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コンパクトで高圧大流量！経済産業大臣認定品として製作可能なバランス式圧力調整器
『NPR-7シリーズ(NPR-7B・7S・7HS)』は、コンパクトで高圧大流量にも対応、 バランス構造の採用により、安定した調整圧力を維持する分析機用圧力調整器です。 ノンブリード (流体:Air N2 Ar He 不活性ガス)、 ブリードタイプ (流体:Air N2 O2 Ar He 不活性ガス)をご用意しております。 経済産業大臣認定品として製作可能です。 【特長】 ■二次使用圧力に合わせて、４種類のピストンを設計 ■制度の高い圧力制御ができる ■真鍮タイプとステンレスタイプをご用意 ■ガス純度99.99(真鍮)〜99.999(ステンレス)%のガス供給に最適 ■流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプが製作可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各種ガス集中供給に！経済産業大臣認定品として製作可能なライン用圧力調整器
『LR-3シリーズ』は、各種ガス集中供給する場合に、配管末端に取りつけ 使用するライン用圧力調整器です。 経済産業大臣認定品として製作可能です。 【特長】 ■真鍮タイプとステンレスタイプをご用意 ■ガス純度99.99(真鍮)〜99.999(ステンレス)%のガス供給に最適 ■流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプが製作可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各種ガス集中供給に！経済産業大臣認定品として製作可能なライン用圧力調整器
『LR-6シリーズ』は、各種ガス集中供給する場合、配管末端に取りつけ 使用するライン用圧力調整器です。 経済産業大臣認定品として製作可能です。 標準でパネルナット付本体取付も可能です。 【特長】 ■真鍮タイプとステンレスタイプをご用意 ■ガス純度99.99(真鍮)〜99.999(ステンレス)%のガス供給に最適 ■流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプが製作可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
太陽電池・液晶・LED生産工場や研究している大学・研究機関に！半導体用用途にお使いいただけます
『ER-1HL・ER-1LL』は、半導体用用途にお使いいただける圧力調整器です。 製造にあたっては、高次元のクリーン度・高気密性・高信頼性を 満足するために「クリーンルーム内組立」「高性能洗浄」 「全数 He リークテスト」を実施しています。 Heリークテストは、SEMI F01の方法で行い、基準を満たしております。 【ER-1HL 仕様（抜粋）】 ■一次測圧力（MPa）：2～15 ■二次側使用圧力（MPa）：0.1～0.99 ■使用温度（℃）：-5～40（設計温度-10～75℃） ■口径：1/4 ■重量（kg）：1.3 ■内臓フィルター濾過度：5μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高純度ガス(純度99.999～99.99999％)や半導体用ガス・腐食性ガスの供給に最適です。
『SRQ-1HL・SRQ-1LL』は、二段減圧構造のため、二次側圧力の変動が極めて少なく、ガスの安定供給が可能な圧力調整器です。 スライド部をなくし、パーティクルの発生を抑えた構造です。波形ダイアフラム採用で圧力高感度を達成。外部シールは、オールメタルシールを採用しています。 オプションで組立環境(クラス10000orクラス10)や洗浄(禁油禁水のみor純粋洗浄)、電解研磨(ありorなし)などの選択が可能なので、ガス使用用途によりカスタマイズが可能です。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安全弁内蔵！ボンベバルブを開くと同時に使用できる汎用超小型調整器
『汎用超小型調整器 YR-80V』は、圧力設定式なのでボンベバルブを開くと同時に使用できます。 精度の高いダイアフラム式安全弁を内蔵していますので、二次側の異常昇圧に対しても安全です。 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
経済産業大臣認定品として製作可能！中規模の一般工業用圧力調整器
『R-120シリーズ』は、中規模のガス集合装置、供給ユニットなどに御使用して頂けます。 経済産業大臣認定品として製作可能です。 高圧ガス設備に使用する時は、認定品をお選び下さい。 流れ方向が左側入口(左高圧)のタイプが製作可能です。 【特長】 ■中規模の一般工業用圧力調整器 ■ガス集合装置、供給ユニット等で利用可能 ■経済産業大臣認定品として製作可能 ■流れ方向が左側入口タイプも製作可能 詳しくはお問い合わせください。
押しネジ式！-60〜40℃の幅広い範囲で使用できる装置用大流量調整器
『NPR-14シリーズ』は、使用温度 -60〜40℃の幅広い範囲で御使用頂ける大流量調整器です。 経済産業大臣認定品として製作可能です。 高圧ガス設備に使用する場合は、認定品をお選び下さい。 流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプが製作可能です。 【ラインアップ】 ■NPR-14B ■NPR-14S 他 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
パイロット式！経済産業大臣認定品として製作可能な装置用大流量調整器
『YM-1001シリーズ』は大規模のガス集合装置、供給ユニット等に御使用していただけます。 経済産業大臣認定品として製作可能です。 流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプが製作可能です。 バランス式は圧力変動を抑えたい場合や、一次側圧力高圧(20MPa)時に適しています。 調圧し易くするため、パージバルブのかわりにブリードタイプのパイロット減圧弁が付いたものもあります。 【ラインアップ】 ■YM-1001・YM-1001-1・YM-1002 ■YM-1001-1N ■YM-1001S・YM-1001S-1 ■YM-1002F ■YM-1001ブリードタイプ・YM-1001-1Nブリードタイプ 他 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超高圧二段式減圧弁の一般工業用圧力調整器
『HIR-3SWシリーズ』は、超高圧二段式減圧弁の一般工業用圧力調整器です。 FCステーション分析ラインやFCステーション改質器のスタートアップにお使いいただけます。 【ラインアップ】 ■HIR-3SW ■HIR-3SW-ST 他 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安全性を重視した設計！耐食性がある腐食性ガス用の圧力調整器
『YS-1シリーズ』は、腐食性ガスに対して耐食性のある材料を選定し、安全性を重視した設計となっており、安心して御使用頂けます。 流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプが製作可能です。 【ラインアップ】 ■YS-1・1B ■YS-1C ■YS-1V 1BV 1CV 他 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
押しネジ式！経済産業大臣認定品として製作可能な装置用大流量調整器
『NPR-14シリーズ』は、使用温度 -60〜40℃の幅広い温度範囲で ご使用頂ける大流量調整器です。 経済産業大臣認定品として製作可能です。 高圧ガス設備に使用する場合は、認定品をお選び下さい。 【特長】 ■押しネジ式 ■幅広い温度範囲で使用可能 ■流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプが製作可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
パイロット式！経済産業大臣認定品として製作可能な高圧大流量調整器
『NPR-14Pシリーズ』は、高圧充填、気密試験、耐圧試験等に ご使用いただける高圧用調整器です。 経済産業大臣認定品として製作可能です。 高圧ガス設備に使用する場合は、認定品をお選び下さい。 真鍮タイプとステンレスタイプがございます。 【特長】 ■パイロット式 ■流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプが製作可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バランス式！経済産業大臣認定品として製作可能な分析機用圧力調整器
『NPR-1シリーズ（真鍮タイプ）』は、NPR方式(バランス構造)の採用により、 一段減圧構造にも関わらず、安定した調整圧力を維持する分析機用圧力調整器です。 ガス純度99.99%のガス供給に最適、経済産業大臣認定品として 製作可能です。高圧ガス設備に使用する場合は、認定品をお選び下さい。 また、「NPR-LB」「NPR-MB」は、バランス式ではありませんが、 一次側圧力が低いため、安定した調整圧力を維持します。 【特長】 ■真鍮製 ■ガス純度99.99%のガス供給に最適 ■流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプが製作可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
バランス式！経済産業大臣認定品として製作可能な分析機用圧力調整器
『NPR-1HL・NPR-1.5シリーズ』は、NPR方式(バランス構造)の採用により、 一段減圧構造にも関わらず安定した調整圧力を維持する分析機用圧力調整器です。 経済産業大臣認定品として製作可能です。 高圧ガス設備に使用する場合は、認定品をお選び下さい。 【特長】 ■真鍮タイプとステンレスタイプをご用意 ■ガス純度99.99%(真鍮)〜99.999%(ステンレス)のガス供給に最適 ■流れ方向は、左側入口(左高圧)のタイプが製作可能 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
