XYテーブル
磁気結合式直進回転導入機（MFL）を 取り付ける際の軸差および角度調整にご利用ください。 真空容器への機器を取り付ける際、誤差調整用として最適です。 【特長】 ・ベローズ式シール機構 ・コンフラットフランジをラインナップ ・XY方向調整のみでなく、角度調整機構付きもラインナップ
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基本情報
■標準仕様 XY調整のみ （接続フランジ）CF70 （型式）TSL-70 （接続フランジ）CF114 （型式）TSL-114 （接続フランジ）CF152 （型式）TSL-152 XY調整＋角度調整 （接続フランジ）CF70 （型式）TSN-70 （接続フランジ）CF114 （型式）TSN-114 （接続フランジ）CF152 （型式）TSN-152 ※詳細はこちらから https://www.ikc.co.jp/products/Vacuum_Components/Multi_Motion_Feedthroughs.html
価格情報
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納期
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用途／実績例
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企業情報
入江工研株式会社は、１９６６年の創立以来約６０年にわたり、金属ベローズの製作を中核として真空技術の発展に取り組んできました。高度な加工技術・溶接技術と独自の真空技術を活かし、金属ベローズ、真空バルブ、真空チャンバー、真空機器などの開発・製造を行っています。特に半導体製造分野においては、各種真空ベローズをはじめとする高付加価値製品を提供し、多くのお客様から信頼をいただいております。研究開発型企業として、より豊かな社会の実現に貢献する製品づくりを追求し、これからも技術革新と品質向上に挑戦し続けます。
