更新日： 集計期間:2025年07月02日～2025年07月29日
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優れた吸引速度により、測定チャンバーを高速で排気、高真空での高流量 ターボ分子ポンプへの移送領域で安定した真空
N813.3シリーズ 基本流量: 13 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 3.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 bar (0.01 MPa) N813.4シリーズ 基本流量: 13 l/min (流量可変仕様あり) 到達真空度: 0.5 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 bar (0.01 MPa)
軽量コンパクトな液封式真空ポンプ
封液がピストンの役割をし、潤滑油が不要で低騒音、環境配慮型の液封式真空ポンプです。 従来のカップリング部分がなくなったことにより、大幅な軽量化とコンパクト化を実現しました。 シール部にはOリング、パッキンを採用し、メンテナンス性が向上しました。 吐出し口の一部にボールバルブ機構を採用。高真空域でも安定した運転を維持します。 モータ出力0.4～5.5kWをラインナップ。 本体と、封液を溜める補給水槽を共通ベースに載せたパッケージ品（VDP型）もバリエーション。 ※詳細はPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
