ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
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基本情報
【ラインアップ】 ■SDL12E50 ■SDL20E50 ■SDL36E60 ■SDL3600
価格情報
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企業情報
1946年に創立以来、樫山工業は、「お客様第一」をモットーに 時代時代のさまざまなニーズに応えながら事業領域の幅を拡げ 着実に進化してきました。 特にポンプに関しては、流体の研究・技術をベースに現代産業の 最先端分野を支えている真空技術を極め、半導体業界中心に あらゆる先端分野に真空ポンプ、真空機器を送り出しています。 また、国産では初のスノーマシンを開発。 スキー場関係者から絶大なる評価を獲得することができました。 さらに獲得した信頼に、より一層応えていくために、 スキー場のリニューアル、新規オープンに際し 企画から開発、運営まで、総合的なお手伝いで スキーリゾート業界の発展に貢献しています。 技術力、企画力、生産能力、そして全社一丸となって ニーズを具現化する機動力。 言うなれば、企業の体力とも呼べるそうしたパワーを、 私たちは絶えず蓄積し、磨いています。 樫山工業はこれからも、お客様第一主義をモットーに 柔軟な発想で、ますます高度化、多様化するニーズに応えていきます。 お気軽にお問い合わせ下さい。
