コンビネーション型ドライ真空ポンプ CBFシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。安全設計・低運転音・長寿命を実現。環境対応次世代ポンプ。
■安心設計・環境対応、CEマーキング対応。 ■低運転音、静音化設計により、3dBの低減(従来比)。 ■長寿命、新材質ブレードの採用により30％アップ(従来比)。 ■RoHS指令対応
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
真空ポンプ(半導体) - メーカー・企業と製品の一覧
更新日： 集計期間:2026年01月07日～2026年02月03日
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真空ポンプの製品一覧
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ベッカー（Becker） 製品総合カタログ
創業130年の老舗真空ポンプの専業メーカー！ベッカーの真空ポンプ、ブロア、コンプレッサの総合カタログです。
真空ポンプ・バキュームポンプ・コンプレッサなどの多数製品を掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ 〇オイル真空ポンプ 〇コンプレッサ ○サイドチャネルブロワ・リングブロワ ○スクリュー真空ポンプ ○ラジアルバキュームポンプ ○ロータリーベーン式コンプレッサ ○スクリューコンプレッサー ○ラジアルブロワ ※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スクリュー式真空ポンプ『VADS1500+』
創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低
創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS１５００ ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ しかも1420?/hの大風量！最大真空度 200 mbar 大きな設備の真空チャンバーや一括管理のセントラルシステムなどにご使用頂いております。 ベッカーエアーテクノ（株）はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点（東京・大阪・つくば・広島）日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。
【会社案内】アイアールシー株式会社
低価格・短納期！不要な装置の買取も全国対応いたします
アイアールシー株式会社は、中古機器の販売を中心に業務を行っている 中古販売会社です。 現在、本社を山梨に設置し東北から関東、中部、関西、中四国、 九州と全国幅広く対応しております。 【業務内容】 ■中古機器販売 ・取扱い機器：半導体・FPD関連機器、クリーンルーム関連機器、 理化学機器および一般産業機器など ■真空ポンプのオーバーホール ・ターボ分子ポンプ（小型）、ドライポンプ、クライオポンプなど ■露光装置修理、整備、販売 ・キャノン製PLAシリーズの中古機販売他、修理、整備、改造、移設サービス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：アイアールシー株式会社
- 価格：応相談
ノズル式真空包装機
包材の最適な温度コントロール機能
長期間の防湿・防錆・防塵などの保管ができる ばらばらの部品を販売単位集積包装 包装ニーズに対して、三つのモデルがある。 オプションパーツ（例え：ガス充填）ができる。 特別寸法の注文も可能。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
オイル真空ポンプ ベッカー Becker Uシリーズ
創業130年 真空ポンプの老舗 Becker ベッカー オイルポンプ
創業130年 真空ポンプの老舗 Becker ベッカー ベッカーのオイルポンプは小さい風量（6?/h）から大風量（630?/h）まで。 細かい刻みで幅広いラインナップから、お客様に最適な流用をご選択頂けます。 (6、20、40、70、100、165、190、250、300、400、630 ?/h) ベッカーエアーテクノ（株）はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点（東京・大阪・つくば・広島）日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。
卓上型ノズル式真空包装機
卓上型の包装機で、小さくて精巧である。
少量の生産に適し、設置スペースも縮小、小さくて精巧である。 長期間の防湿・防錆・防塵などの保管ができる ばらばらの部品を販売単位集積包装 包装ニーズに対して、三つのモデルがある。 オプションパーツ（例え：ガス充填）ができる。 特別寸法の注文も可能。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
COMPACT10E
1ユニット幅10mmのPiabのコンパクトポンプシリーズに、新たにCOMPACT10E が加わりました。
次の機能を選択できます。 真空検知の有無 特性の異なる2種類のCOAXカートリッジから選択可能 大真空流量モデル 高真空度モデル 共通の圧縮空気接続を持ったユニットを最大8ユニットまで連結可能です。ユニットの連結時には、共通のサイレンサーもしくはクリーンルームに適した共通の排気口を構成可能。 以下のような業種で必要とされる高速ピックアンドプレース用途に適します 電子機器や半導体 ピックアンドソートまたは試験/検査 部品搬送装置：高速（サイクルタイム50msまで）、SMT（表面実装）機械。 家電組立て、自動車電子部品など。 小型ロボットアプリケーション 例えば携帯電話の外郭やディスプレイなど、小型部品の組立て プラスチック（射出成形）、モールドからの部品の取り出し 消耗品、小物、電球、電池、クレジットカード、歯ブラシ、おしゃぶりなど 医薬品や化粧品の梱包 トップローディング（ケース入りカートン） カートン組立
- 企業：ピアブ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
【資料】真空集中排気システム『VIE-system』
真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの応用
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：有限会社ベック
- 価格：応相談
ベッカー（Becker） ドライ真空ポンプ 総合カタログ
ベッカーエアーテクノ社が取扱うロータリーベーン式ドライポンプの総合カタログです。
完全ドライ・オイルフリーの真空・ブロワー・コンビネーションの各種ドライポンプを多数掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ ○ドライ真空ポンプ VT4シリーズ ○ドライ真空ポンプ VTLFシリーズ ○ドライブロワーポンプ DT4シリーズ ○ドライブロワーポンプ KDT3シリーズ ○ドライブロワーポンプ DTLFシリーズ ○ドライコンビネーションポンプ T4シリーズ ○ドライコンビネーションポンプ DVT3シリーズ ほか ◆◆カタログご希望の方は資料請求よりお問合わせ下さい◆◆ ?ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただます?
真空ポンプの中古品販売
真空ポンプの中古品は、株式会社ソナスリンクへ。 自社在庫に加え、幅広いネットワークの中から、中古真空ポンプをお探します。
中古の真空ポンプを販売しております。 中古真空ポンプの一例 ・ロータリーポンプ ・メカニカルブースターポンプ ・ドライポンプ ・ターボ分子ポンプ ※必要とするポンプのモデルをお知らせください。 ※適合する機種が見つからない場合もございます。 ※可能な限り動作確認を行ってからの販売を行っております。 ※機種の状態によりオーバーホールを行ってからの引き渡しも行っております。
- 企業：株式会社ソナスリンク
- 価格：応相談
ノズル式脱気真空包装機／品番 M4188P-350MW-05
パッケージの酸化・腐食を防ぐ真空包装装置
1) 主要電気部品はDC24Vを使用し、安定した性能を発揮します。 2)コントローラはMYCOMを採用し、PLCより高精度。 3) コントローラーが箱型でないため、放熱効果が高く、耐久性に優れています。 4) 人間工学に基づき、上半身を斜めに設計し、使いやすくした。
コンビネーションパッケージ型ドライ真空ポンプ CBXPシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、 ブロワ・ブロワ等の各種組合せ。
■パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、ブロワ・ブロワ等の各種組合せにより、19機種を取り揃えました。 ■低運転音を実現。当社従来比3～5dB低減しました。 ■実績ある標準型ポンプを搭載し、メンテナンス性が向上しました。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
省エネスマートエジェクタ『SC2 コンバム』
真空応答時間20msの高速応答！小型スマート設計の省エネスマートエジェクタ
『SC1 コンバム』は、真空応答時間20msの高速応答を実現した 省エネスマートエジェクタです。 ※条件： 05HSタイプ,-60kPa到達時 真空配管φ 4/φ 2.5× 50mmの時。 当社製品(MC42単体タイプ)と比較し体積比40%減を達成。 デジタル圧力センサを搭載できるほか、マニホールドは 8連マニホールドまで対応可能です。 【特長】 ■高速応答 ■小型スマート設計 ■デジタル圧力センサ搭載可能 ■排気方法は個別排気 ■マニホールド可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：コンバム株式会社 旧社名：妙徳
- 価格：応相談
株式会社コスモファクトリー 会社案内
自然環境と調和した事業活動を行い、社会の進歩と繁栄に貢献することを目指します！
コスモファクトリーは、真空ポンプの点検・整備・メンテナンス サービスを行っております。 各種メーカーの生産工程に活きる当社の豊富な知識と確かな技術。 半導体プロセスラインを主体とした真空ポンプの点検、設備、 補修などのサポートサービスは、ひとつの技術商品として確立しており、 高い評価をいただいております。 さらに、より生産性の向上を目指した関連部品も独自に研究開発。 各種メーカーのパートナー企業として、当社は技術への限りない挑戦と 創造に努めています。 【業務内容】 ■ポンプ修理 ■メンテナンス各メーカー対応 ■新品・中古ポンプの販売 ■真空継手類製作・販売 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社コスモファクトリー
- 価格：応相談
ノズル式脱気真空包装機 ノズルの待機位置が調整可能（オプション）
ノズル式脱気シーラーの脱気ノズルの待機位置を、”前進”または”後退”のどちらかを選択できます。
増井技研製、脱気シーラーのオプション機能のご紹介です。 弊社の製品は最初に電源を入れた時やシール終了時は、 脱気ノズルは通常、後退した状態で待機しております。 脱気ノズルの待機位置を、今まで通り”後退で待機” もしくは ”前進で待機” を選ぶことができます。 さらに、”前進で待機”の場合、シール終了時から脱気ノズルが 自動で前進開始するまでの時間を設定できるのです。 だから、「ノズルが出てくるのが遅いなぁー」とイライラする事もなく、 「終了したワークがまだテーブルの上にあるのに、ノズルが出てきたー！」 とあわてなくても大丈夫。 作業される方のペースに合わせて設定してください。 設定は、タッチパネルで入力するだけで、簡単に設定や変更ができます。 まずは、お問合せください。
- 企業：株式会社増井技研
- 価格：応相談
キニー型真空ポンプKSシリーズ
耐久性の高いキニー型真空ポンプ
このKS シリーズは、キニー式の揺動ピストン型油回転真空ポンプで、ベルト駆動方式です。特に大型の真空ポンプに適した方式であり、当社では700 〜15000L/min まで9 機種をシリーズ化しております。同時にその堅牢な構造により、高耐久ポンプとの定評を得ており、耐久力を要求される各種真空炉などのメインポンプとして、数多く採用されております。
- 企業：佐藤真空株式会社
- 価格：応相談
wafer専用真空包装機TY-700Ｎ
クリンルームで、8”と12”のwafer専用機！
Body easy to open for maintenance without any tools. Sensor/timer changing functions. Over temp sealling bar protected device. Set the alarm for sealling wire interrupting electricity. Over temp sealing bar protected device
- 企業：台湾伊佐株式会社
- 価格：応相談
ドライ真空ポンプ ベッカー Becker VADS250
創業130年のドライ真空ポンプの老舗 Beckerベッカーのスクリュー式ドライ真空ポンプ メンテナンスフリーでランニングコスト低
創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー スクリュー式真空ポンプ VADS250 ドライ・オイルフリー、メンテナンスフリーのスクリュー式真空ポンプ 吸込風量 290?/h 最大真空度 0.1 mbar インバーター内蔵のため外付けする必要なし 既設のオイルポンプからの置き換えや、複数台を１台に集約することでコストを抑えるなど、オイルを使用したくないクリーンな環境にも対応した次世代のポンプとしてさまざまな分野でお使い頂いております。 メンテナンス代も含めたトータルコストの削減が可能です。 お問い合わせ頂ければ、コストメリット算出のお見積りいたします。 ベッカーエアーテクノ（株）はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点（東京・大阪・つくば・広島）日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。
液封式真空ポンプ/株式会社ニクニ
ミストや水蒸気の吸引による事故から解放！オイルミストの発生がなく清浄な環境を守る
「液封式真空ポンプ」は、一作動、側気口構造の一段式真空ポンプです。 羽根車の各セルにおいて水がピストン運動することによりガスの吸引・圧縮 を行うため、ミストや水蒸気を含んだガスの移送でも全く支障はなし。 また、ポンプ内部には金属接触がなく、液膜により完全にシールされモレが なく、爆発性のあるガスや腐食性の高いガスの吸引・圧縮に適します。 【特長】 ■高効率設計により経済性を追求、大幅に消費動力を削減 ■水封構造によりガスのリークは皆無、高価なガスの圧送、圧縮に効果的 ■低騒音 ■耐久性に優れる ■オイルミストの発生がなく清浄な環境を守る ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：大喜産業株式会社
- 価格：応相談
PIAB『piINLINE』インラインエジェクター
特許取得のCOAX技術を内部に用いた小型で軽量のエジェクターです。
piINLINE MICROは、特許取得のCOAX技術を内部に用いた小型で軽量のエジェクターです。 また、piINLINEは多段式エジェクター技術を採用した唯一のインラインの真空ポンプであり、特許の申請中です。 サクションカップ（またはサクションポイント）の近くのホースに直接実装することができます。 Piab（ピアブ）のpiINLINEエジェクターは、競合の類似サイズのインライン型のシングルエジェクターと比較して、少なくとも40-50%少ないエネルギー消費量でより優れた性能を発揮します。 インライン式真空ポンプは、電子／半導体のピック＆プレースのアプリケーションや専用の包装機器、射出成形オートメーション、金属成形機械（曲げ、穴あけ、レーザー切断）の積み／降ろしなどで特によく使われます。 【特徴】 ○しなやかながら、高い耐摩耗性に優れたサクションカップ ○シリコン不使用でマークフリー 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 （ピアブ・ジャパン株式会社）
- 企業：ピアブ・ジャパン株式会社
- 価格：応相談
イオンゲージ『M-311HG』
再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れた特長を持っています
『M-311HG』は、トランスデューサ真空計シリーズのイオンゲージです。 イオンゲージ（熱陰極電離真空計）は再現性、リニアリティーがよく、 広範囲な圧力測定が可能で真空計として優れた特長を持っています。 センサは実績のあるミニチュアゲージ（MG-2Iタイプ）を使用しています。 【特長】 ■ワイドな圧力測定範囲 ■高応答アナログ出力 ■4つのエミッション電流設定モード ■省スペース・低消費電力 ■安全性と環境に配慮した製品でRoHSおよびCEマーキングに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
- 価格：応相談
G-TRAN 1チャンネルディスプレイユニット ISG1
測定圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。【アルバック／ULVAC】
本ディスプレイは、G-TRAN 全シリーズ、およびCCM シリーズ対応の1 チャンネルディスプレイです。 測定ユニットと接続することにより、圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。 ディスプレイユニットを介して、リモート操作による制御、測定が可能です。 【特徴】 ○0-10Vのリニア出力 ○セットポイント出力（3点） ○入力電圧をDC24V ○表示部は見やすいLED ○CE標準対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.
- 価格：応相談
オイルフリー真空ポンプ KCPシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。新開発高効率ロータを使用(非接触・ブレードレス)、先進性能を搭載したベーシックモデル。
■先進性能を搭載したベーシックモデル。 新開発高効率ロータ(非接触)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。耳障りとなる低周波領域(主に300Hz以下)を大幅に低減しました。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)は、デジタル解析技術により最適なロータ曲線を実現。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。 ■PTFEシールの採用でドライ摺動を実現。 シール部の最適設計により、ポンプ室へのオイル侵入を遮断。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
直結型油回転真空ポンプ ＤＷシリーズ
豊富な実績に裏打ちされた直結ポンプのスタンダード
排気速度50～1300（60～1500）L/minまで7機種のラインナップがあり、お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。（60Hz）
- 企業：佐藤真空株式会社
- 価格：応相談
直結型油回転真空ポンプ ラムダＰシリーズ
お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。
すべてにグレードアップした新世代の直結 ”ニュー・ディグニティー（高品位）Λ（ラムダ）シリーズ
- 企業：佐藤真空株式会社
- 価格：応相談
ロータリーベーン式オイルフリー真空ポンプ（吸引用）
オイルフリー真空ポンプ！！ モーター一体又は直結の軽量コンパクト設計！完全ドライ、オイルフリー、メンテナンスフリーで静音（低運転
創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー ベッカーエアーテクノ（株）はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点（東京・大阪・つくば・広島）日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。
オイルフリー真空ポンプ インバータモデル KCEシリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。ベーシックモデルをインバータ制御し、更なる省エネを実現させたインバータモデル。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプ。 真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。最大84％の省エネを可能にしました。真空ポンプの省エネ化・長寿命化・静音化に貢献します。 ■インバータ制御により最大84％の省エネが可能。 真空ポンプの負荷状態を自動認識。インバータ制御により同じ真空度でも大幅な省エネを実現。 ■非接触ロータと2重パッケージ構造で更に静音。 環境改善となる低運転音。非接触ロータとの相乗効果で60Hz運転でも65dBを達成しました。 ■インテリジェント液晶パネルで簡単操作。 運転状況の把握や各種設定を液晶パネルで確認・操作できます。 ■スマート設計で設置性向上。 面壁付けが可能、もちろん上方排気設計。背面と側面の2面を壁付けできます。
- 企業：東栄株式会社
- 価格：応相談
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
垂直架台型 電動ヘッド脱気シーラー・真空包装機 CS80-K１
ドラム缶やペール缶、専用ボックスの内袋が得意！工程に合わせてヘッドが連動！
ドラム缶やペール缶、専用ボックスの内袋の脱気、シールを最も得意とします！ 立体的な物の包装に適した構造で上部でシールするタイプです。 タッチパネルで指一本の操作で楽にヘッドが上下できるので、 ワークにあわせて高さを微調整できます。 さらに、脱気～シール～終了の工程に連動してテーブルが上下するので、 確実な脱気、美しいシールが可能です。 シリーズで下記タイプもご用意しております。 【仕様】 ・シール長が800mm,1000mm ・ガス充填/置換仕様、クリーンルーム仕様、両面加熱仕様 ・シリンダー駆動式タイプ
- 企業：株式会社増井技研
- 価格：応相談
