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真空環境での位置決め課題に。ピーアイの真空対応製品一覧

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ヘキサポッドからステージ、ピエゾまで、真空環境下に対応した製品

最終更新日:2026年10月06日

PIジャパン株式会社
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ヘキサポッドからステージ、ピエゾまで、真空環境下に対応した製品

真空環境で、こんなお悩みはありませんか? ・真空環境で位置決め精度が安定しない ・摩耗・ガス放出の影響が気になる ・限られた設置スペースで構成したい などの課題から、真空環境では、通常仕様の製品では性能を十分に発揮できません。 ピーアイの真空対応製品は、高精度・低アウトガス・UHV対応を実現し、半導体・分析装置・研究用途で多数の実績があります。 真空環境対応製品を一覧でWebサイトにてご紹介しています。詳細は、以下の掲載カタログをダウンロードのうえご確認ください。 また、公式サイトの製品ページでは、本カタログに掲載されていない製品もご覧いただけます。ぜひあわせてご確認ください。

    その他機械要素
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真空環境での位置決め課題に。ピーアイの真空対応製品一覧

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詳細はカタログをご覧になるか、公式サイトの製品ページをご覧ください。 また、製品選定の相談も承っておりますので、お気軽にご連絡ください。 ※関連カタログに掲載している製品カタログは、真空対応製品の一部をご紹介しています。ページ上部の公式サイトの製品ページから製品一覧をご確認いただけます。

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用途/実績例

高真空(HV)または超高真空(UHV) 。

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25mm動作で60mmサイズの高精度小型モータステージ

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小型リニアステージ『L-505』

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Physik Instrumente(PI)は、ドイツ・カールスルーエに本社を置く精密位置決め技術のグローバルリーディングカンパニーです。産業オートメーション、フォトニクス、半導体、顕微鏡・ライフサイエンスなどの分野に向けて、高精度ポジショニングシステムおよびピエゾテクノロジーを提供しています。 50年以上にわたり、世界中の企業や研究機関に採用されており、欧州・北米・アジアに9つの生産拠点と16の営業・サービス拠点を展開。500件以上の特許を保有し、開発・製造・品質検査までを自社で一貫して行うことで、高い技術力と品質を支えています。 日本法人は30年以上にわたり国内で事業を展開しており、技術相談から導入サポートまで、日本のお客様のニーズに合わせた高精度モーションソリューションを提供しています。

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