【半導体製造向け】FP70シリーズ ダイアフラム液体ポンプ
脈動を抑え、薬液供給の安定性を向上
半導体製造業界では、高品質な製品を安定的に製造するために、薬液供給の正確性と信頼性が求められます。特に、微細加工プロセスにおいては、薬液の脈動や気泡が、製造不良や歩留まりの低下につながる可能性があります。FP70シリーズ ダイアフラム液体ポンプは、脈動を抑制し、安定した薬液供給を実現することで、半導体製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・薬液供給システム ・洗浄液供給システム ・試薬供給 【導入の効果】 ・脈動の少ない安定した薬液供給 ・チューブ内圧損の軽減 ・気泡の抑制 ・オプショナルパーツ削減
- 企業:株式会社ケーエヌエフ・ジャパン KNF JAPAN
- 価格:1万円 ~ 10万円