高真空アングルバルブ
豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した 長寿命の真空バルブです。 下記3種類の接続形式を手動及び自動（圧空式）をシリーズ化しました。 １. 取扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ ２. 超高真空用及び有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き ３. 一般JIS真空フランジ付き 【特長】 ・バルブ材質の真空側は全てステンレス（SUS）で構成されています。 ・全体がコンパクト設計により小型、軽量化されています。 ・正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れません。 ・取り付け姿勢が自由。 （特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く 取り付け姿勢を推奨しております。） ・機能設計により大きなコンダクタンスが得られます。 ・片側回転フランジのため、取付けが容易。(コンフラットフランジ)
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基本情報
【仕様】 使用圧力 大気圧 〜 1×10-6 リーク量 ＜1×10-10 Pa･m3/s 寿命回数 □FLV(自動) 10万回FLV (automatic) □FLV(手動) 5万回FLV (manual) 操作圧力 0.5〜0.6MPa（自動） 耐熱温度 バルブボディ 120℃（MAX） ニューマチックアクチュエータ 65℃（MAX） 電磁弁付きの場合 50℃（MAX） 主要構成材料 バルブボディ ：SUS304 ：ハステロイ C-22(LX-□FLV) シリンダ ：アルミニウム 弁座シール ：バイトン ボンネットシール：バイトン ■現在は下記形式のみご提供させていただいております。 1FLV-16M0 KF16 1FLV-25M0 KF25 1FLV-40M0 KF40 1FLV-50M0 KF50 2FLV-70M0 CF70 1FLV-25C0 KF25 1FLV-40C0 KF40 1FLV-50C3 KF50 2FLV-70C0 CF70
価格情報
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納期
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用途／実績例
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企業情報
入江工研株式会社は、１９６６年の創立以来約６０年にわたり、金属ベローズの製作を中核として真空技術の発展に取り組んできました。高度な加工技術・溶接技術と独自の真空技術を活かし、金属ベローズ、真空バルブ、真空チャンバー、真空機器などの開発・製造を行っています。特に半導体製造分野においては、各種真空ベローズをはじめとする高付加価値製品を提供し、多くのお客様から信頼をいただいております。研究開発型企業として、より豊かな社会の実現に貢献する製品づくりを追求し、これからも技術革新と品質向上に挑戦し続けます。
