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高純度ガス(純度99.999～99.99999％)や半導体用ガス・腐食性ガスの供給に最適です。
『SRQ-1HL・SRQ-1LL』は、二段減圧構造のため、二次側圧力の変動が極めて少なく、ガスの安定供給が可能な圧力調整器です。 スライド部をなくし、パーティクルの発生を抑えた構造です。波形ダイアフラム採用で圧力高感度を達成。外部シールは、オールメタルシールを採用しています。 オプションで組立環境(クラス10000orクラス10)や洗浄(禁油禁水のみor純粋洗浄)、電解研磨(ありorなし)などの選択が可能なので、ガス使用用途によりカスタマイズが可能です。 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ロケットなどに搭載する機器類の軽量化志向のご要望にお応え！より軽量なアルミ製ボディを採用したガス圧力調整器
ガス圧力調整器『NPR-7A』は、ステンレスや真鍮製ボディと比較し、より軽量なアルミ製 ボディを採用した高圧ガス圧力調整器です。 バランス構造(NPR方式)の採用による優れた調圧性能でご好評いただいている ガス圧力調整器「NPR-7」の性能そのままに、従来品質量の約40％減を実現！ 【仕様(一部)】 ■使用ガス：O2 N2 Ar Air He H2（左記以外のガス種の場合、ご相談ください） ■P1対応可能圧力：1～30MPa ■P2対応可能圧力：0.5MPa～20MPa ※圧力計のフルスケールにより使用可能な圧力範囲が異なります。 ■使用温度：-10～40℃(設計温度：-10～75℃) ■最大流量：600m3/h(P1＝20MPa) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
