チャンバー
当社では、チャンバー内部が超高真空から大気圧やプラズマ環境、 希薄な活性ガス環境などの特殊な環境に対応することのできる チャンバーの製作をいたします。 ----------------------------------------------------------------------------------- 性能要求が厳しい半導体デバイス用製造装置等のサプライヤーとして、 高度にカスタマイズされた真空チャンバーを、 設計から検査まで、 高精度・高品質の真空機器をワンストップでご提供いたします。 安心と信頼の技術力は当社の強みです。 下記ページには、設計から検査に至るプロセス等を 紹介させていただいております。 https://www.ikc.co.jp/products/Vacuum_Components.html
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入江工研株式会社は、1966年の創立以来約60年にわたり、金属ベローズの製作を中核として真空技術の発展に取り組んできました。高度な加工技術・溶接技術と独自の真空技術を活かし、金属ベローズ、真空バルブ、真空チャンバー、真空機器などの開発・製造を行っています。特に半導体製造分野においては、各種真空ベローズをはじめとする高付加価値製品を提供し、多くのお客様から信頼をいただいております。研究開発型企業として、より豊かな社会の実現に貢献する製品づくりを追求し、これからも技術革新と品質向上に挑戦し続けます。










