部品交換のみの容易なメンテナンス！1台2役でシステムのコストダウンや管理負荷低減に貢献
『M-361CP』は、大気圧～中真空を測定するピラニゲージと、 高真空～超高真空を測定するコールドカソードゲージを 組み合わせたコンビネーションゲージです。 1台で広い圧力領域を測定可能で、1台2役でシステムの コストダウンや管理負荷低減に貢献。 また、部品交換のみの容易なメンテナンスです。 【特長】 ■測定安定性の改善 ・新開発の放電アシスト機能によりピラニとコールドカソードの切替不良、未放電による測定停止を低減 ■優れた大気圧検出を実現 （当社比） ・本器搭載のピラニゲージは大気圧付近の安定性・再現性が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様（抜粋）】 ■入力電圧：DC＋15～30V ■消費電力：2.4W ■セットポイント：2接点出力（DC30V 1A） ■入出力コネクタ：D-sub9ピン ■最大ケーブル長：300m（1mm2）対応可能 ■使用温度範囲：5～55℃ ■保存温度範囲：-20～70℃（非動作時） ■センサー型名：CP2 ■外形寸法（mm）：50×50×110（継ぎ手NW25仕様） ■フランジ形状：NW25、NW40、φ70ICF ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■蒸着、スパッタリング、イオン注入、MBE ■SEM、SIMS、AES、XPS、表面/ガス/質量分析 ■アニール、溶解、はんだ、リフロー、硬化、電子ビーム溶接 ■加速器、サイクロトロン ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。
