腐食性ガスにも対応！
-極めて少ないアウトガス量 -大きな差圧対応 -CF回転フランジ
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基本情報
サイズ: DN 16 – 63 mm (⅝“ – 2½“) アクチュエータ: 手動式-取外し可能なハンドホイール式 圧空作動式-単動シリンダースプリングによる閉動作（NC) ボディ材質: ステンレススチール 軸シール: ベローズ 標準フランジ: CF-R
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用途／実績例
極めて少ないアウトガス量が要求されるUHVアプリケーションの排気およびベント用
ラインアップ（6）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 28424-GE01 | 手動式、ハンドホイール式（脱着式） |
| 28432-GE01 | 手動式、ハンドホイール式（脱着式） |
| 28436-GE01 | 手動式、ハンドホイール式（脱着式） |
| 28424-GE11 | 圧空作動式-単動シリンダー、閉動作はスプリング（NC）、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 28432-GE11 | 圧空作動式-単動スプリング、閉動作はスプリング（NC）、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
| 28436-GE11 | 圧空作動式-単動スプリング、閉動作はスプリング(NC)、電磁弁なし、リミットスイッチなし |
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。
