更新日： 集計期間:2025年10月15日～2025年11月11日
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真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの応用
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カップシール方式を採用し小型で長寿命・高空気量・高真空・無給油を実現！
『DP0410T』は、ツインヘッド交流量タイプの真空ポンプ・コンプレッサです。 ブラシレスモータを搭載し、制御運転が可能。機器組込みが容易にできます。 また当社では、真空ポンプ専用「DP0410T-TY」と、コンプレッサ専用の 「DP0410T-Y2」をそれぞれご用意しております。 【特長】 ■制御運転可能（専用基板搭載） ■ブラシレスモータ搭載 ■機器組込容易 ■制御機能 ・流量、圧力の可変が可能 ・過電流、過負荷防止 ・逆接続防止 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スリムでコンパクト、構成可能なモジュラー設計を採用しました。
小型エジェクター「P3010」ソレノイドバルブ搭載型は、3種類の MINI カートリッジ( Pi、Si、Xi )が選択可能です。 DS 23 3/2 バルブは、40 μ フィルターの圧縮空気に適しています。 【特徴】 ○2.5 W ソレノイドを搭載 ○サイレンサーと真空フィルター付き ○軽量 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
GENIUSを対応する真空ポンプと接続することにより、ポンプの稼働状況、運転時間、エネルギー消費量等の情報を可視化できます。
GENIUSは、真空ポンプの状態をリモートで見えるように支援するIOTツールです。 モバイル回線を備えたGENIUSボックスを介して、ポンプデータをクラウド上に転送し、 WebブラウザからGENIUSポータルサイトを通じて、リモートでの閲覧が可能となります。 稼働状況やエネルギー消費量、アラート情報を可視化し、定点観測することで、 ポンプの故障リスクを事前に察知し、計画的なメンテナンスに貢献いたします。 ＜GENIUSの特長＞ 〇対象ポンプ：インバーターが搭載されているポンプに限定されます（GXSシリーズ、EOSiシリーズ、今後順次拡大予定） 〇お手持ちの端末で閲覧可能：お使いのスマートフォン、タブレット、ＰＣから閲覧いただけます 〇多種多様なデータを記録可能：稼働状況や運転時間をはじめ、ポンプの温度、回転数、負荷状態などを記録、データのダウンロードが可能となります。
コンパクト＆高剛性！超小型ボディの位置決めテーブル
当製品は、高真空（1×10-5pa程度）対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ（予圧品）を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト＆高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
コンパクト×高真空×高機能！到達真空度3.3Pa(25ミクロン)ツーステージの威力！
『TA150SW』は、ツーステージローター搭載のウルトラミニツーステージ 真空ポンプです。 吸気された空気は直列につながれた2つのローターによって、より高く 圧縮されて排気。従って排気口と吸気口との間に大きな差圧が生じる こととなり、ワンステージのものより高い真空度を得ることができます。 また、ワンステージ目のローターに逆圧負荷がかからず、スムーズに 吸気回転ができるのも高真空を得る理由の一つです。 【特長】 ■コンパクト×高真空×高機能 ■ツーステージローター搭載 ■オイル逆流防止機構(電磁弁) ■コンパクトサイズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
転動体の循環で潤滑油を運搬！"Cルーブ"を内蔵した構造
当社で取り扱う、精密位置決めテーブル『LH』をご紹介いたします。 Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様。負荷域では常に最適な油量が 確保され、長期間潤滑性能を維持、転動体が接触するキャピラリー潤滑体の 表面には、他の部分から常に新しい潤滑油が供給されます。 高い走行精度と位置決め精度で、単軸仕様と二軸仕様をご用意しております。 【特長】 ■厳選された部品構成で信頼性が高く高精度 ■高剛性で大きな搭載質量 ■高い走行精度と位置決め精度 ■テーブル幅寸法420mmの超大形サイズまでシリーズ化 ■Cルーブ内蔵の長期メンテナンスフリー仕様 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空システムの性能を最大10倍まで高めるブースターポンプ！
真空ポンプの排気速度と到達真空度を向上させるメカニカルブースターポンプは、 最大10倍まで真空システムの性能を高めることができます。 サイズのバリエーションが豊富なため、 排気速度および到達真空度をプロセスの条件に合わせて的確にカスタマイズできます。 【特長】 パイパスバルブ内臓の有無で2種類に分かれています。 ■ PANDAファミリー： バイパスバルブ内臓。過負荷や熱から保護され、差圧が高い場合にも使用可能 ■ PUMAファミリー： バイパスバルブ無し。機械的強度と耐薬品性の高いGGG40ハウジング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
省エネ・低騒音！大気圧～到達圧力まで全圧力域で運転可能です
『プレミアム パッケージポンプ』は、省エネ、低騒音で IoT対応システムを搭載した新型真空ポンプです。 大気圧～到達圧力まで全圧力域で運転可能です。 タッチパネルに「運転稼動管理」や「圧力・負荷率グラフ」など 様々な情報を表示し、簡単操作で運転条件を変更できます。 【特長】 ■吸着輸送・真空成型・工場集中真空源 ■省エネ・低騒音 ■IoT対応システム ■簡単タッチパネル操作 ■複数台は台数制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
省エネ＆真空度100kPa対応！ 制御盤を一体化したコンパクトなオイルフリー真空ポンプです。シート成形や真空乳化装置に最適。
【オイルフリー真空ポンプKCM310の特徴】 ■省エネ（インバータ制御） エコスピードコントロール（※）機能を搭載し、真空利用の 負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御します。 ■コンパクト設計（一体型） インバータ、フィルター、圧力センサを内蔵したコンパクト設計 ■低運転音設計 運転音72dB以下 【用途例】 ・シート成形 ・真空乳化 など ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ----- ※オイルフリー真空ポンプ KCM310はトップランナー規制対応高効率モータを使用しています。 ※装置組込み用の小型の真空ポンプをお探しの方はオイルフリー真空ポンプ ベーシックモデルKCPまたはドライポンプ KRFシリーズの製品ページをご覧ください。
高効率ツインロータ採用！少ない動力で大流量を実現するポンプ・ブロワを掲載
『オイルフリー真空ポンプ・ブロワ 総合カタログ』は、 環境装置の販売及設置工事等を行っている、備商株式会社が販売・設置するオリオン社の総合カタログです。 省エネルギーで様々な環境負荷を低減する「KCPシリーズ」をはじめ、 インバータ制御により省エネルギーを実現する「KCEシリーズ」、 モジュールデザインを採用した「KCMシリーズ」を掲載しています。 【掲載内容】 ■「KCP/KCE/KCMシリーズ」概要 ■「KCP/KCE/KCMシリーズ」各機種の特長とスペック ■用途事例 ■バキュームポンプ ■ブロワポンプ ほか 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
消費電力の省力化、効率化を追及、長い寿命。さらに安全性、環境にも配慮。
PISCOロータリー真空ポンプ「RPV06」は、様々な用途に対応する環境配慮性能商品です。省エネルギー化、環境負荷低減化の動きが強まっている昨今、消費電力の 費用対効果が高い真空ポンプの使用が一部で始まっています。 既存の真空ポンプに比べ小形化・低運転音の弊社真空ポンプは、真空エアを使う様々な設備・業種に対応します。また、少数多品種生産・製品ライフサイ クル短縮などに伴う工程ラインの頻繁な組替・セル生産化を進める工場にも最適です。低真空90Lタイプ「RPV063-90」・低真空60Lタイプ「RPV062-60」・中真空40Lタイプ「RPV06A-40」がございます。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
オリオン機械/真空ポンプ。業界初のモジュールデザインを採用。省エネ性能が更に進化した高真空・大流量モジュールマルチモデル。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■真空度100kPa連続運転が可能。 高効率ロータを搭載した同軸2段引ポンプにより、真空度100kPaでの連続運転を実現しました。負荷が変動しても設定真空度を高精度に維持します。 ■真空度をフルレンジで設定可能。 0～100kPaの広範囲で使用でき、真空度に節約がありません(タッチパネルの設定値は5から101kPa)。エアーをリークさせることなく1kPa単位で設定が可能です。 ■従来比最大 80% の省エネが可能。 過圧縮防止の排気構造と2段引ポンプにより、開放に近い真空度から到達真空度まで、どこのポイントで使用しても最適な電力で運転。電気代を削減します。 ■低真空から高真空までカバーする省エネポンプ構造。 フルレンジの真空度(開放⇔到達)で最適な電力で運転。過圧縮防止の排気構造。
オリオン機械/真空ポンプ。真空度100kPa対応。制御盤・インバータをワンパッケージ化したモータ出力5.5kW仕様。受注生産品。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■真空度100kPa連続運転が可能。 高効率ロータを搭載した同軸2段引ポンプにより、真空度100kPaでの連続運転を実現しました。負荷が変動しても設定真空度を高精度に維持します。 ■真空度をフルレンジで設定可能。 0～100kPaの広範囲で使用でき、真空度に節約がありません(タッチパネルの設定値は5から101kPa)。エアーをリークさせることなく1kPa単位で設定が可能です。 ■従来比最大 80% の省エネが可能。 過圧縮防止の排気構造と2段引ポンプにより、開放に近い真空度から到達真空度まで、どこのポイントで使用しても最適な電力で運転。電気代を削減します。 ■低真空から高真空までカバーする省エネポンプ構造。 フルレンジの真空度(開放⇔到達)で最適な電力で運転。過圧縮防止の排気構造。
化学、製薬業界の各種プロセス用途をはじめとした多くのアプリケーションに！
COBRA NC シリーズは、効率性の優れたドライスクリューポンプです。 当シリーズは、今までの堅牢な構造はそのまま残し、改良を加えました。 非常に厳しいプロセス条件下でも、 特殊のコーティングを施した一体型の不等ピッチ形状スクリューロ ーターが安全性・信頼性の高い運転を実現し運転コストについても低減しています。 【特長】 ● 高度なスクリュー設計 ● 効率性：省エネ、低メンテナンス、 低運用コスト ● 堅牢性：ベーパーや粒子に対する優れ た耐性、セルフドレン ● 卓越した性能：吸気圧に関わらず優れた排気 速度をキープ ● フレキシブル：空冷方式、各種シーリング、 コーティングを選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
