ベローズ式回転導入機
本ベローズ式回転導入機は、 高精度回転導入機とコンパクト回転導入機があり、 大気側から真空側へ回転運動を伝えるためのユニットです。 真空と大気の遮断には金属製の溶接ベローズを用いているので、 高真空領域までご使用いただけます。 回転位置決め精度(無負荷時)が２°±０.５°のコンパクト回転導入機と、 ０.５°の高精度回転導入機の２タイプをご用意致しております。 シール部に溶接ベローズを採用していますので、 高真空の領域で使用出来ます。 また、機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、 小形、軽量になっています。 ベーキング温度ＭＡＸ１５０℃(１２０℃)に耐える設計にしております。
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基本情報
■共通仕様 IRC-34 駆動方法 手動 リーク量 1×10-10Pa・m3/s 以下 1×10-9Pa・m3/s 以下 ベーキング温度150℃以下 使用主材料 SUS304 ベローズ材質 SUS316L 回転寿命 100,000回 IRC-70 駆動方法 手動 リーク量 1×10-10Pa・m3/s 以下 1×10-9Pa・m3/s 以下 ベーキング温度150℃以下 使用主材料 SUS304 ベローズ材質 SUS316L 回転寿命 100,000回 IRP-70 駆動方法 手動 リーク量 1×10-10Pa・m3/s 以下 1×10-9Pa・m3/s 以下 ベーキング温度120℃以下 使用主材料 SUS304 ベローズ材質 SUS316L 回転寿命 100,000回 ■詳細はこちらから https://www.ikc.co.jp/products/Vacuum_Components/Rotary_Feedthroughs.html
価格情報
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納期
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用途／実績例
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企業情報
入江工研株式会社は、１９６６年の創立以来約６０年にわたり、金属ベローズの製作を中核として真空技術の発展に取り組んできました。高度な加工技術・溶接技術と独自の真空技術を活かし、金属ベローズ、真空バルブ、真空チャンバー、真空機器などの開発・製造を行っています。特に半導体製造分野においては、各種真空ベローズをはじめとする高付加価値製品を提供し、多くのお客様から信頼をいただいております。研究開発型企業として、より豊かな社会の実現に貢献する製品づくりを追求し、これからも技術革新と品質向上に挑戦し続けます。
