ウェハ搬送ロボット
SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでのEFEMに走行装置無しで対応が可能！
世界トップシェアを誇る川崎重工の『ウェハ搬送ロボット』は、独自の駆動機構により、 高精度・高剛性な動作を実現した製品です。 独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現した 「NTJシリーズ」や、テレスコピック機構を採用し、低位置への パスラインと高位置への搬送を両立した「TTJシリーズ」をご用意。 また、走行装置無しで4FOUP装置に対応する「NTHシリーズ」や 省スペースでの設置が可能な「NXシリーズ」もございます。 【特長】 ■独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現 ■SEMNI-F47およびSEMI-S2規格に対応し、4FOUPまでの EFEMに走行装置無しで対応が可能 ■リングフレームや基板搬送にも対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：川崎重工業株式会社 ロボットディビジョン
- 価格：応相談
