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クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

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最終更新日:2023年01月23日

キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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高精度、低真空領域において優れた再現性!大気圧から超高真空まで広い圧力領域をこの1台で測定

『M-336MX』は、低真空領域の測定には優れた再現性と応答性をもつ クリスタルゲージを、高真空領域には長年の実績を誇るミニチュア B-Aゲージを採用したコンビネーションゲージです。 大気圧から超高真空まで、広い圧力領域をこの1台で測定が可能。 真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の 圧力測定などにお使いいただけます。 【特長】 ■クリスタルゲージとミニチュアB-Aゲージを組み合わせた  コンビネーションゲージ ■超高真空から大気圧 ■高精度、低真空領域において優れた再現性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    真空機器
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クリスタルイオンゲージ『M-336MX』

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基本情報

【仕様(抜粋)】 ■入力電圧:DC+20~28V ■消費電力:12W ■セットポイント:2接点出力 ■入出力コネクタ:D-sub9ピン ■最大ケーブル長:300m(1mm2) ■使用温度範囲:5~50℃ ■保存温度範囲:-20~70℃(非動作時) ■センサー型名:MX-1 ■外形寸法(mm):149×70×50(NW25) ■フランジ形状:NW16、NW25、NW40、φ70ICF ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

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用途/実績例

【用途】 ■真空装置の粗引き・到達圧力測定、半導体・電子部品製造装置の圧力測定など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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キヤノンアネルバ株式会社

キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

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キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。

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