更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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冷却水不要なのでコンパクトな自由設計！20000時間以上の長寿命！
コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
液体や粉じんのキャリーオーバーにも耐性を持つパワフルなドライ真空ポンプ。効率性に優れ、安定性と耐腐食性を必要とする業界用途に好適
【製品説明】 中真空および粗引きに適した堅牢で高い信頼性の真空ソリューション。多様な仕様を展開し、更に要件に合わせた調整が可能です。 【特長】 ■ 堅牢：プロセスガス経路を最適化。液体や粉体のキャリーオーバーが可能 ■ 耐食：シリンダーの温度分布を均一に保つ設計で耐食性が向上 ■ 高効率：特許取得の「セルフバランシングスクリュー」で高効率化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
自動車エアコンの真空引きに最適
真空ポンプ「TW-05A・TW-05AS」は、電磁弁（逆流防止）付タイプと電磁弁無しタイプの２種類をご用意。圧縮方式はロータリーベーンで、排気速度は20ℓ（50HZ）・30ℓ（60HZ）です。R12・R134両方使用可能です。 詳しくはカタログをダウンロードしてください。
真空度調整がポンプ側で可能！付属の真空計を確認しながら調節可能な真空ポンプ
『ロータリー式真空ポンプＭＳＶ－２００－３ＧＶ』は真空計・真空調製バルブ付きモデルの真空ポンプです。 本製品は常用真空度に設定しており、常用真空度以下で調節可能です。加えてロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用いただけます。 また無給油式ドライタイプの為、給油の必要がなくメンテナンスフリーでご使用いただけます。 【特長】 ■真空計と真空調節バルブを標準装備 ■真空度調節がポンプで可能 ■モーター直結のタイプでスペースを取らずメンテナンスが容易 ■給油の必要性なし ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
構造が堅牢で保守が容易！広く使用されている真空ポンプをご紹介します
『FV型』は、プレート弁式・複動・横型水冷式の真空ポンプです。 排気速度は11～35m3/min、到達圧力は5065～4000Pa。 低速のため風量当たりの重量は大きいのですが、構造が堅牢で取扱いが 容易であること、中間真空での効率が良いなどの利点があり現在も 広く使用されています。 【特長】 ■トラブルフリー ■オイルフリー ■コンパクト ■構造が堅牢 ■取扱いが容易 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
車の真空引きに！電動工具で4.05torrの真空到達度！
当製品は、エアコン修理などで、 フロンガスを抜いたカーエアコンに対して、 ゲージマニホールドと共に使用することで、 簡単に真空引き作業が出来ます。 また、専用ボトルを使用して、 ブレーキオイルのバキュームブリーダーとして力を発揮します。 高い真空度を発生するポケットヴァックでブレーキオイルを吸い上げます。 【特長】 ■簡単に真空引き作業が可能 ■シングルステージ・2ベーン方式 ■ポケットヴァックでブレーキオイルを吸い上げる ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
TW-05Aは電磁弁なし、TW-05ASは電磁弁（逆流防止）付きです。
真空ポンプ「TW-05A・TW-05AS」は、TW-05Aは電磁弁なし、TW-05ASは電磁弁（逆流防止）付きです。真空ポンプの吸気口径は7/16-20UNF(1/4)です。ホース取付ネジサイズはM10×1.5（アタッチメント付）でR12R134の両方に使用することができます。圧縮方式はロータリーベーンになります。重量は6.9kgです。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
