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比較的軽量の製品に好適！適用範囲が広いため、さまざまなめっき処理に対応できます
当社の取り扱う片持ち走行型の『天井走行型全自動装置』をご紹介します。 天井走行型に比べ比較的軽量の製品に適し、適用範囲が広いため、 さまざまなめっき処理に対応可能。 走行はプログラム変更により高速走行もでき、サイクルタイムを縮める ことができます。また、異常発生時のロット追跡が可能です。 【特長】 ■異常発生時のロット追跡が可能 ■様々な箇所にセンサーを取り付け衝突防止、二重投入・オーバーラン等を 防止することが可能 ■生産管理システムの導入により様々なデーターを管理できる (処理時間・電流値・温度・揺動回数・揺動スピード・その他、ご相談) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
タクト時間は最少45秒から生産可能！ラック式としては大量生産ができます
当社の取り扱うエレベーター式の『天井走行型全自動装置』を ご紹介します。 スペースを有効利用できるため大量に処理する場合に適しています。 また、タクト時間は最少45秒から生産可能、ラック式としては 大量生産が可能です。 さらに、容易に飛越ができる機構を備えており幅広いめっきに適し、 異常発生時のロット追跡もできます。 【特長】 ■スペースを有効利用できるため大量に処理する場合に適したタイプ ■容易に飛越ができる機構を備えており幅広いめっきに好適 ■作業効率と製品品質を均一にするための生産管理システムを導入 ■さまざまなデーターを管理することができる (処理時間・電流値・温度・揺動回数・揺動スピード・その他、ご相談) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Premtek RTP-1200A（SEC）（SEF）
4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。 ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現します。 熱源はハロゲンランプで、上下両面配列です。 温度測定範囲は20℃～1250℃となります。熱電対とパイロメータがリアルタイムの温度測定をし、その結果をスマートPIDおよびマルチゾーンSCRが制御することで、優れた温度コントロールを可能にします。 真空チャンバ内には酸素濃度モニターを搭載し、酸素フリーな環境維持をサポートします。 Windowsベースのソフトウェアはマルチリンガル対応。グラフィカルなユーザーインターフェースで直観的な操作を可能としています。 累積出荷台数500台以上の実績で得られたプロセスプロファイリングのノウハウと、常時5台用意されたデモ環境で、貴社のプロセス開発における課題解決のお手伝いを致します。
制御システムはPC＋PLC！飛翔観察ユニットなどのオプションもご用意
当社で取り扱っている、全自動S-IJP装置の『IJN-2400-AT/IL』について ご紹介いたします。 飛翔量は粘度によるが、5.6picoℓ〜550picoℓで、粘度範囲も液剤によるが 0.1m〜300mPa・Sです。 また、飛翔観察ユニット、ノズルクリーニングユニット、10μg秤量ユニット といったオプションもございます。 【共通仕様(一部)】 ■Head Unit：S-IJP＋温調Unit (Max70℃)Max6Heads ■飛翔量：5.6picoℓ〜550picoℓ(粘度による) ■粘度範囲：0.1m〜300mPa・S(液剤による) ■制御システム：PC＋PLC ■画像認識Unit：CCDカメラ ワークアライメント/飛翔位置補正 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
