ベローズ式シールシャッター
真空機器向けに設計したシャッターです。 ビューイングポートへの蒸着保護 および光・ビームの遮断にご利用ください。 手動タイプと自動タイプ(エアー駆動)の2タイプをご用意しております。 【特長】 ・ベローズ式回転導入機を使用した信頼・実績のある機構を採用 ・超高真空領域まで使用可能 ・バタフライ式でなおかつ シャッター折り曲げ式機構のため、視界が広範囲 ・回転ロック機構付きで、開度が任意に設定可能 ・両端コンフラットフランジ（両刃）のため、配管途中に取り付け可能
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基本情報
■標準仕様 手動 （接続フランジ）CF70 （型式）RCS-70 （接続フランジ）CF114 （型式）RCS-114 （接続フランジ）CF152 （型式）RCS-152 （接続フランジ）CF203 （型式）RCS-203 自動 (エアー駆動) （接続フランジ）CF70 （型式）ARS-70 （接続フランジ）CF114 （型式）ARS-114 （接続フランジ）CF152 （型式）ARS-152 （接続フランジ）CF203 （型式）ARS-203 ※詳細はこちらから https://www.ikc.co.jp/products/Vacuum_Components/Multi_Motion_Feedthroughs.html
価格情報
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納期
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用途／実績例
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企業情報
入江工研株式会社は、１９６６年の創立以来約６０年にわたり、金属ベローズの製作を中核として真空技術の発展に取り組んできました。高度な加工技術・溶接技術と独自の真空技術を活かし、金属ベローズ、真空バルブ、真空チャンバー、真空機器などの開発・製造を行っています。特に半導体製造分野においては、各種真空ベローズをはじめとする高付加価値製品を提供し、多くのお客様から信頼をいただいております。研究開発型企業として、より豊かな社会の実現に貢献する製品づくりを追求し、これからも技術革新と品質向上に挑戦し続けます。
