更新日： 集計期間:2025年08月27日～2025年09月23日
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半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介
スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプ 【特徴】 ○耐久性がありメンテ間隔が長くコスト低減を実現 ○コンパクト設計の為移動に便利 ○省スペースの真空ポンプ ○ポンプ内温度コントロールが可能
一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
負荷変動に自動追従し最大８４％の省エネと従来比４倍メンテサイクル実現した大流量真空ポンプ【※デモ機貸出中！】
オリオン機械大流量真空ポンプ・ブロワ 「インバータベーンレスポンプ」は、業界初インバータ回転制御機能により負荷変動に自動追従し、従来機比最大８４％の電気代削減が可能な省エネ真空ポンプです。第２４回中小企業優秀新技術・新製品賞にて「優良賞」受賞製品です。 【特 長】 ■省エネ ・新開発ロータ採用により少動力で大流量を実現し、従来機比最大１．７倍の高効率化を実現。 ・負荷変動に自動追従し最大８４％の省エネを実現。 ■低騒音 ・特許取得の２重パッケージ構造と新開発ロータで、従来比最大－９ｄＢの低騒音を実現。 ※【デモ機貸出中！】お気軽にお問い合わせください。 ※最新カタログ完成しました！製品ラインナップ・オプション品が追加された充実内容となってます。是非カタログダウンロードにてご確認下さい。
オリオン機械/真空ポンプ。ベーシックモデルをインバータ制御し、更なる省エネを実現させたインバータモデル。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプ。 真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。最大84％の省エネを可能にしました。真空ポンプの省エネ化・長寿命化・静音化に貢献します。 ■インバータ制御により最大84％の省エネが可能。 真空ポンプの負荷状態を自動認識。インバータ制御により同じ真空度でも大幅な省エネを実現。 ■非接触ロータと2重パッケージ構造で更に静音。 環境改善となる低運転音。非接触ロータとの相乗効果で60Hz運転でも65dBを達成しました。 ■インテリジェント液晶パネルで簡単操作。 運転状況の把握や各種設定を液晶パネルで確認・操作できます。 ■スマート設計で設置性向上。 面壁付けが可能、もちろん上方排気設計。背面と側面の2面を壁付けできます。
医療用電気機器規格IEC60601-1対応！ATX電源mPCSAシリーズ
医療用電気機器規格IEC60601-1対応！ATX電源「mPCSAシリーズ」 【特徴】 ○安全規格UL、CSA、IEC60601-1・UL、CSA、IEC60950取得！ ○入力のL（ライブ)ライン・N（ニュートラルライン）の両ラインにヒューズを内蔵、二重強化絶縁を行っている為お客様にて入力ヒューズや絶縁トランスを別途ご用意いただく必要はありません。 ○低漏れ電流仕様 ○耐電圧（1次-2次間）：4kV ○雑音端子電圧クラスB準拠 ○全出力、最小負荷電流0A仕様 ○RoHS指令適合 ○出力ハーネス着脱方式採用 ●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。
部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献
『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■測定安定性の改善 ・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止を低減 ■優れた大気圧検出を実現 （当社比） ・本器搭載のピラニゲージは大気圧付近の安定性・再現性が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
インバータ制御により更なる省エネを実現したブロワポンプ。低圧エアならコンプレッサよりもブロワが断然お得【デモ機貸出中】
インバータモデルKCEはインバータ制御により大幅な省エネを実現するオイルフリーブロワポンプです。 ◆インバータ制御で電気代を大幅にコストダウン！ 圧縮空気利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御します。それにより大幅にランニングコスト（電気代）を削減できます。 【特徴】 ・省エネルギーで低圧の圧縮空気が得られる ・電気代を大幅に削減 ・圧力100kPa（0.1MPa）まで対応 ★詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ---- ※コンプレッサエアー(0.69MPa)を減圧して使用されていませんか？ エアーコンプレッサは空気を約1/8に圧縮するのに大きなエネルギーを消費します。もし末端で0.1MPa(100kPa)以下まで減圧してエアーを使用しているラインがありましたらKCPブロワに置き換えすることをお勧めします。 ※オイルフリーブロワポンプ KCEシリーズはトップランナー規制対応高効率モータを使用しています。
医療用電機規格対応電源 mNSP3-450P-S20-H7V
医療用電気機器規格IEC60601-1対応！ATX電源「mシリーズ」 （※バッテリは別売り） 【特徴】 ○安全規格UL、CSA、IEC60601-1・UL、CSA、IEC60950取得！ ○入力のL（ライブ)ライン・N（ニュートラルライン）の両ラインにヒューズを内蔵、二重強化絶縁を行っている為お客様にて入力ヒューズや絶縁トランスを別途ご用意いただく必要はありません。 ○低漏れ電流仕様 ○耐電圧（1次-2次間）：4kV ○雑音端子電圧クラスB準拠 ○全出力、最小負荷電流0A仕様 ○停電バックアップが可能（mNSP3-450Pシリーズのみ） ○RoHS指令適合 ○出力ハーネス着脱方式採用 ●その他の機能や詳細については、カタログをダウンロードしてください。
広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑えました。【アルバック／ULVAC】
ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』（特許申請中）を開発、製品化しました。 従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。 【ラインナップ】 ○SH2-1 標準仕様 ○SH2-2 シリアル通信仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
お手持ちのドライポンプの消費電力を大幅に低減するアタッチメントです。※使用の可否はお問い合わせ下さい。【アルバック／ULVAC】
■ドライポンプの消費電力を大幅に削減可能です。 特に多段ルーツ型ポンプで効果があります。 その他形式のポンプに関してはお問い合わせ下さい。 ■全圧力領域において排気速度の低下がありません。 ■設置が簡単です
多種多様の用途に使用可能な精密位置決めテーブルやリニアモータ駆動をご紹介！
当資料では、日本トムソン株式会社のメカトロシリーズを多数掲載しています。 高剛性・高負荷容量の「テーブルTX」や超低断面の「ナノリニアNT…V」などを ラインアップ。 様々な設計・製作ノウハウを活かし、設計、試作、評価、製作、立ち上げ支援から アフターサービスまでのカスタマイズ対応を行います。 【掲載製品(抜粋)】 ■精密位置決めテーブルTU ■精密位置決めテーブルTE ■マイクロ精密位置決めテーブルTM ■精密位置決めテーブルCTX ■ナノリニアNT…XZ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空排気省エネソリューション！半導体デバイス工場の真空ファシリティへの応用
当資料は、ベックが取り扱う、真空集中排気システム『VIE-system』の ご紹介資料です。 現在の排気システムの問題点をはじめ、真空集中排気システムの紹介や VIE-system導入の効果などを掲載しています。 是非、ダウンロードしてご覧ください。 【掲載内容】 ■ロードロック室 現在の排気システム ■ロードロック室 現在の排気システム（例） ■ロードロック室 真空集中排気システム ■VIE-system 導入の効果 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カップシール方式を採用し小型で長寿命・高空気量・高真空・無給油を実現！
『DP0410T』は、ツインヘッド交流量タイプの真空ポンプ・コンプレッサです。 ブラシレスモータを搭載し、制御運転が可能。機器組込みが容易にできます。 また当社では、真空ポンプ専用「DP0410T-TY」と、コンプレッサ専用の 「DP0410T-Y2」をそれぞれご用意しております。 【特長】 ■制御運転可能（専用基板搭載） ■ブラシレスモータ搭載 ■機器組込容易 ■制御機能 ・流量、圧力の可変が可能 ・過電流、過負荷防止 ・逆接続防止 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
スリムでコンパクト、構成可能なモジュラー設計を採用しました。
小型エジェクター「P3010」ソレノイドバルブ搭載型は、3種類の MINI カートリッジ( Pi、Si、Xi )が選択可能です。 DS 23 3/2 バルブは、40 μ フィルターの圧縮空気に適しています。 【特徴】 ○2.5 W ソレノイドを搭載 ○サイレンサーと真空フィルター付き ○軽量 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
