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液体や粉じんのキャリーオーバーにも耐性を持つパワフルなドライ真空ポンプ。効率性に優れ、安定性と耐腐食性を必要とする業界用途に好適
【製品説明】 中真空および粗引きに適した堅牢で高い信頼性の真空ソリューション。多様な仕様を展開し、更に要件に合わせた調整が可能です。 【特長】 ■ 堅牢：プロセスガス経路を最適化。液体や粉体のキャリーオーバーが可能 ■ 耐食：シリンダーの温度分布を均一に保つ設計で耐食性が向上 ■ 高効率：特許取得の「セルフバランシングスクリュー」で高効率化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
押出成形機の真空ポンプにお困りではありませんか？『水封式真空ポンプ』や『ドライ真空ポンプ』などの課題と解決策をご紹介！
製品の品質を左右する押出成形機の重要な機器である真空系で お困りではありませんか？ 当資料では、“水封式真空ポンプ”や“ドライ真空ポンプ”などの 課題と解決策について掲載。 当社は、オイル式、水封式、ドライ式（スクリュー、クロー、ルーツ）と 様々な原理の真空ポンプを取り扱っており、お客様のプロセスに 適した製品をご提案可能です。 課題解決に、ぜひご活用ください。 【掲載内容】 ■既設設備の課題 ■水封式真空ポンプ：課題と解決策 ■ドライ真空ポンプ：課題と解決策 ■その他の課題と解決策 ■日本ブッシュの実績 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Pfeiffer社のハーシュプロセス向け最新ドライポンプ
世界の半導体製造現場で実績を積むPfeiffer社(*1)製品から、最新のハーシュプロセス向けドライ真空ポンプ 【特徴】 ○持続可能、堅牢 ○多用途 ○省エネルギー ◯高吸気流量に対応 ○効率的なドライルーツ式 ＊1：PfeifferはBUSCH GROUPの1社です。BUSCH GROUPはBusch Vacuum Solutions、Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions、centrotherm clean solutionsの3社から成るグローバル企業です。
世界で300万台が稼働中の真空ポンプ「R5」ファミリーに新機種が加わりました。省エネ、サービスのしやすさが特長です！
幅広い真空用途に対応したオールラウンダー。 【高効率】 同等のロータリーベーン真空ポンプと比較し最大25％の省エネ、低い運用コスト、優れたアップタイム、放熱の低減 【高性能】 低真空域での高い排気速度、粗びき領域での連続運転を想定した設計、設置面積あたりクラス最高の性能 【高いサービス性】 スペアパーツを40%削減、サービスを要するコンポーネントをすべて片側に配置し作業性を向上、サービスルーチンの迅速化、手入れしやすい滑らかな表面デザイン ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
蒸気滅菌オートクレーブに最適な真空ポンプです。
・蒸気滅菌オートクレーブに最適な真空ポンプ ・真空乾燥に適した真空度 ・ウエットガス、蒸気、凝縮したガスの移送に特化した設計 ・コストパフォーマンスに優れた新設計を採用 ・マルチ電圧ACモータ 基本流量: 36 l/min ±10%(50Hz) / 39 l/min ±10%(60Hz) 到達真空度: 35 mbar abs 許容最大吐出圧: 0.5 bar
ウエットガス、蒸気や凝縮性ガスに対して優れたポンプ特性を持つ真空ポンプ 医療用機器などの廃液・排液工程に最適
N936タイプのダブルヘッドタイプ(並列接続)となります。 ・ウエットガス、蒸気や凝縮性ガスに対して優れたポンプ特性 ・コストパフォーマンスに優れた新設計を採用 ・マルチ電圧ACモータ 基本流量: 60 l/min ±10%(50Hz) / 66 l/min ±10%(60Hz) 到達真空度: 200 mbar abs 許容最大吐出圧: 0.5 bar
コンパクトかつお手頃価格のオイルフリー式ダイヤフラム真空ポンプです。 手動で排気速度を任意に調整可能な機能を備えております。
LABOPORT N96.18
耐食性を備え、高い耐久性、水蒸気や結露に強い真空ポンプ
・ウエットなガス、凝縮ガスの移送にご使用いただけます。 ・減圧状態または陽圧状態からの再起動が可能(ブラシレスDCモータ) ・ブラシレスDCモータはPWM制御にて流量調整が可能。 基本流量: 4.2 - 5 l/min ～ 到達真空度: < 30 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa)
優れた吸引速度により、測定チャンバーを高速で排気、高真空での高流量 ターボ分子ポンプへの移送領域で安定した真空
基本流量: 4.2 - 4.8 l/min ～ 到達真空度: 4.2 - 5.0 mbar abs ～ 許容最大吐出圧: 0.1 - 0.3 bar (0.01 - 0.03 MPa)
過酷な運転条件でも耐久性、多用途の真空アプリケーションにご使用いただけます。
・プロセスポンプ ・耐食仕様 基本流量: 33 l/min ～ 39 l/min (ダイアフラム材質により異なります) 到達真空度: < 100 mbar abs ～ ポンプヘッド材質: アルミニウム / ステンレススチール ダイアフラム材質: CR / FPM (FKM) / PTFE-coated 日本電圧 AC単相 100V 50/60Hz ご用意できます。
過酷な運転条件でも耐久性、多用途の真空アプリケーションにご使用いただけます。
・プロセスポンプ ・耐食仕様 基本流量: 18 l/min ～ 22 l/min (ダイアフラム材質により異なります) 到達真空度: < 20 mbar abs ～ ポンプヘッド材質: アルミニウム / ステンレススチール ダイアフラム材質: CR / FPM (FKM) / PTFE-coated 日本電圧 AC単相 100V 50/60Hz ご用意できます。
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・長寿命 ・コンパクトサイズで高い空圧性能 ・静粛かつ低振動運転 ・パラメータ設定可能なポンプ構成 ・ブースト機能 ・拡張された流量調整範囲 ・アナログおよびデジタル速度制御 ・強化された安全機能 ・新警告・故障管理システム 代表的な適用アプリケーション ・燃料電池 – 水素の再循環 ・計測技術 – 環境分析用移送ポンプ ・機器分析（試料前処理を含む） ・診断技術 – 試料残渣の抽出 ・真空技術 – ピックアンドプレイス応用 ・医療技術 – 外科用吸引装置、診断、組織学、心臓病学での使用 ・レーザー技術 – レーザーチャンバーの排気
コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現
主な特長 ・閉ループ真空制御 ・設定可能なポンプインターフェースと性能 ・汚染のない流量 ・カスタマイズ対応可能 ・メンテナンスフリー ・設置位置を問わず動作可能 ・長寿命 ・高い空気圧性能 ・コンパクトサイズ／高出力密度 ・高い耐結露性 代表的な適用アプリケーション ・医療 ・分析機器 ・ガスサンプリング ・インクジェットプリンター ・脱気 ・安全/セキュリティ
真空度調整がポンプ側で可能！付属の真空計を確認しながら調節可能な真空ポンプ
『ロータリー式真空ポンプＭＳＶ－２００－３ＧＶ』は真空計・真空調製バルブ付きモデルの真空ポンプです。 本製品は常用真空度に設定しており、常用真空度以下で調節可能です。加えてロータリー方式の為、脈動の少ない空気として真空用、ブロワー用としてご利用いただけます。 また無給油式ドライタイプの為、給油の必要がなくメンテナンスフリーでご使用いただけます。 【特長】 ■真空計と真空調節バルブを標準装備 ■真空度調節がポンプで可能 ■モーター直結のタイプでスペースを取らずメンテナンスが容易 ■給油の必要性なし ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
経済的なポンプ！幅広く使用されています！
当製品は、メカニカルブースタポンプと合わせて使用するオイル密封式・ 回転式の真空ポンプです。 油で密封されたロータリー・ポンプは、圧力が気圧から0.13～1.3×10-2Paまで 変化するガスを圧縮し、次に、空気中にそれらを放出させます。 ダイレクトに、オイルによって密封されたロタリーバキュームポンプは コンパクト性と無塵性の両方を提供します。 【特長】 ■メカニカルブースタポンプと合わせて使用可能 ■ガスを圧縮 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
豊富な実績に裏打ちされた直結ポンプのスタンダード
排気速度50～1300（60～1500）L/minまで7機種のラインナップがあり、お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。（60Hz）
耐久性の高いキニー型真空ポンプ
このKS シリーズは、キニー式の揺動ピストン型油回転真空ポンプで、ベルト駆動方式です。特に大型の真空ポンプに適した方式であり、当社では700 〜15000L/min まで9 機種をシリーズ化しております。同時にその堅牢な構造により、高耐久ポンプとの定評を得ており、耐久力を要求される各種真空炉などのメインポンプとして、数多く採用されております。
抜群の耐食性と扱いやすさ
真空室内にテフロン系部品を採用しており、有機溶媒系ガや腐食性ガスの吸引などに、抜群の耐食性を発揮します。
ドライ真空ポンプの問題点を解決！ 大容量ジャケットタイプルーツ式真空ポンプ。廃液処理費がかからない！
【特徴】 ○ポンプ内部における固形化及び重合化対応 ○ジャケット部のスケール付着対応 ○封液を使用しないため、廃液処理費がかからない ○ISO14001・PRTR等の環境対策に最適 ○直接冷却方式で各段クーラーが不要でコンパクト ○ケーシング内の洗浄にも対応 ○CO・PSA、溶剤回収に最適
業界のニーズの多様化に対応しつづける信頼のＶＰ型真空ポンプ
ＶＰ型真空ポンプは､他社に類の無い冷却技術を採用した多段ルーツ式ドライ･真空ポンプです。 ルーツ式で締切り運転を実現し、高真空ポンプを可能としたＹＫＳの直接口－ター冷却方式は、独自の技術を基に研究開発された新技術の冷却方式です。 ルーツ式真空ポンプはローターとローター及びケーシングがわずかなクリアランスを保ち無接触で回転しています。その為に最大の特徴である”ドライ･オイルフリー型”となっています。 しかし、無接触で回転するためのわずかなクリアランスが、ガスの圧縮熱によって、ローター等が圧縮熱を除去しない限り、熱膨張によって減少、ついには接触することになります。 弊社の開発した直接口－ター冷却方式はローター内部を冷却液で直接冷却する構造を採用している為、常に一定のクリアランスと安定した真空度を保つと同時に数々の優れた特徴を提供しています。 従来の冷却方式では熱膨張率の大きいステンレス製の真空ポンプの製作は、この熱膨張の大きさの為､製作が不可能でした。 当社では直接冷却方式の優れた特徴を生かし、このステンレス製の真空ポンプの開発に成功しました。腐食性ガスの吸引用として優れた性能を提供しています。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
当社ルーツ式真空ポンプは、独自の冷却技術を用いた多段ルーツ式真空ポンプです。
排気には封液式真空ポンプのように封水・封油を含まずクリーンな真空が得られます。ルーツ式で大気圧から入口締切りまでの全域で運転を実現し、使い易さを追求致しました。
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工でハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に最適
ルーツ式ドライ真空ポンプ ＶＰシリーズは、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは150μｍ以上で、ハロゲン系ガスや強酸性ガスに対する耐久性があります。試薬、農業、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【VP4シリーズ ラインナップ】 ■VP4-501 ■VP4-651 ■VP4-801 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
あらゆるプロセスに対応する高耐久ドライ真空ポンプ！プロセス性能に特化
『SDEシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用し、構造材料や温度設定による 高い耐食性を発揮します。 独自のスクリュー形状で省エネを実現(X) 【ハーシュプロセス対応例】 ■Metal-Etch ■SA-CVD ■Metal-CVD ■PE-CVD ■LP-CVD ■ALD
ウエハー・FPDの大口径化に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮
TW-05Aは電磁弁なし、TW-05ASは電磁弁（逆流防止）付きです。
真空ポンプ「TW-05A・TW-05AS」は、TW-05Aは電磁弁なし、TW-05ASは電磁弁（逆流防止）付きです。真空ポンプの吸気口径は7/16-20UNF(1/4)です。ホース取付ネジサイズはM10×1.5（アタッチメント付）でR12R134の両方に使用することができます。圧縮方式はロータリーベーンになります。重量は6.9kgです。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
真空ポンプ TEZ8
●オイルカートリッジ式でオイル交換が5秒！ カートリッジ式で手が汚れない。また、オイルの汚れ具合が一目でわかる透明のオイルボトル採用。 ●オイル進入・逆流を防止するモニターチューブ ストレーナ内蔵モニターチューブにより、真空ポンプオイルの逆流及び進入を防ぐとともに、真空ポンプ内に圧力が加わった時のオイル噴出も防止。 ●ストレーナ内蔵モニターチューブ ゴミの進入を監視できる透明のモニターチューブに、スラッジなどのゴミの進入を防止するストレーナを内蔵。 ●小型・軽量 質量13.5kg。ゴム製の脚で、振動による本体の動きを防止。 ●高速ターボファン 高速ターボファンの採用で冷却効率がよく、高温の場所でも威力を発揮。
