入江工研の製品ラインアップ

NEG（Non-Evaporable Getter）は、 ゲッター作用を用いて排気を行い 超高真空を生成することのできる真空ポンプです。 加熱、昇華によって真空を得るゲッターポンプとは異なり、 真空部品の内側に形成した膜を加熱後に冷却することによって 水素などの気体分子を膜の表面・内部に吸着します。 一般にターボ分子ポンプなどと組合わせて使用します。 NEG（Non-Evaporable Getter）は、 ゲッター作用によって化学的に活性な固体表面に 気体分子を吸着する作用です。 ベーキング後の真空容器の内面から常時放出される 水素（H2）、一酸化炭素（CO）などの気体を吸着し、 超高真空を維持します。 コンパクト設計の最新型NEGは、 機能性を高めながら性能とコストの両面で最適化されており、 お客様の用途において 比較的容易に超高真空環境を作り出すことができます。 例えば、超高真空環境を必要とする 容器・機器・装置（分析装置や試料保管容器など）に応用できます。 当社はこのNEGの技術活かした 『NEGLAZE（ネグレーズ）』を開発致しました。

• 真空ポンプ
• 真空機器

ステンレス製のフレキシブルチューブを製作しております。 ------------------------------------------------------------------------------------------ フレキシブルチューブとは、 自由自在に曲げる事ができる装置の配管用として使用される 比較的小口径のべローズです。 【特長】 ・自由自在に曲げる事ができ、容易に配管を接続する事が可能です。 ・チューブ長さを容易に設定する事が可能です。 ・弊社のフレキシブルチューブは真空配管の接続が標準仕様です。

• 管継手

『特殊形状ベローズ』を取り扱っております。 様々なニーズに合った製品をご提案いたします。 「矩形ベローズシリーズ」 正方形、長方形の開口を基本形状としたベローズ ・チャンバーとチャンバーの接続部や 　チャンバーとゲートバルブの接続部の取り付け誤差吸収用 「長円形ベローズシリーズ」 角丸長方形の開口を基本形状としたベローズ ・矩形ベローズでは変位性能を出しにくい角部を半円状にする事で 　変位性能を向上させた製品 「自由形ベローズシリーズ」 お客様の御要望に沿った開口で製作するベローズ ・装置設計や配管設計の都合上、 　丸形や矩形・長円形では 　ベローズのスペースが確保出来ない場合などに、 　空いているスペースで適切な開口形状に製作する製品

• 管継手

入江工研が取り扱う高性能な成形ベローズです。 ロイヤル成形ベローズは、 溶接ベローズ並みの高寿命(100万回)を実現しております。 優れた耐食性を有しており、 Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止。 650°に於いてSUS316Lの常温引張強さ、 0.2％耐力等よりも優れております。 【特長】 ■優れた耐食性を有する ■Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止 ■高温強度を有する スーパー成形ベローズは、 従来の成形ベローズより50％以上コンパクト設計が可能です。 【特長】 ■溶接ベローズ並みの高寿命を実現（100万回） ■従来の成形ベローズよりバネ定数が1/2以下 ■従来の成形ベローズより50％以上コンパクト設計が可能

• 管継手

当社は、独自の液圧成形法により製作。 応力のバラツキを防止が可能で、 量産製作での品質の均一化が図ることができます。 -------------------------------------------------------------------------- 『成形べローズ』は、溶接べローズに比べて 歴史的に古くいろいろな製造方法が考案されています。 一般的に広く採用されているのは、 機械的に成形するロール成形法と、液圧によるバルジ成形法です。 【特長】 ■ロール成形法に比べて精度の高いものが得られる ■応力のバラツキを防止出来る ■量産製作での品質の均一化が図れる ■廉価である

• 管継手

『磁気結合式 直進回転導入機（MFL）』は、 強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用しているため 高トルク伝達ができ、ロストモーションも少ない設計です。 直進回転導入機の他、 回転導入機もご用意しており、用途に合わせてお選びいただけます。 また、モーター駆動にも対応しております。 【特長】 ■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減 ■磁石を取り付けたままベーキング可能 ■ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能 ■オプションで回転防止機構もご用意

• 真空機器

当社では、チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、 希薄な活性ガス環境などの特殊な環境に対応することのできる チャンバーの製作をいたします。 ----------------------------------------------------------------------------------- 性能要求が厳しい半導体デバイス用製造装置等のサプライヤーとして、 高度にカスタマイズされた真空チャンバーを、 設計から検査まで、 高精度・高品質の真空機器をワンストップでご提供いたします。 安心と信頼の技術力は当社の強みです。 下記ページには、設計から検査に至るプロセス等を 紹介させていただいております。 https://www.ikc.co.jp/products/Vacuum_Components.html

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

真空機器向けに設計したシャッターです。 ビューイングポートへの蒸着保護 および光・ビームの遮断にご利用ください。 手動タイプと自動タイプ(エアー駆動)の2タイプをご用意しております。 【特長】 ・ベローズ式回転導入機を使用した信頼・実績のある機構を採用 ・超高真空領域まで使用可能 ・バタフライ式でなおかつ 　シャッター折り曲げ式機構のため、視界が広範囲 ・回転ロック機構付きで、開度が任意に設定可能 ・両端コンフラットフランジ（両刃）のため、配管途中に取り付け可能

• CVD装置
• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

磁気結合式直進回転導入機（MFL）を 取り付ける際の軸差および角度調整にご利用ください。 真空容器への機器を取り付ける際、誤差調整用として最適です。 【特長】 ・ベローズ式シール機構 ・コンフラットフランジをラインナップ ・XY方向調整のみでなく、角度調整機構付きもラインナップ

• スパッタリング装置
• その他半導体製造装置

■片面シール　Normal type 『無摺動』を設計思想として開発し､ 発展させたゲートバルブです。 誕生以来その確かな性能を評価され、 現在では様々な市場､ 環境で御使用頂いております。 開口サイズ、圧力条件、高温対応、弁箱有無等々 お客様の多種多様なニーズに合わせてカスタマイズ致します。 【特長】 ・パーティクルフリー ・シンプルな構造 ・長寿命（自社ベローズ採用） ■両面シール　seal 方向切替 type Normal type に更なる機能を持たせたゲートバルブです。 seal 方向をトランスファーチャンバー側へ切り替えることにより、 大気開放するプロセスチャンバー以外の真空を保持､ それによりプロセスチャンバーのメンテナンス中も 装置の稼働を継続できます。 その状態でプロセスチャンバー側の 弁板 seal 用 O-ring の交換も容易に可能です。 【特長】 ・高負荷プロセス向け ・弁体イージーメンテナンス ・長寿命（自社ベローズ採用）

• バルブ

強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入と直進回転導入の２タイプをご用意しており、 モーター駆動にも対応可能です。

• 真空機器

入江工研の直進導入機は、 ベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、 駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品です。 当社溶接ベローズを内蔵し、 ストロークを１０～２００mmまで規格化しました。 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、 超高真空の領域で使用可能です。 機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、 小型、軽量になっています。 手動タイプはベーキング温度２５０℃に耐える設計にしております。

• 真空機器

溶接ベローズの両端にコンフラットフランジを溶接した規格になります。 標準仕様と同様の条件（内部真空・常温等）で ご使用になる場合に便利にご使用頂けます。 ---------------------------------------------------------------------------- 『溶接ベローズ』は、 精密なディスク上の薄肉金属板を内径と外径を交互に 溶接しながら繋ぎ合わせて製作される金属ベローズです。

• 真空機器

豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した 長寿命の真空バルブです。 下記3種類の接続形式を手動及び自動（圧空式）をシリーズ化しました。 １. 取扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ ２. 超高真空用及び有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き ３. 一般JIS真空フランジ付き 【特長】 ・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。 ・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。 ・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れません。 ・取り付け姿勢が自由。 （特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く 　取り付け姿勢を推奨しております。） ・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。 ・片側回転フランジのため、取付けが容易。(コンフラットフランジ)

• バルブ

金具の付かない溶接ベローズ部のみの規格になります。 金具との溶接をお客様で施工なされる場合、 お客様で製作された金具をご支給頂き弊社で溶接する場合等に ご使用頂けます。 ------------------------------------------------------------------------------------ 『溶接ベローズ』は、 精密なディスク上の薄肉金属板を内径と外径を交互に溶接しながら 繋ぎ合わせて製作される金属ベローズです。 コンパクトで大きい伸縮量が得られる「NS,NA規格溶接べローズ」と、 ひと山あたりのストロークが従来の30％以上アップし、 経済性を実現した「コンパクト溶接ベローズ」を ラインアップしています。 【特長】 ＜NS,NA規格溶接べローズ＞ ■コンパクトで大きい伸縮量が得られる ■バネ反力が小さい ■長寿命での使用が可能 ■エンドフィッティングの選択が出来、設計に自由度がある ■Y型エンドフィッティング付きは、お客様での溶接が可能 ■取付け方向に制限がない

• 真空機器

ゲートバルブ『ガリバー』は、シール開口の大型化が容易であり Ｇ５～Ｇ１０.５まで豊富な実績を有します。 弁板の傾斜動作が不要のため、シール動作が安定し信頼性が向上します。 ■片面シール　L-motion type 大開口サイズを得意とする当社の代名詞であるゲートバルブです。 弁板ユニットに自社製ベローズを 組み合わせたシリンダーを搭載することで 大開口であっても安定した seal 性を確保することができます。 また差圧キャンセル構造を取り入れることにより、 逆圧対応時に弁板に作用する圧力差を 大幅に低減することも可能です。 ■両面シール　T-motion type L-motion type を進化させたゲートバルブです。 Lock ～ Free 時に 2 枚の弁板を同時に動作させることで 動作時間の短縮が可能です。 またロッドの変形も無いことから、 反力による振動の発生も抑えられます。 運転モードの切替もオプションとして選択することができます。

• バルブ

入江工研の回転導入機は、 ベローズシール式とマグネットシール式の2種類ご用意し、 駆動方式も手動・自動と様々なニーズに合った製品です。 本ベローズ式回転導入機は、 高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、 大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が２°±０.５°のコンパクト回転導入機と、 ０.５°の高精度回転導入機の２タイプをご用意致しております。 シール部に溶接ベローズを採用していますので、 高真空の領域で使用出来ます。 また、機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、 小形、軽量になっています。 ベーキング温度ＭＡＸ１５０℃(１２０℃)に耐える設計にしております。

• 真空機器