査工程における位置ズレの低減 ・繰り返し動作の安定化による歩留まり向上 ・装置調整時間の短縮による生産効率向上 ・コンパクト化による装置設計自由度の向上 ・長時間稼働でも安定した品質再現性の確保
実装精度と生産安定性を支える、高剛性・高精度リニアステージ
エレクトロニクス製造・実装工程では、部品の微細化・高密度化が進む中で、位置決め精度と動作の安定性が製品品質を大きく左右します。特に、チップマウントや実装工程においては、わずかな位置ズレや振動が、実装不良や接合不良、歩留まり低下の原因となります。また、高速化が進む生産ラインでは、精度を維持したまま安定した繰返し動作が求められます。N2ステージは、高剛性構造と高精度な直線動作により、実装工程における安定した位置決めを実現します。高い繰返し精度と滑らかな動作特性により、部品搭載や位置合わせを確実に行い、実装品質の安定化と生産効率の向上に貢献します。電子部品実装装置や組立工程において、信頼性の高い駆動ステージとして活用できます。 【活用シーン】 ・チップマウンタ・実装装置の位置決め軸 ・電子部品の組立・搭載工程 ・半導体デバイス実装・アライメント工程 ・実装前後の検査・位置補正工程 【導入の効果】 ・実装位置ズレの抑制による不良率低減 ・繰返し精度向上による品質の安定化 ・高速動作と安定性の両立による生産性向上 ・装置停止や再調整の削減による稼働率向上
高速フォーカス・高精度検出で、3D造形の品質を向上。
3Dプリンティング業界では、造形物の精度と品質が重要です。特に、積層造形においては、各層の正確な位置決めが、造形物の形状精度に大きく影響します。位置ずれは、造形不良や強度の低下につながる可能性があります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度により、3Dプリンターの造形精度を向上させます。 【活用シーン】 ・3Dプリンターの造形プラットフォーム ・レーザー加工機 ・材料供給システム 【導入の効果】 ・高精度な造形が可能 ・焦点誤差を解消 ・造形時間の短縮
高速フォーカス・高精度検出で、位置合わせの課題を解決！
光学業界では、レンズやセンサーなどの精密部品の位置合わせが、製品の性能を左右する重要な要素です。特に、高精度な位置決めが求められる場面では、わずかな誤差が製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消し、高精度な位置合わせを実現することが重要です。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を備え、これらの課題に対応します。 【活用シーン】 ・レンズやセンサーの位置合わせ ・半導体製造におけるウエハの位置決め ・検査装置における部品の位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置合わせによる製品品質の向上 ・焦点誤差の解消による歩留まりの向上 ・5軸自由度による柔軟な対応力
高速フォーカス・高精度検出で、精密検査の精度向上に貢献！
医療機器業界における精密検査では、高精度な位置決めと安定した動作が求められます。特に、微細な構造を扱う検査においては、わずかなブレや振動が検査結果に大きな影響を与える可能性があります。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、5軸の自由度と高いサーボ帯域幅により、ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消し、正確な位置決めを実現します。 【活用シーン】 ・顕微鏡検査 ・画像診断装置 ・細胞観察 ・精密測定 【導入の効果】 ・検査精度の向上 ・検査時間の短縮 ・装置の小型化 ・検査結果の信頼性向上
高速フォーカス・高精度検出で、パネル検査の品質向上に貢献！
ディスプレイ製造業界のパネル検査においては、高精度な位置決めと高速な焦点調整が求められます。特に、パネルの反りや微細な欠陥の検出においては、正確な位置決めが検査精度を左右する重要な要素となります。従来の検査装置では、位置決め精度や調整速度に課題があり、検査時間の増加や不良品の発生につながる可能性がありました。多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、5軸の自由度と高速なサーボ帯域幅により、これらの課題を解決し、検査の効率化と品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・パネルの表面検査 ・異物検出 ・寸法測定 【導入の効果】 ・検査時間の短縮 ・不良品の削減 ・検査精度の向上
