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アジレント社中型 ターボ分子ポンプです。 ワイヤレス通信で動作設定・モニタリングが可能。 かつてない低振動を実現しました。
アジレント社製 305シリーズターボ分子ポンプはオイルフリー、取り付け位置自由な中型ターボ分子ポンプです。軸受けはセラミックベアリングを使用しているのでクリーンな真空を得ることができます。 アジレント社独自のTwisTorrドラッグステージ技術により、水素やヘリウムなどの軽い気体に対して高い圧縮率を持ち、高スループット・高フォアライン耐圧を実現しました。 またワイヤレス通信にてお使いのスマホより動作設定・モニタリングが可能。 業界最小ノイズ（41dB）のポンプです。
全翼回転翼を搭載した超高真空対応。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-451」は、電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
長時間の安定稼働、ハイドロカーボンを使用しないクリーンな排気。電子顕微鏡検査と半導体アプリケーション用に最適。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-301」は、ミニマムメンテナンス、及び低振動が要求されるアプリケーションに最適です。 業界トップクラスの性能と最大限のプロセス柔軟性を実現！ 科学機器、半導体、磁気媒体業界の主要機器メーカーに採用され、 高い信頼性を認められています。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
オイルフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
"セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 客先にてベアリング軸受けの交換も可能です。"
圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能
高真空 (< 1x 10-1Pa) が必要とされるアプリケーションで、 ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。高真空側に油を使用していないため、クリーンな真空が得られることができます。 •使用環境に合わせて仕様選択可能 •ドライブ回路搭載 (※電源搭載モデルもございます。) 省設置スペース、省ケーブル、省コスト •ドライブ回路切離しタイプ 設置環境、設置スペースの自在性 •アクセサリー類自動認識 (プラグ & プレイ) 面倒な配線作業などが不要 •ワールドワイドサービス 日本国内のみならず、全世界でサービス対応可能
分析装置・計測システムへの搭載に対応！装置の小型化が可能な高性能ターボ分子ポンプ ※カタログ進呈
分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。 補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。 小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
広領域排気 低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。
取付自在型 長期寿命(3万時間) 軽量及びコンパクト 大気突入対応
取付姿勢自在なパワーサプライ一体型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在かつ、パワーサプライ一体化でコンパクト。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
取付姿勢自在なグリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ
グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプなので、取付姿勢自在。大気突入に強い構造設計です。
広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。 反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ご用途に合わせて、各種特殊仕様をご選択いただけます。反応生成物対策仕様・極低振動仕様・超高真空仕様・耐放射線仕様・耐高温仕様
大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ
反応生成物対策仕様 TG2400MI もラインナップしています。
独自の生成物対策により、プロセスで発生する反応生成物のポンプへの堆積を大幅に減少！
外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温 ■ 外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！ ■ 主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。
余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！
大阪真空は日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功しました。磁気軸受形ターボ分子ポンプは電源ユニットとポンプを一体化した設計で出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要です。面倒なケーブル引き回し作業が無くなるため作業効率とメンテナンス性が向上します。コンパクト設計が可能なためコストダウンにも貢献します。医療機器、半導体分野、分析・試験装置など製造業で幅広く採用していただいております。 【特長】 ■自由な設計でコストダウン可能！ ■各種アクセス部を前面に集約し作業効率を改善！ ■IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用可能！ ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能！
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。 また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。 【特長】 ■省電力設計 ■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を実現！
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸受形とし、 メンテナンスフリー、オイルフリーで振動が極めて小さな排気が可能。 また吸気口フランジは銅ガスケットを使ったコンフラットタイプとし、 ガスケットからの軽ガスの透過や放出ガスを低減し、また高温での ベーキングを可能にしています。 【事例概要】 ■納入先：国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 関西光量子科学研究所(木津) ■納入製品：X線計測実験真空容器用高真空排気システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
先端科学のターボポンプに新たな基準を打ち立てる次世代型ターボ分子ポンプ！多くの主要な科学機器に標準で装着できます！
真空ポンプ技術の世界的リーダー、エドワーズが新規開発した、世代型ターボ分子ポンプをご紹介いたします。既に多大な信頼を獲得してきたEXTおよびSTPシリーズに基づく20年を超える経験をもとに設計した「nEXT85」は、先端科学のターボポンプに新たな基準を打ち立てる製品です。「nEXT85」は、性能が強化されただけでなく、現場でのメンテナンスやデータログの確認等nEXTシリーズと同一のサービスおよび運転機能を利用することが可能ターボ分子ポンプです。 【特長】 ■卓越した排気速度と圧縮比を実現する最先端のローターデザイン ■多様なフィールドで実証された高い信頼性 ■多くの主要な科学機器に標準で装着、10万台以上の納入実績 ■複雑な加工や大掛かりな分解を必要とせず、エンドユーザーによる短時間での整備が可能 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。
ご要望の到達圧力や排気速度から、最適なポンプを選定頂けます。
低真空領域、中真空領域での圧力範囲をカバーするポンプを表にしております。記載以外のポンプや特殊な条件がある場合は、個別に［お問い合わせ］願います。
様々なCO2回収法とそれぞれにマッチした真空ポンプをご紹介
特定の製造工程であったり、焼却炉、発電所などのエネルギー生産過程において、温室効果ガスである二酸化炭素が大気中に放出されます。これを、捕捉・分離・回収・再利用することで、大気中の二酸化炭素の濃度を減少させ、排出量をゼロにする脱炭素化を目指した取り組みが世界規模で推進されています。 以下のリンクをクリックして、代表的な二酸化炭素・CO2回収の工法をご確認ください。
磁気軸受け制御方式採用！省スペース、低振動を実現したコントロールユニット一体型。
「磁気浮上型ターボ分子ポンプ STP-iX455」は、ＤＣ４８Ｖ電源のみで駆動可能なため、 従来のタック型コントロールユニット及び接続ケーブルが不要です。 また、ディスプレイユニット、電源ユニットなどオプション製品も充実。 用途にあわせて最適な製品携帯を選択することができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
オイルフリー・メンテナンスフリーのコンパクトなターボ分子ポンプです。
セラミックベアリング型の高信頼性ポンプです。 ローターステージとドラッグステージにより、N2はもちろん、H2の 圧縮比・排気速度・スループットが大きい設計になっています。 コントローラは、装置組込み用廉価版コントローラと、ラック型 コントローラがあります。
