制御システムはPC＋PLC！飛翔観察ユニットなどのオプションもご用意
当社で取り扱っている、全自動S-IJP装置の『IJN-2400-AT/IL』について ご紹介いたします。 飛翔量は粘度によるが、5.6picoℓ〜550picoℓで、粘度範囲も液剤によるが 0.1m〜300mPa・Sです。 また、飛翔観察ユニット、ノズルクリーニングユニット、10μg秤量ユニット といったオプションもございます。 【共通仕様(一部)】 ■Head Unit：S-IJP＋温調Unit (Max70℃)Max6Heads ■飛翔量：5.6picoℓ〜550picoℓ(粘度による) ■粘度範囲：0.1m〜300mPa・S(液剤による) ■制御システム：PC＋PLC ■画像認識Unit：CCDカメラ ワークアライメント/飛翔位置補正 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ロボット】 ■Gantry軸：ACサーボモータ/ストローク400mm ■X軸：ACサーボモータ/ストローク350mm ■XYステージ：リニアモータ/ストローク100mm×350mm ■Z軸：ACサーボモータ/ストローク50mm ■ピッチ軸：マイクロアクチュエータ/ストローク30mm ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
当社は、「半導体製造装置の開発業務」と「技術コンサルト業務」を メインに活動している企業です。 新しい技術を積極的に取り入れ、自動化で培ったノウハウを活かし、 グローバルな半導体市場向けに新しい装置を提供すべく、開発に特化。 また、日本企業の強みと海外企業の強みを併せる事で、新しい製品の提供を スピーディーに対応出来る様、コンサルト事業にも力を入れております。