大気圧プラズマ装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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大気圧プラズマ装置 - メーカー・企業17社の業務用製品ランキング | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年09月16日~2026年10月13日
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大気圧プラズマ装置のメーカー・企業ランキング

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  1. 株式会社アクア 京都府/研究・開発用機器・装置
  2. 株式会社魁半導体 京都府/教育・研究機関
  3. 株式会社ソマール・アプライド・ラディカルズ 京都府/電子部品・半導体
  4. 4 株式会社イトー 東京都/電子部品・半導体
  5. 5 日邦産業株式会社 愛知県/製造・加工受託

大気圧プラズマ装置の製品ランキング

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  1. 大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」 株式会社ソマール・アプライド・ラディカルズ
  2. 異種材料の接着強化に!表面改質用 大気圧プラズマ装置 株式会社アクア
  3. 卓上型アルゴン大気圧プラズマ装置 株式会社イトー
  4. ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM 株式会社魁半導体
  5. 4 ガスフリーペン型大気圧プラズマ装置 NRSR-P10 株式会社魁半導体

大気圧プラズマ装置の製品一覧

1~30 件を表示 / 全 51 件

表示件数

卓上型アルゴン大気圧プラズマ装置

シンプルな構造のアルゴンプラズマ装置!小さいサイズのサンプルの改質に

『MyPLシリーズ』は、アルゴンガスを使用した大気圧ダイレクトプラズマ装置です。 前後スライドステージによるシンプルな卓上型ですので、 小さいサイズのサンプルの改質など研究開発・試作用途に適しています。 反りのあるフイルムに対しても、エアー吸着ステージによって固定し、 サンプル表面を処理することが可能です。 【特長】 ■稼動ステージ搭載 ■小さいサイズのサンプル改質に好適 ■改質時間を設定できる ■反りのあるフィルムにも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 有機EL
  • タッチパネル
  • その他FPD関連
  • 大気圧プラズマ装置

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超疎水性大気圧プラズマ装置

疎水性プラズマのナノインプリントへの転用

CF4, H2, C2F6, C3F6, C4F8, CH4, C2H2, C2H4などのガスや液体をプラズマを用いて表面にコーティングすることで表面を疎水化させます。 金型との剥離性を向上させ、微細パターンの破損を防ぎます。

  • 疎水性水滴.jpg
  • インクジェットパターン比較.jpg
  • プラズマ表面処理装置
  • 大気圧プラズマ装置

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大気圧プラズマ装置

大気圧プラズマ装置です。 接着、洗浄などに最適です。

窒素、空気をプラズマ原料とします。 プラズマを液晶パネルからプリント基板など へ照射しますと、表面の洗浄から、表面の接着力 が上がります。

  • プラズマ発生装置
  • プラズマ表面処理装置
  • その他表面処理装置
  • 大気圧プラズマ装置

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リモート方式大気圧プラズマ装置

窒素-酸素の混合ガスをプラズマ化し、基板に吹き付け。瞬時に表面の汚れを除去!

電極間で発生したプラズマを処理対象に吹きつけて表面処理するリモート方式を採用した大気圧プラズマ装置です。 液晶基板の洗浄、プリント基板前処理、樹脂基板塗工前処理等、プリンテッドエレクトロニクス関連材料に利用可能。 ガラスや基板、フィルムの表面を高速に改質、洗浄します。 【特長】 ◆窒素+酸素または窒素+乾燥空気を使用   ◆高速洗浄   ◆低ランニングコスト   ◆ダメージフリー      ◆メンテナンスフリー   ◆大型化対応(~液晶第8世代大判ガラス) ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • プラズマ表面処理装置
  • 大気圧プラズマ装置

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フィルム用ダイレクト方式大気圧プラズマ装置

フィルムの高速表面改質を窒素雰囲気中で実現。

安価な窒素ガスでも均一放電を実現。フィルムを高速均一処理します。 プラズマ中の活性な粒子が(原子状酸素など)によりフィルムや樹脂の有機分子の結合の一部が切断され、新たな官能基が形成されます。 これにより、表面の接着性や濡れ性を大幅に改善することができます。 【特徴】 ■マルチガステクノロジー 工業ガスメーカーの知見を最大に活かして、あらゆる表面改質に対応。 →フィルムの濡れ性改善、接着性改善 ■高スループット 処理対象を電極の間に挿入するダイレクト方式を採用し、高速連続処理を実現。 ■豊富なバリエーション フッ素系、PET、ポリイミドフィルムなど多種実績あり片面、両面処理可能。フィルム幅は最大2000mm。 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • プラズマ表面処理装置
  • 大気圧プラズマ装置

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【資料】高品質バッテリーの前処理

バッテリー効率が向上!LIB生産におけるメリットなどを掲載

当資料は、Openair-Plasmaを使った高品質バッテリー製品の 表面洗浄と活性化について掲載しています。 リチウムイオン電池(LIB)をはじめ、アプリケーションや セル加工におけるメリットなどをご紹介します。 【掲載内容(抜粋)】 ■Openair-Plasmaによる洗浄と活性化 処理が速く、機能的で酸化物フリー ■LIBとは ■アプリケーション ■プロセスエンジニアリング ■LIB生産におけるメリット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 2次電池・バッテリー
  • リチウムイオン電池
  • 大気圧プラズマ装置

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大気圧プラズマ装置

大気圧プラズマ装置

従来の減圧プラズマに加え、大気圧(常圧)プラズマを産学協同開発。熱非平衡の大気圧グロー放電プラズマのため、低温処理が可能です。

  • その他洗浄機
  • その他半導体製造装置
  • その他半導体
  • 大気圧プラズマ装置

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大気圧プラズマ装置 MyPLシリーズ

独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生!

半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板等の大型ワーク(ガラス基板等)の量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現! マニュアルステージ搭載した簡易プラズマユニット機 各種装置へのビルドイン対応可能です

  • プラズマ表面処理装置
  • モールディング装置
  • 基板加工機
  • 大気圧プラズマ装置

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ハンディ型大気圧プラズマ装置S5000-BM【国産製品】

【溶剤不要】ハンディータイプの大気圧プラズマ装置、低温・電荷ダメージなし!洗浄・表面改質・親水化・接着強化に高い処理実績!!

洗浄・表面改質・親水化・接着強化に優れた、ハンディータイプの大気圧プラズマ装置の販売・レンタル・受託をおこなっております。全国の大学、大手の研究機関・R&D部門・生産部門でも多数ご利用頂いており、高い処理効果が有ります。又、社内で設計から製造まで全ておこない、専任の技術者により、あらゆる仕様に対し、親身に対応させて頂いております。 【特徴】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ■窒素のみをプラズマ化。 →ArやHeなどの高価なガスは必要としません。 ■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。 ■スリット型トーチ(5mm~100mm)噴射幅対応 ※デモ処理、装置のレンタルもいたします。詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

  • その他半導体製造装置
  • ボンディング装置
  • 基板加工機
  • 大気圧プラズマ装置

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ペン型大気圧プラズマ装置P500-SM

【国産】超小型、微細な加工やラボ用途に適した、ペン型タイプの大気圧プラズマ装置!安価な価格帯で手軽にご使用頂けます。

洗浄・表面改質・親水化・接着強化に優れた、ペン型タイプの大気圧プラズマ装置の販売・レンタル・受託をおこなっております。 【特徴】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ■窒素のみをプラズマ化。 →ArやHeなどの高価なガスは必要としません。 ■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。 ※デモ処理、装置のレンタルもいたします。詳細は、『ダウンロード』から  ご確認下さい。

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表面処理に最適!真空・大気圧プラズマ製品総合カタログプレゼント!

接着強化・濡れ性向上・洗浄効果有り、薄膜形成や各種接合・塗装・メッキの前処理などの表面処理、バイオ、医療分野にも最適。

国産プラズマ装置メーカー『魁半導体』。プラズマは、薄膜形成や各種接合・塗装・メッキの前処理などの表面処理、その他、バイオ、医療分野に最適です。PEN型大気圧プラズマ、大気圧プラズマシリーズ、卓上真空プラズマ装置、粉体プラズマなどをラインナップしております。株式会社魁半導体は国内でも少ない国産プラズマ装置メーカーで、”ニーズの発掘によって、シーズを提供する”を理念に日夜努力しております。難しい注文をお申し付け頂けましたら誠心誠意お応えさせて頂きます。液体ソースを用いた堆積装置、表面改質装置等を含むプラズマを用いた各種半導体製造装置の開発、および製造販売や委託研究による半導体製造装置の開発および製造販売を取り扱いお客様のニーズにお応えします。今なら総合カタログ無料でプレゼント中!詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。

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簡易大気圧プラズマ装置A1000

【国産】低温・電荷ダメージなし!簡易型大気圧プラズマ装置 洗浄・表面改質・親水化・接着強化に高い処理実績!ラボ用途小ロット向け

洗浄・表面改質・親水化・接着強化に優れた、簡易型の大気圧プラズマ装置の販売・レンタル・受託をおこなっております。当装置はラボや小ロット向けで導入しやすい安価な価格帯です。全国の大学、大手の研究機関・R&D部門・生産部門でも多数ご利用頂いており、高い処理効果が有ります。又、社内で設計から製造まで全ておこない、専任の技術者により、あらゆる仕様に対し、親身に対応させて頂いております。 【特徴】 ■熱によるダメージは殆んどありません。 →熱に対して脆弱なサンプルへの処理が可能です。 (条件によってはサンプル表面を40℃程度に。) ■コロナ放電のような電流集中したアーク状態ではありません。 →処理対象物へ電荷のダメージを与えません。 ■窒素のみをプラズマ化。 →ArやHeなどの高価なガスは必要としません。 ■AC100Vのコンセントで動作しますので、様々の状況での使用が可能です。 ■スリット型トーチ(φ20mm)噴射幅対応 ※デモ処理、装置のレンタルもいたします。詳細は、『ダウンロード』からご確認下さい。

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ダイレクト式大気圧プラズマ装置D300-TB※インライン処理可能

ダイレクト式の大気圧プラズマ装置でフィルム両面を連続で表面処理が可能。空気をプラズマ化し大面積処理が可能(~1000mm)!

ダイレクト式の大気圧プラズマ装置! 高い処理能力で空気をプラズマ化する事でランニングコストが安価です。図に示すようロールtoロールでフィルムの連続処理が可能になります。その他コンベアーなどと組み合わせる事によりガラスや樹脂成型品等、様々な材料にご利用頂けます。大面積処理が可能1m幅の処理も可能です。 まずは無償デモ処理にて効果をお試し下さいませ。 ※詳細はカタログをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。

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ガスフリーペン型大気圧プラズマ装置 NRSR-P10

外部からガスを供給することなくプラズマ処理が可能です。 表面処理(塗装、接着、印刷等の前処理)、バイオ・医療分野にも。

製品の特徴  ペンタイプで扱いが容易  ガス供給が不要、AC100V の電源接続のみで使用可能  簡単操作  小型コントロールボックス  コロナ放電タイプと違い、対向電極不要  処理対象への電荷ダメージなし

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ダイレクト型 大気圧プラズマ装置 D300-TB

導入ガス不要、空気での表面改質が可能。

・導入ガス不要、空気での表面改質が可能 ・幅広のスリット照射が可能(〜1000mm) ・処理効果が高い

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  • 大気圧プラズマ装置

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PLAZMARK トーチ型大気圧プラズマ装置での分布評価例

色調変化で簡便に目的通りの処理状況になっているかを可視化することができる!

「大気圧プラズマ用」のNo.40(超高感度)シート型を用いて、 トーチ型の大気圧プラズマ装置を使用した分布評価を実施します。 接着用途では、処理が「疎」の部分が多くても一通り処理が できていれば接着可能。そのため、効率的な処理を行うために ピッチを大きくし、「疎」の部分が多い処理となります。 接着用途の処理では「密」の部分のみが変色し、想定した処理が できていることを確認。また、コーティング用途の処理の時は全体が 薄いピンク色に変色し、均一な処理ができていることを確認できました。 【装置情報】 ■装置型式:AP-4000R ■ノズル型式:RN-041835-SU ■色差計:コニカミノルタ製蛍光分光濃度計  FD-9/MYIRO-9(測定光源C、照明系C光源、2°視野) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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  • 大気圧プラズマ装置

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ペン型大気圧プラズマ装置

表面改質・洗浄・親水処理・接着強化に優れた低温電荷ダメージ無し!ペン型大気圧プラズマ装置!

『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます! ペン型トーチ採用で微細な加工やラボ用途に適し、初心者でも簡単に取扱いできます。

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簡単操作で本格的な表面改質処理 大気圧プラズマ装置

様々な素材の親水化、メッキ、塗装、 コーティング、接着など品質向上、付着有機物の除去、化学変化促進など様々な用途で効果あり

アクアのプラズマ電極は、金属電極板の一方もしくは両方に誘電性絶縁物を設置することで アーク放電を防止し、交流の高電圧をかけることで電極全体に広く分散して 電子が放出される現象を利用した、“誘電体バリア方式”を採用しています。 どのような用途で大気圧プラズマが利用できるのか、まだまだ未知の分野の装置です。 本機以外にも、さまざまな用途や対象物の形状に対応できるLine UPを揃えています。 大気圧プラズマについてのご質問、"もしかしたら使えるかも” "どんなものか試してみたい”  というような案件がございましたら、お気軽にご連絡下さい。 ■特徴 ・小型軽量の卓上作業用 ・簡単操作でムラの少ない面処理が可能 ・照射距離・搬送速度など、安定したテストを簡単・手軽に実現 ■主な用途 ・接着・塗布などの強度向上、表面改質、化学変化促進、新工法開発、実験など ※レンタルサービスをご希望の際はお問い合わせください。

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大気圧プラズマ装置

ポリマー素材や有機物、繊維、液体など、従来プラズマ処理が困難であった素材にも照射可能!

「大気圧プラズマ装置」は、真空容器や反応用ガスを充満させる等の特殊な 環境を必要としない、常圧大気中で発生させることができるプラズマ装置です。 当社のプラズマ電極は金属電極板間に誘電性絶縁物を設置することで アーク放電を防止し、電極全体から均等に電子が放出される現象を利用した、 “誘電体バリア方式"を採用しています。 また、"ダイレクト方式"と"ジェット方式"の2種類の照射方式の採用により、 様々なプロセスに対応可能です。 【特長】 ■常圧大気中で発生させることができる ■誘電体バリア放電式大気圧プラズマ ■2種類の照射方式の採用により、様々なプロセスに対応可能 ■主な用途 ・接着・塗布などの強度向上、表面改質、化学変化促進、新工法開発、実験など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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“医療機器の開発に、プラズマという提案”

大気圧プラズマ装置で、無菌・清浄・高性能な処理を実現

本装置は、大気圧下で発生させた非熱プラズマを用いて、医薬品容器・器具の滅菌、包装材や部材の表面改質など、様々な処理を薬剤を使わず・非接触で・短時間に実現します お客様の製品や処理対象に合わせて、事前テストを実施可能。 ご希望に応じて、弊社ラボでの立ち会い試験や、短期レンタルによる社内評価にも対応しています。 医薬品の研究開発を、プラズマ技術で強力にサポートしたいと思っているのでお気軽にご相談ください。

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大気圧プラズマ装置<各種素材の親水化効果>

様々な用途に対応できるよう、各種テスト機をご用意しております

大気圧プラズマ装置の用途例として「各種素材の親水化効果」を テストいたしました。 様々な樹脂素材、ガラス、金属にプラズマジェットを照射した際の それぞれの親水性(濡れ性)の変化が見ることができます。 全て同一条件でプラズマ照射後にテストを行っておりますが、 照射条件を変えることで、さらに強い効果を得られる素材もあります。 リンク先の動画にて、実際のテスト動画をご覧いただけます。 【その他大気圧プラズマ装置の用途例】 ■各種素材の親水化効果 ■シリコーンチューブの閉端処理テスト ■液体に対する大気圧プラズマの効果テスト ■シリコーンゴム紐 突き合わせ接合テスト ■シリコーンゴムVS両面テープ 粘着力強化 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • プラズマ発生装置
  • 大気圧プラズマ装置

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大気圧プラズマ装置 エアープラズマシリーズ

大気圧プラズマ装置による表面改質をさまざまなオプションで品質管理

『エアープラズマシリーズ』は、タッチパネルで様々なプラズマの 品質管理オプションを制御する大気圧プラズマ表面改質装置です。 タッチパネル操作で簡単にプラズマ出力(500W~1000W)を変更したり、 入力されたエア圧の最小・最大リミットの設定をすることで、 安定した動作環境を作り出すことができます。 細かな処理条件を振り分けることができるので、開発やラボなどでご活用いただくことで、大気圧プラズマの可能性が広がります。 また、オン・オフディレイ機能と温度センサー機能を搭載しているため、 生産ラインでお使いいただくのに適しています。 【特長】 ■プラズマの様々な品質管理オプションを採用 ■タッチパネルで簡単にプラズマ出力を変更可能 ■オン・オフディレイ機能と温度センサー機能を搭載 ■生産ラインと研究用に最適化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • その他表面処理装置
  • 大気圧プラズマ装置

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【自動車部品への用途】 AETP大気圧プラズマ装置

塗装・接着・クリーニングにAETP 大気圧プラズマ処理が効果的

AETP大気圧プラズマ装置は、自動車の内装・外装の接着前処理や、電子部品などのドライクリーニングで実績があります。 オゾンの心配のないAETP大気圧プラズマ装置は、作業現場の環境改善に貢献し、各種部品・部材加工の信頼性を高めます。 材料の形状や材質によって大気圧プラズマの最適な処理条件は異なります。そのため、購入ご検討いただくお客様には、事前のサンプル処理テストを初回無償で承っております。 どの部品にどのような処理が好適かをお客様と見つけていきたいと考えておりますので、どうぞお気軽にご相談ください。 ※詳細はカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • その他加工機械
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接着の前処理の課題を解決!「大気圧プラズマ装置」

部分的な接着不良が起こる…、安全の為に溶剤を使わないで処理したい…等の接着の前処理に関する課題を弊社の大気圧プラズマ装置が解決!

接着の前処理でこんなことに困っていませんか? ・部分的な接着不良が起こる… ・安全の為に溶剤を使わないで処理したい… ・製造ラインにも後付けできる装置を探している… そんなお悩みをAETP Japanの「大気圧プラズマ装置」が解決します! 大気圧プラズマ装置は、物理的に材料表面をナノレベルで粗すだけでなく 化学的にも結合することにより、接着をより強固にします。 ノズルは処理幅が選択できるように様々なタイプをご用意しており、 部分的な処理や材料にダメージを与えない処理を得意としております。 プラズマ発生装置とノズルのみの構成なのでサイズがコンパクトで 製造ラインへの後付けが容易にできます。 導入しやすい価格設定なので代替機をお考えの方にもオススメです!

  • プラズマ発生装置
  • 大気圧プラズマ装置

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大気圧プラズマ装置

2種類の照射方式の採用により、様々なプロセスに対応可能!各種テスト機もご用意

『大気圧プラズマ装置』は、真空容器や反応用ガスを充満させる等の特殊な 環境を必要としない、常圧大気中で発生させることができる装置です。 「ダイレクト方式」と「ジェット方式」の2種類の照射方式を採用しており、 様々なプロセスに対応可能。 大気圧プラズマを利用すると、通常では起こりえない様々な現象が起こります。 主な用途としては、通常の洗浄では除去が難しい素材表面の微細な有機物等を 分解、気化することによる洗浄効果や、表面組成の分解、再組成などによる 表面改質などがあります。 【ダイレクト方式 特長】 ■向かい合った2枚の電極間に高電圧をかけ、処理用ガスを送り込むことで発生した  プラズマガス中に処理対象素材を通過させる ■導電性の処理対象素材を電極の片側として利用し、電極と素材間にプラズマを  発生させる ■電圧をかけた空間に処理用ガスを送り込む方式のため様々なガスに対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • プラズマ発生装置
  • 大気圧プラズマ装置

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卓上型/スタンドアローン 大気圧プラズマ装置

シンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置やダイレクト方式の装置など豊富に掲載

当社取り扱いの『卓上型/スタンドアローン 大気圧プラズマ装置』を ご紹介します。 前後スライドステージによるシンプルな卓上型の大気圧プラズマ装置 「MyPLシリーズ」をはじめ、スタンドアローンタイプの「ILPシリーズ」や キャリアガスに不活性のアルゴンを使用したダイレクト方式のプラズマ装置、 アルゴンガスを使用した大気圧プラズマのヘッドユニット「MDシリーズ」 などを取り扱っております。 また、曲面・凹凸のあるワークへの照射が可能なN2を使用したバータイプの 大気圧プラズマユニットも取り扱っております。 【ラインアップ】 ■卓上型大気圧プラズマ装置「MyPLシリーズ」 ■大気圧プラズマ装置「ILPシリーズ」 ■ダイレクトプラズマ装置 ■大気圧プラズマ装置ヘッドユニット「MDシリーズ」 ■長距離照射N2プラズマユニット ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • その他表面処理装置
  • プラズマ表面処理装置
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【資料】大気圧プラズマコーティングの活用

超強力な異種材料接合について詳しく解説します

当資料は、大気圧プラズマコーティングを活用したプラスチックと 金属の射出成形に関する情報を掲載しています。 接合前処理をはじめ、大気圧プラズマによる重合や 気密性と耐腐食性などについて解説します。 【掲載内容(抜粋)】 ■機能的で柔軟かつ信頼性の高いモノづくり ■せん断強度の比較 ■PST樹脂コンパウンド ■異種材料接合は電子系業界で貢献する ■長期安定性のある接着 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • プラズマ表面処理装置
  • 射出成形機
  • 大気圧プラズマ装置

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難接着材料でも接着力UP『Openair-Plasma(R)』

『Openair-Plasma(R)』は高速で、オゾンレスの表面処理技術。ロボットへの組込が容易で、乾式なインライン処理が可能!

独自開発のジェネレーターFG5001Sの特徴: ● 複合材、CFRP、汎用プラスチック、金属など様々な材料に対応 ● 表面洗浄と活性化を同時に処理 ● 表面処理プロセスを自動化に ● コンパクトなのにマルチノズルに対応 ● タッチパネル操作で見える化を実現 ● 制御システムによりプロセスを管理 ● プロセスデータを外部出力可能 ● オゾンレスで生産ラインに組込が容易 ● 条件に合わせて処理幅をカスタマイズ ※詳しくは資料ダウンロード、またはお問い合わせください。

  • プラズマ表面処理装置
  • 大気圧プラズマ装置

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大気圧プラズマ装置 MyPL-Autoシリーズ

独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生!

半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板等の大型ワーク(ガラス基板等)の量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現!

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大気圧プラズマ装置 ILP-Inlineシリーズ

独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生!

半導体ICパッド部クリーニングからFPC基板、液晶ガラス基板等の大型ワーク(ガラス基板等)の量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現!

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