更新日： 集計期間:2025年11月19日～2025年12月16日
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真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)と、溶接ベローズ(ストローク60mm)で耐真空度は1.33×10＾-6Paとなります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
ロボット1台からでもカスタム設計！具材調達から製作加工までを一括引き受け！
当社では、オムニホイールを用いたロボット台車の製作も承っております。 大きさや性能など、お客様のご要望に応じて 具材調達から製作加工までを一括で引き受けます。 お客様からのご注文で開発したロボット台車の一部をご紹介いたします。 【作成例】 ■多目的搬送ロボット ■ウレタンオムニを用いた台車 ■耐高荷重・耐高速のウレタンオムニを用いた台車 ■制御基板付４車輪ウレタンオムニキットを応用した台車 ■サッカーロボット 他 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
