磁気結合式回転導入機
強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入と直進回転導入の２タイプをご用意しており、 モーター駆動にも対応可能です。
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基本情報
■標準仕様 MFR-34 （接続フランジ）CF34 （駆動方法）手動 (モーター駆動対応可能) （回転範囲）360° （先端軸径） φ6(-0.01/-0.02) （リーク量）1×10-9Pa・m3／s以下 （ベーキング温度）120℃(磁石付) （使用主材料）本体：SUS304 ハンドル：アルミニウム MFR-70 （接続フランジ）CF70 （駆動方法）手動 (モーター駆動対応可能) （回転範囲）360° （先端軸径） φ10(-0.01/-0.02) （リーク量）1×10-9Pa・m3／s以下 （ベーキング温度）120℃(磁石付) （使用主材料）本体：SUS304 ハンドル：アルミニウム ※詳細はこちらから https://www.ikc.co.jp/products/Vacuum_Components/Multi_Motion_Feedthroughs.html
価格情報
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納期
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用途／実績例
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企業情報
入江工研株式会社は、１９６６年の創立以来約６０年にわたり、金属ベローズの製作を中核として真空技術の発展に取り組んできました。高度な加工技術・溶接技術と独自の真空技術を活かし、金属ベローズ、真空バルブ、真空チャンバー、真空機器などの開発・製造を行っています。特に半導体製造分野においては、各種真空ベローズをはじめとする高付加価値製品を提供し、多くのお客様から信頼をいただいております。研究開発型企業として、より豊かな社会の実現に貢献する製品づくりを追求し、これからも技術革新と品質向上に挑戦し続けます。
