更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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二段/三段式ガスバラストを標準搭載！配管工事不要で手間が省ける直結型油回転真空ポンプ
『VSVシリーズ』は、1段式の回転翼型(ベーン型)油回転真空ポンプです。 シンプルで堅牢な設計で、大気から真空への繰り返し排気に好適。 揺動ピストン形(キニータイプ)、カム形(センコタイプ)と比べて、 軽量・コンパクト・低振動構造です。 また、全機種空冷タイプ、冷却水不要で省エネ、低コストとなっており、 配管工事不要で手間が省けます。 【特長】 ■全機種空冷タイプ ■軽量・コンパクト・低振動 ■オイルフィルター標準搭載 ■ガスバラストバルブ(二/三段階調節) ■油煙トラップエレメント内蔵標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【Supervac】小型の卓上タイプからベルト式の生産機までラインアップ！
当カタログでは、真空チャンバーの専門メーカー「Supervac」の 製品を掲載しております。 ダブルバイアクティブシールの「ベルトマシン GK1600B」や シングルシールの「卓上チャンバー GK90/126」をご紹介。 製品の仕様も掲載されており、導入検討の際に参考にしやすい一冊と なっております。是非、ご一読ください。 【掲載製品(一部)】 ■ベルトマシン GK1600B ■シュリンクタンク AT6/7/8/15 ■シュリンク冷却タンク AC15 ■シュリンクトンネル AS400/660 ■ドライヤー BL15 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
2段式ブロワに比べて保守・管理も簡単！予備品購入に掛かる経費を削減！
大晃機械工業は、お客様からのお悩みのお言葉に応え、3つの技術的ポイントに 着目することにより、従来であれば2段式のブロワを使用せざるを得なかった 高圧力範囲に対応可能な『高圧単段式ブロワ』をご提案致します。 多くの付属品が必要とされる2段式ブロワと比較して、高圧単段式ブロワでは 付属品の点数を抑えることが可能。 イニシャルコスト48％、冷却水消費コスト97％、設置面積40％削減することが できます。ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■付属品類、保守時間の削減 ■モータ取外し不要 ■予備品、ストックの削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シングルチャンバー、コンパクト設計。leakage is very low
長期間の防湿・防錆・防塵などの保管ができる ばらばらの部品を販売単位集積包装 包装ニーズに対して、二つのモデルがある。 特別寸法の注文も可能。詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
錆・汚れに強く、量産に威力を発揮。
あらゆる真空包装に対応します。ベルトの上に袋詰めされた商品を並べるだけで真空、シール、排出の工程が自動的に行われ、量産に威力を発揮します。品質の良い電子部品を使用している為、長く使用可能でトラブルが起きにくい。
クリンルームで、8”と12”のwafer専用機！
Body easy to open for maintenance without any tools. Sensor/timer changing functions. Over temp sealling bar protected device. Set the alarm for sealling wire interrupting electricity. Over temp sealing bar protected device
コンパクトな設計！省エネで環境に配慮した非接触型の真空ポンプ
クロー真空ポンプは、完全オイルフリー、非接触型の真空ポンプです。 クロー技術によって高い効率性を実現し、消費電力を削減。 メンテナンスの手間も非常に少ないです。 また、統合されたエアクーリング装置によって動作時の温度を低く抑え、 クローポンプ用に特別に開発された騒音低減装置により運転中も 大変静かです。 【特長】 ■ドライベーンと同じ真空領域となるためベーン交換不要 ■オイルフリー運転のドライ真空ポンプであり、環境に配慮した設計 ■オイルロータリー式真空ポンプと比較し、大気圧側の運転に好適 ■空冷式の為、工場の冷却水及びチラーユニットを使用しないで済む ■油回転真空ポンプのようなオイル、フィルター交換が不要 ※ダウンロードいただけるPDF資料は英語版データシートです。 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
オリオン機械/真空ポンプ。到達圧力100Pa以下に対応。
■高真空、到達圧100Pa[abs] 以下。 大気圧から到達までのフルレンジを実現した高真空ポンプ。 ■コンパクト設計。 低床設計されたポンプは各種装置への組込みが可能。 ■オイルフリー。 排気がクリーンのため周囲をオイルで汚しません。 ■先進性能を搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。
お客様保有のユーティリティ用真空ポンプを無償で調査・レポートいたします。
日本政府は、2050年までに温室効果ガスの排出を全体としてゼロにする、カーボンニュートラルを目指すことを宣言しました。 カーボンニュートラルの達成のためには、再生可能エネルギーの普及、省エネ技術の導入推進、森林吸収減の活用などが上げられます。 工場をお持ちのお客様で、省エネへの次の一手をどうするのか、お困りではございませんでしょうか？ ・省エネに繋がるヒントを探している。。。 ・現状の設備の見える化をしたい。。。 ・社内で検討する為の具体的な数値と資料が欲しい。。。 「既設の真空ポンプの見える化を行い、省エネポンプに入れ替えた場合の効果を実データを持って検証する」、これがエドワーズからのご提案です。 既設ポンプに計測器を取り付け、 計測データから、概算の消費電力を計算し、置き換えた場合の節電効果を無償でレポート致します。 実データを用いることにより、より現実的で具体的な検討がお客様社内で進められるかと考えます。 是非、気軽にご検討願います。
シングルチャンバー、大袋・長尺袋・小袋兼用・leakage is very low
長期間の防湿・防錆・防塵などの保管ができる ばらばらの部品を販売単位集積包装 包装ニーズに対して、三つのモデルがある。 特別寸法の注文も可能。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
卓上型のシングルチャンバー、そしてクリア蓋で、小さくて精巧である。 leakage is very low
少量の生産に適し、設置スペースも縮小する。 長期間の防湿・防錆・防塵などの保管ができる 食品全般対応する。 包装ニーズに対して、二つのモデルがある。 強固なアクリル樹脂製のカバーは、透明なので真空作業中でも中の様子がよく見えます。 特別寸法の注文も可能。詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット【アルバック／ULVAC】
YMV シリーズは、メカニカルブースターポンプと油回転真空ポンプを組み合わせるための架台ユニットです。ポンプ排気量に合わせて4 種類の架台ユニットを用意しました。 ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。 【ラインナップ】 ○YMV-01A ○YMV-03A ○YMV-06A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
コストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】
EGP-1G は、構造のシンプルな180° ビーム偏向方式を採用することによりコストを抑えた光学膜蒸着用電子ビーム蒸発源です。 さらに、2面位置決め構造の採用により、メンテナンス後の高いビーム位置再現性を有したモデルとなっています。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 180° ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H）突起部含まず 185mm×239mm×179mm ○重量 11kg ○最大出力 10kW 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
熱膨張率の大きいオーステナイト系ステンレス（SCS13・14・16）を独自の冷却方式で接ガス部材質に採用！
『VPシリーズ』は、接ガス部の材質に耐食性を持つ オーステナイト系ステンレス鋼(SCS13・14・16)を 採用したルーツ式の真空ポンプです。 凝縮性ガスのほか、腐食性ガスの吸引にも対応。 吸入口径(D1)は50～125mmをラインアップしています。 【特長】 ■ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ■鋳造可能な耐食合金(Ni-Cr-Mo合金等)による製作も可能 ■5つのタイプから使用条件に合わせて選択可能 ■導入実績多数 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
ダブルチャンバーで、防水対応（IP65）がある。leakage is very low
長期間の防湿・防錆・防塵などの保管ができる ばらばらの部品を販売単位集積包装 包装ニーズに対して、二つのモデルがある。 特別寸法の注文も可能。詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
電圧、周波数の可変で流量・吐出圧を簡単制御！医療・理化学・工作機械などの分野に
『UPSA-112E/UPSA-112G』は、EPDM・フッ素ゴムの2つの接液部材で 多彩な流体に対応したユニモルポンプです。 圧電振動子駆動による低ノイズで、摺動部品がなく長寿命。 電圧、周波数の可変で、流量・吐出圧を簡単に制御します。 また、自吸性があるため、呼び水不要で気体混入も問題ありません。 【特長】 ■電圧、周波数の可変で流量・吐出圧を簡単制御 ■低消費電流圧電振動子の直接駆動で3mA ■圧電振動子駆動による低ノイズ ■小型・軽量：質量約13g ■摺動部品がなく長寿命 ■自吸性があるため呼び水不要、気体混入も問題なし ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
世界で300万台が稼働中の真空ポンプ「R5」ファミリーに新機種が加わりました。省エネ、サービスのしやすさが特長です！
幅広い真空用途に対応したオールラウンダー。 【高効率】 同等のロータリーベーン真空ポンプと比較し最大25％の省エネ、低い運用コスト、優れたアップタイム、放熱の低減 【高性能】 低真空域での高い排気速度、粗びき領域での連続運転を想定した設計、設置面積あたりクラス最高の性能 【高いサービス性】 スペアパーツを40%削減、サービスを要するコンポーネントをすべて片側に配置し作業性を向上、サービスルーチンの迅速化、手入れしやすい滑らかな表面デザイン ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
省電力・メンテナンスフリー！クリーンプロセス用小型空冷ドライ真空ポンプ
「KTS型」は、軽くてコンパクトな空冷式ドライ真空ポンプです。 耐久性に優れたルーツ式のためメンテナンスサイクルが長く、水蒸気の排気も可能。 オイルの逆拡散の無いクリーンな真空と高い信頼性を必要とする非腐食性ガス用途に最適です。 【特徴】 ○クリーンバキューム ○空冷式 ○軽量・コンパクト ○水蒸気やミストに強い ○低騒音・低振動 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。【アルバック／ULVAC】
ECO-SHOCK は、現在ご使用のドライポンプに取り付けることによって、ドライポンプの消費電力を大幅に低減することが可能な、画期的なアタッチメントです。 不活性ガス排気用途でご使用中のドライポンプに最適です。 【特徴】 ○ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%削減可能 ○全圧力領域において排気速度の低下なし ○設置が簡単 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ダブルチャンバー・ダブル蓋・ダブルパネルがあり、独立コントロールして高い効率性を発揮する。leakage is very low
長期間の防湿・防錆・防塵などの保管ができる ばらばらの部品を販売単位集積包装 包装ニーズに対して、二つのモデルがある。 特別寸法の注文も可能。詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
クリア蓋で、包装中でも確認可能。leakage is very low
長期間の防湿・防錆・防塵などの保管ができる。 包装ニーズに対して、二つのモデルがある。 強固なアクリル樹脂製のカバーは、透明なので真空作業中でも中の様子がよく見えます。 特別寸法の注文も可能。詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
真空ポンプ設備室に隣接していたコンサートホールにウォーターハンマーの音が響き大問題に・・・ JVT型真空ポンプ導入ですべて解決！
ドレン回収真空ポンプ『JVT型』は、冷却水が不要で 90℃以上の高温ドレンも安定して回収可能な製品です。 真空発生部に独自の“高性能熱水ジェットポンプ”を使用しており、 空気・リーク蒸気・ドレン・フラッシュ蒸気を吸い込むため、 ドレン温度を気にせず使用できます。 今回の事例で取り上げる 音響施設（コンサートホール）では隣接していた真空ポンプ設備室のポンプが水封式で、真空度があまり出なかった。 結果、ドレンを十分に吸引できず、ウォーターハンマーが発生してしまい その騒音で、コンサートホールで大問題に・・・ そこで進栄技研のJVT型真空ポンプの導入により 回収管を積極的に真空にすることでドレン排出をあげて ドレン残りを発生させずウォーターハンマーの防止 【特長】 ■低騒音 ■特注対応可能 ■補給水が不要で厳寒期の保守も安心 ■蒸気がポンプに入らない構造でほぼメンテナンスフリー 今回の事例のようにお客様のご要望に応じて、カスタマイズも可能です。 ★現在、技術資料と上記の導入事例資料をまとめて進呈中！ 詳しくは「ダウンロード」より資料をご覧ください。
油ではなく水により、真空シール、回転部の潤滑、摺動部の冷却をおこないます。
水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車により本体を構成し、羽根車はケーシングと偏心した位置に取付けられています。ケーシング内に適当量封水を入れて羽根車を回転させますと、図のように、質量の大きい封水は、遠心力によってケーシング内壁に沿って同心のリング状になります。羽根車が回転することにより、この封水リングの内壁と羽根車の羽根によって囲まれた空間の容積が変化することを利用して、側壁または羽根車の内壁に設けられている吸・排気口を通して、吸入・圧縮・排気の作用を連続的に行います。さらに、高速回転により能率的に排気します。また封水は、吸気された気体が必ず排気されるように、シールの役目をしています。
酸性・アルカリ性の高腐食性ガスの吸引に。厚膜フッ素樹脂コーティング(200μm)採用。独自の立形構造により凝縮液の回収を容易に。
ケミカルプロセスに適した立形ドライ真空ポンプ「TRV シリーズ」のラインナップに厚膜フッ素樹脂コーティングが加わりました。 ステンレスでは対応出来ない酸性・アルカリ性の高腐食性ガスを吸引するハードプロセスにも対応いたします。 独自の立形構造は、ガス流路が上部から下部へ流れるように配置されており、ガスと共に吸引したミストやポンプ内部で凝縮した液体は、吐出口まで流下し大気圧力下で容易に排出・回収することができます。 また設置面積が小さいため、装置への組み込みにも適しています。 【特長】 ■200μ m の厚膜フッ素樹脂コーティングに対応 ■大気圧から締切運転まで安定した運転が可能 ■120°Cまでの高温ガスの吸引が可能 ■メカニカルブースターとの組み合わせにより幅広い真空域に対応 ■電動機は防爆対応も可能 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくかお気軽にお問い合わせください。
必要部品完全装着、冷却水不要！抜群の真空度で安定したドレン回収を実現！
『JVC型』は、独特の高効率ジェット式真空ポンプと、高温用渦巻ポンプを 使用した安定したドレン回収ポンプです。 給水タンクや環水タンク（ホットウェルタンク）が設備されている 蒸気ボイラ設備において、タンク内の水温に応じて抜群の真空度が得られます。 【特長】 ■ポンプを使用するのに必要な全ての弁類、機器がユニットに 組込まれており、手軽で工事ミスがない ■取付工事は3箇所の配管接続と制御盤に電源を接続すれば完了 ■吸込性能の良い循環ポンプを使用 ■小型の給水タンクでもキャピテーションの心配がない ■タンクの保有水量が多い場合は、熱容量が大きく回収熱量も大きくなる ■循環ポンプの軸シール部は負圧にならず、メカニカルシールの ドライ運転は発生しない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
厳寒期の補給水確保が困難… ポンプの金属製の作動音が高く患者や利用者からのクレームが… JVT型真空ポンプ導入ですべて解決！
ドレン回収真空ポンプ『JVT型』は、冷却水が不要で 90℃以上の高温ドレンも安定して回収可能な製品です。 真空発生部に独自の“高性能熱水ジェットポンプ”を使用しており、 空気・リーク蒸気・ドレン・フラッシュ蒸気を吸い込むため、 ドレン温度を気にせず使用できます。 今回の事例で取り上げる 某国立病院ではドレン温度60℃以上で 真空機能が低下… 寒冷地のため特に厳寒期の高温ドレン回収は省エネルギーと保守管理面から極めて重要な課題でした。（補給水がないとポンプが動作しないため） さらにポンプの金属製の作動音が高く、入院患者や利用者からのクレームも悩みの種… そこで進栄技研のJVT型真空ポンプの導入により 高温ドレンのまま回収が可能になり、補給水が不要なため 保守・省エネのメリット+低騒音による患者のクレームも無くなりました。 【特長】 ■低騒音 ■特注対応可能 ■補給水が不要で厳寒期の保守も安心 ■蒸気がポンプに入らない構造でほぼメンテナンスフリー ★現在、技術資料と上記の導入事例資料をまとめて進呈中！ 詳しくは「ダウンロード」より資料をご覧ください。
真空パック・ガスパック・ブリスターパック・スキンパックと様々な包装形態に対応。
・多品種の兼用包装に機能発揮 製品アイテムは１０種類までメモリー。登録・変更もワンタッチ設定方式。 ・安定したフィルム繰り出し 上下フィルムサプライは段差ローラー式で、巻径のサイズに関わらず、常に一定の張力でフィルム繰り出します。 ・美しく安定したシール 特殊シール機能の採用により、美しいシールが得られます。シールパターンも全面・枠・アヤ目・液物用シール等多彩です。 ・メンテナンス・サニタリー性アップ 各種モーター、電磁弁は専用ボックスに収納。本体側面カバーを外せばメンテナンスも楽に行えます。供給部は洗浄可能で衛生的です。 ・すべてに安全性を重視 各種の異常発生時に電子ブザーで警報と画面による表示を行い、素早くリカバリーします。
ケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプ！
油回転ポンプ・水封式ポンプの様にケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプです。 ユニークなドライ真空ポンプとして 業界注目の的です。
基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。【アルバック／ULVAC】
VS650A/VS750A は、1段式ベーン型（回転翼型）の油回転真空ポンプです。大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。また、冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びください。 【ラインナップ】 ○VS650A-A ○VS650A-W ○VS750A-A ○VS750A-W 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバック／ULVAC】
A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴】 ○高スループット ○基板ダメージの低減 ○基板温度の抑制 ○簡易な接続性 ○逆パルス周波数の変更可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
