無酸素Pd/Ti蒸着ICFゼロレングスNEGポンプ
NEG（Non-Evaporable Getter）は、 ゲッター作用を用いて排気を行い 超高真空を生成することのできる真空ポンプです。 加熱、昇華によって真空を得るゲッターポンプとは異なり、 真空部品の内側に形成した膜を加熱後に冷却することによって 水素などの気体分子を膜の表面・内部に吸着します。 一般にターボ分子ポンプなどと組合わせて使用します。 NEG（Non-Evaporable Getter）は、 ゲッター作用によって化学的に活性な固体表面に 気体分子を吸着する作用です。 ベーキング後の真空容器の内面から常時放出される 水素（H2）、一酸化炭素（CO）などの気体を吸着し、 超高真空を維持します。 コンパクト設計の最新型NEGは、 機能性を高めながら性能とコストの両面で最適化されており、 お客様の用途において 比較的容易に超高真空環境を作り出すことができます。 例えば、超高真空環境を必要とする 容器・機器・装置（分析装置や試料保管容器など）に応用できます。 当社はこのNEGの技術活かした 『NEGLAZE（ネグレーズ）』を開発致しました。
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基本情報
■主な特徴 ・高速排気（H2：2,200L/s） 大気導入、真空排気、ベーキングを繰り返しても排気性能を維持 ※上記は参考値です。保証値ではありません。 ・ゼロレングス（高さ0mm） ベーキング時後は電源不要 ・軽量/コンパクト/ICFポートに設置可 オイルフリーで排気可能 ・無騒音・パーティクル無し 蒸発、スパッタを伴いません ■主な仕様 ・規格/サイズ ICF 203（φ203×t22mm） ・重量 2.85kg 本体のみ ・排気可能ガス 水素 / 一酸化炭素 ・再活性化可能回数 10回以上 ■詳細はこちらから https://www.ikc.co.jp/products/vacuum_pump/vacuum_pump_detail.html ※本製品は、大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構が有する、 特許 第6916537「非蒸発型ゲッタコーティング部品、容器、製法、装置」の 許諾を受けています。
価格情報
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納期
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用途／実績例
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企業情報
入江工研株式会社は、１９６６年の創立以来約６０年にわたり、金属ベローズの製作を中核として真空技術の発展に取り組んできました。高度な加工技術・溶接技術と独自の真空技術を活かし、金属ベローズ、真空バルブ、真空チャンバー、真空機器などの開発・製造を行っています。特に半導体製造分野においては、各種真空ベローズをはじめとする高付加価値製品を提供し、多くのお客様から信頼をいただいております。研究開発型企業として、より豊かな社会の実現に貢献する製品づくりを追求し、これからも技術革新と品質向上に挑戦し続けます。
