角型ゲートバルブ『 コスラーズ 』
■片面シール Normal type 『無摺動』を設計思想として開発し､ 発展させたゲートバルブです。 誕生以来その確かな性能を評価され、 現在では様々な市場､ 環境で御使用頂いております。 開口サイズ、圧力条件、高温対応、弁箱有無等々 お客様の多種多様なニーズに合わせてカスタマイズ致します。 【特長】 ・パーティクルフリー ・シンプルな構造 ・長寿命（自社ベローズ採用） ■両面シール seal 方向切替 type Normal type に更なる機能を持たせたゲートバルブです。 seal 方向をトランスファーチャンバー側へ切り替えることにより、 大気開放するプロセスチャンバー以外の真空を保持､ それによりプロセスチャンバーのメンテナンス中も 装置の稼働を継続できます。 その状態でプロセスチャンバー側の 弁板 seal 用 O-ring の交換も容易に可能です。 【特長】 ・高負荷プロセス向け ・弁体イージーメンテナンス ・長寿命（自社ベローズ採用）
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基本情報
【片面シール Normal type】 ■標準仕様 リーク量 本体：1×10-10[Pa･m3/s] 弁体：5×10-10[Pa･m3/s]（逆圧） 使用温度 本体：120[℃ ] アクチュエータ：60[℃ ] 開閉時間 1.0～3.0[s] 操作圧力 0.45～0.55[MPa] 寿命 100万回 オプション 加熱仕様の追加 : 弁体 本体 圧力方向 同圧 正圧 【両面シール Seal 方向切替え Type】 ■標準仕様 リーク量 本体：1×10-10[Pa･m3/s] 弁体：5×10-10[Pa･m3/s]（同圧） 使用温度 本体：120[℃ ] アクチュエータ：60[℃ ] 開閉時間 1.0～3.0[s] 材質 弁箱：A5052/SUS304 ベローズ：AM350/SUS316L 弁板：A5052 シール材 FKM 操作圧力 0.45～0.55[MPa] 寿命 100万回～300万回 オプション 加熱仕様の追加 : 弁体 本体 圧力方向 逆圧
価格情報
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納期
用途／実績例
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企業情報
入江工研株式会社は、１９６６年の創立以来約６０年にわたり、金属ベローズの製作を中核として真空技術の発展に取り組んできました。高度な加工技術・溶接技術と独自の真空技術を活かし、金属ベローズ、真空バルブ、真空チャンバー、真空機器などの開発・製造を行っています。特に半導体製造分野においては、各種真空ベローズをはじめとする高付加価値製品を提供し、多くのお客様から信頼をいただいております。研究開発型企業として、より豊かな社会の実現に貢献する製品づくりを追求し、これからも技術革新と品質向上に挑戦し続けます。
