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一次側高圧用中流量機種！一次減圧設備に広くご使用いただいております
『S-TORRV2300シリーズ』は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を 頂いているTORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。Heリークテストを含め、 出荷検査を全数に実施しています。 腐食性ガス用として高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」が ございます。お問い合わせください。 【特長】 ■一次側高圧用中流量機種 ■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールには メタルシール構造を採用 ■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■シリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に広く使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
出荷検査を全数に実施！タイドダイヤフラム式の超高純度ガス用圧力調整器のご紹介
『S-TORRVT50シリーズ』は、タイドダイヤフラム式を採用し、液化ガスの 供給に強い構造となっている超高純度ガス用圧力調整器です。 接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施すことにより、 非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現。接ガス部から スプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減しました。 加温供給を行うことで、蒸気圧が1.0MPa以上になるガスについても 対応でき、最高使用圧力は2.5MPaとなっています。 【特長】 ■液化ガス用タイドダイヤフラム式機種 ■TORR調整器をベースに開発 ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
接ガス部のネジ構造を排除！パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調整器
『S-TORRV1900シリーズ』は、内部リークを抑えるため、デカボランの 生成しづらい好適な中間圧に設計されたジボラン専用圧力調整器です。 本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール 構造を採用。高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して お使いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 【特長】 ■ジボラン専用二段減圧式機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■内部リークを抑えるため、デカボランの生成しづらい好適な中間圧に設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一次側低圧用大流量機種！ 半導体ガス用圧力調整器の代名詞 とも言える圧力調整器
『TORR-350シリーズ』は、一次低圧用の大流量機種として液化ガスの 大流量供給設備や大口径配管などでお使いいただける圧力調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、 フィルターを内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一次側低圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ■液化ガスの大流量供給設備や大口径配管などで使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
半導体ガス用圧力調整器の代名詞！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施！
『TORR-800シリーズ』は、TORRシリーズで最大級のサイズの圧力調整器です。 通常の圧力調整器と同じ操作感で使用可能な調圧ハンドル式の 「TORR-800Gシリーズ」と、より大きな流量が供給可能なパイロット式の 「TORR-800Mシリーズ」が選択可能。 また、「TORR-800Mシリーズ」よりも更に大流量の供給が可能な 「TORR-800Fシリーズ」もあります。より流量を必要とされる場合は お問い合わせください。 【特長】 ■一次側低圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■TORRシリーズで最大級のサイズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一次側高圧用標準機種！電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整器
『TORR-1300シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている 半導体ガス用圧力調整器の代名詞 とも言える圧力調整器です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に 広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側高圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
出荷検査を全数に実施！一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減！
『TORR-2500シリーズ』は、長い実績により高い信頼を頂いている 半導体ガス用圧力調整器の代名詞 とも言える圧力調整器です。 一次高圧用の大流量機種として「TORR-2300」よりも流量の求められる ガス供給設備などで使用可能。Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っており、フィルターを 内蔵しておりませんので配管にフィルターを施工ください。 【特長】 ■一次側高圧用大流量機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■「TORR-2300」よりも流量の求められるガス供給設備などで使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
一次室の流路にフィルターを内蔵している液化ガス、腐食性ガス用大流量機種
『TORR-2800/2800SHシリーズ』は、腐食性、液化ガスを大流量で 供給するための調整器です。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減しております。 【特長】 ■“半導体ガス用圧力調整器の代名詞”とも言える圧力調整器 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■腐食性、液化ガスを大流量で供給するための調整器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
電解研磨仕様品の製作も可能！Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
『TORR-Hシリーズ』は、二次側の高圧制御が可能な機種です。 一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 電解研磨仕様品の製作も可能で、Heリークテストを含め、出荷検査を 全数に実施しています。 【特長】 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ■二次側の高圧制御が可能（最大15MPa） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
出荷検査を全数に実施！組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています
『TORR-Lシリーズ』は、二次側微圧のコントロールが可能な調整器です。 電解研磨仕様品の製作も可能。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施しています。 【特長】 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■電解研磨仕様品の製作も可能（接ガス金属部表面粗さ Ra0.25μm） ■二次側微圧のコントロールが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
高い汎用性！容器取付用の一般工業用圧力調整器
『YR-70シリーズ』は、汎用性の高い一般工業用圧力調整器です。 当製品は、容器取付用です。 使用ガスは、O2 N2 Ar Air H2 Heで、 一次側圧力(MPa)は 2〜20、二次側圧力(MPa)は 0.2〜0.99です。 【ラインアップ】 ■YR-70 ■GYR-70（ゲージガード付） ■YR-70V（出口ストップバルブ付） ■YR-70PP（ヘリウム風船封入用プッシュ弁付） ■YR-70 ストレートタイプ ■YR-70SUS 他 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクト設計！ハンドルがゆるまないロックナット付一般工業用圧力調整器
『YR-90Kシリーズ』は、生きた新鮮な活魚を輸送、保管する場合、または稚魚の養殖場、活魚店の生簀などの酸素供給用に使用します。 車の振動でも調整器のハンドルがゆるまないロックナット付。 車搭載時、邪魔にならないコンパクト設計で、流量調整バルブも付いています。 【ラインアップ】 ■YR-90K W(関西式) ■YR-90K E(関東式) ■YR-90KW-F2M-10 ■YR-90KE-F2M-10 他 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安全弁内蔵！ボンベバルブを開くと同時に使用できる医療用調整器
『医療用調整器 YR-80F』は、圧力設定式なのでボンベバルブを開くと同時に使用できます。 精度の高いダイアフラム式安全弁を内蔵していますので、二次側の異常昇圧に対しても安全です。 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ゲージガード付！配管の末端に取り付けて使用する一般工業用圧力調整器
『SSミニシリーズ』は、各種ガスを集中供給する場合、配管の末端に取り付け使用します。 ゲージガード付(流量計付は除く)で、パネル板・ボックスに 取付可能なものもあります。 【ラインアップ】 ■SSミニ、SSミニストレートタイプ ■SSミニ‐AC ■SSミニ・パネル式 ■SSミニ・流量計付 ■SSミニ(二連式流量計付)・SSミニ(流量計付ストレート) 他 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ガスを安定供給！入口側でガスを加温する電熱ヒーター付の圧力調整器
『YR-507シリーズ』は、炭酸ガスなどの減圧により温度が降下し、弁が作動しなくなるのを防止する電熱ヒーター付調整器です。 入口側でガスを加温し、ガスを安定して供給できるようにしています。 炭酸ガス溶接やハウス栽培、排水中和用等に最適です。 【ラインアップ】 ■YR-507F ■YR-507V-2 ■YR-507F ヨーク枠式 ■YR-507 サポート(オプション) 他 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
