磁気結合式 直進回転導入機
『磁気結合式 直進回転導入機（MFL）』は、 強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 真空内外ともにサマリウム－コバルト磁石を使用しているため 高トルク伝達ができ、ロストモーションも少ない設計です。 直進回転導入機の他、 回転導入機もご用意しており、用途に合わせてお選びいただけます。 また、モーター駆動にも対応しております。 【特長】 ■真空内の従動磁石部はステンレス鋼薄板で封止し、ガス放出量を低減 ■磁石を取り付けたままベーキング可能 ■ベアリングを交換することで、半永久的に使用可能 ■オプションで回転防止機構もご用意
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基本情報
直進方向のストロークを3種類から選択可能です。 【ラインアップ】 ■MFL-70 （接続フランジ）CF70 （駆動方式）手動 （回転範囲）360° （直進ストローク）500mm 800mm 1000mm （先端軸径）φ19h8 （リーク量）1×10-9Pa・m3／s以下 （ベーキング温度）120℃(磁石付) （仕様主材料）本体：SUS304 ハンドル：アルミニウム ■MFL-114 （接続フランジ）CF114 （駆動方式）手動 （回転範囲）360° （直進ストローク）500mm 800mm 1000mm （先端軸径）φ19h8 （リーク量）1×10-9Pa・m3／s以下 （ベーキング温度）120℃(磁石付) （仕様主材料）本体：SUS304 ハンドル：アルミニウム ■詳細はこちらから https://www.ikc.co.jp/products/Vacuum_Components/Multi_Motion_Feedthroughs.html
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企業情報
入江工研株式会社は、１９６６年の創立以来約６０年にわたり、金属ベローズの製作を中核として真空技術の発展に取り組んできました。高度な加工技術・溶接技術と独自の真空技術を活かし、金属ベローズ、真空バルブ、真空チャンバー、真空機器などの開発・製造を行っています。特に半導体製造分野においては、各種真空ベローズをはじめとする高付加価値製品を提供し、多くのお客様から信頼をいただいております。研究開発型企業として、より豊かな社会の実現に貢献する製品づくりを追求し、これからも技術革新と品質向上に挑戦し続けます。
