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接ガス部フッ素樹脂ライニング施工！ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に好適
『ルーツ式ドライ真空ポンプ』は、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを 施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは300μm以上で、ハロゲン系ガスや強酸性 ガスに対する耐久性があります。 精密仕上げ加工により、厚膜ライニングと極小クリアランスを実現。 半導体、製薬、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【特長】 ■接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ■フッ素樹脂ライニング300μm以上 ■ハロゲン系ガス、強酸性ガスの吸入に好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
あらゆるガスの排気に対応する神港精機の水封式真空ポンプ
豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。 他方式ではトラブルの基となる様々なガスを 封水でシールすることにより安定して排気します。 ◆水封式真空ポンプは、 水でシールすることで 凝縮性ガスや引火性ガスの 排気も可能にします。 ◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、 多少の粉塵では止まりません。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、 ステンレス等の耐食性に優れる材質の選定も可能です。 ◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます（水温15℃時）。 また空気エゼクタとの組み合わせで800～1,300Paまで向上させることが可能です。 ◆軸封部はグランドパッキンが標準仕様ですが、 メカニカルシールも選択できます。 ◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。 ◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、 封水を直接流出させずに循環させる 「封液循環型」水封式真空ポンプも ラインナップしています。
有害物の流出を防ぐ封液循環型の水封式真空ポンプ
有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、 封液を直接流出させずに循環させる 「封液循環型」の水封式真空ポンプです。 排水処理でお困りの場合に適しています。 ◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、 熱交換器で構成されており、 コンパクトにユニット化しました。 ◆腐食性ガスが混入する用途では、 ステンレス（SUS316相当）等の 耐食性に優れる材質への選定も可能です。 ◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。 ◆管板部が分解可能で清掃ができる 熱交換器を標準装備しています。
流量多段形真空ノズル選択可！供給側、真空側の継手の脱着が容易なコンバム！
『SC3コンバム』は、真空機器をはじめ、空気圧機器や電子機器の 製造販売を行っている妙徳のコンバムです。 流量多段形真空ノズルの選択ができます。 破壊エアを無駄なく真空破壊に使用出来る封止弁を搭載し、自己保持機能 付き電磁弁の搭載も可能です。 さらに、供給側、真空側の継手の脱着が容易です。 【特長】 ■流量多段形真空ノズル選択可 ■フィルタ、センサの有無による組合せ自由に設定 ■破壊エアを無駄なく真空破壊に使用出来る封止弁を搭載 ■自己保持機能付き電磁弁搭載可能 ■省エネ機能付きセンサとの組合せで大幅に空気消費量の削減が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非接触搬送機器や真空機器の豊富なラインナップを掲載中！
『CONVUM』は、当社が取り扱う非接触搬送機器や 真空機器を掲載した総合カタログのダイジェスト版です。 高浮上・搬送・高精度の３タイプを用意した「LTUシリーズ」をはじめ 省エネ省スペースの「SC1コンバム」や、真空ポンプラインの 吸着搬送システムに適した「MPV3シリーズ」など、多数掲載しております。 【掲載内容】 ■コンフロート ■コンパッド ■コンバム（真空ジェクタシステム） ■真空ポンプシステム ■真空パッド ■圧力・真空センサ ■真空システム関連機器 ■空気圧周辺機器 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※こちらのPDF資料はダイジェスト版です。全編必要な方はお問合せください。
低圧力で高い真空度を実現！コンパクトな構造の省エネスマートエジェクタ
『SC1 コンバム』は、本体幅10mmとコンパクトな構造の 省エネスマートエジェクタです。 定格圧力0.18MPaで到達真空圧力は-83kPaと、 低圧力で高い真空度を実現します。 吸着確認及び電磁弁制御機能がついたセンサが搭載されているほか、 停電時のワーク落下防止機能や、クリーンルーム等の環境で 使用できる集中排気機能なども備えています。 【特長】 ■省エネ ■省スペース ■低圧力で高い真空度 ■真空フィルター内蔵 ■センサ搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シンプル構造で長寿命を実現！小流量から大流量まで幅広いラインアップ
『CVコンバム』は、可動部のないシンプル構造で長寿命を実現した真空エジェクタ。 豊富なノズル径で小流量から大流量までシリーズ化しています。 また、オールステンレス素材の「耐薬品･耐ガス用CVコンバム」を オーダーメイドにて提供しています。 【特長】 ■長寿命 ■機種豊富 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮！
【主な特徴】 ◆ 環境に優しい完全オイルフリー ◆ 排気速度 ２５０ｍ３／ｈ（ＳＰ２５０）、６３０ｍ３／ｈ（ＳＰ６３０） ◆ 新設計スクリューローターにより、優れた排気性能を発揮（最高到達真空度：１Ｐａ以下) ◆ 新設計フラッシングキット搭載（オプション）により内部洗浄時間とコストを飛躍的に削減 ◆ 完全空冷（オプションにて水冷も可能） ◆ 独自のべアリング構造により、メンテナンス時ベアリングの脱着が不要。通常メンテナンス時間を大幅に短縮 ◆ 省エネ設計 ◆ パージガス機能を搭載。バインダー等、パーティクル吸い込みからシール部を完全保護 ◆ 独自のモニタリング機能 ＳＰガードを搭載。運転状況（振動、内部温度、背圧、等）を液晶モニターにて常時表示
一段式の油回転式真空ポンプ。 低い騒音レベルとスムーズな操作性。幅広いラインナップから適したポンプを選択することが可能。
一般産業だけでなく研究開発分野においても適した油回転式真空ポンプ。 低～中真空の排気に適し、ルーツ真空ポンプやターボ分子ポンプなどと 組み合わせることにより高真空を得ることもできます。 排気速度10～750m3 x h-1の幅広いラインナップからお客様のニーズに適したポンプを選択できます。 【主な特徴】 - 低圧でも高い排気速度 - 低い騒音レベルとスムーズな操作 - 内蔵の効率的な排気フィルターによるオイルミストの少ない排気ガス - 冷却効率の高い空冷式（標準）・オプションで水冷式も選択可能 - 省スペース、簡単な設置 - 堅牢かつ容易なメンテナンス性 - SOGEVC SV 100B以上のサイズはルーツポンプに直接接続が可能 - 高い水蒸気許容量 - 豊富なアクセサリー ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
低真空の新しいベンチマーク
パーティクルや蒸気を含んだガスの処理に適した堅牢なポンプ。 ステンレス製のクローとコーティングされた真空チャンバーの耐腐食性に優れた設計。 メンテナンス頻度が少なく、またハウジングとクローは現場で簡単に取り外して洗浄が可能です。
業界初・唯一の100%オイルフリーのドライポ真空ポンプ。低消費電力が特長。環境に配慮し、お客様SDGsの目標達成に貢献します。
100%オイルフリーのためオイルやフィルターの交換が不要。また摩耗部品も少ないため、廃棄物を大幅に削減できます。低消費電力が特長で二酸化炭素の排出量の削減に貢献します。メンテナンスが最小限で済み、設備の稼働時間が向上します。 冷却水の供給が不要な空冷式で、水の使用が制限される現場での使用にも最適です。 ランニングコストの削減と、環境への配慮を実現します。
ドライ真空ポンプ・スマートな排気の新しいアイデア
お客様の生産性を向上する革新的なドライ真空ポンプ。オイル交換が不要なためオイルやオイルフィルターなどの廃棄物の量を削減でき、またワールドクラスのエネルギー効率で低消費電力を実現。カーボンフットプリントを最小限に抑えることができます。 ハーメチックシールモーターを採用、タフな条件でも最先端の性能と効率を提供します。また、インテリジェントな特徴と機能が搭載されており、シームレスな接続、ネットワーク制御と優れた効率を提供します。
低騒音、低排出、低メンテナンスの3拍子が揃った新製品。内蔵の排気フィルターによりオイルミストの排出とオイルロスを防止します。
『SOGEVAC NEO D』は、どのような吸気口圧力でも連続的に稼働し、 より少ない騒音と排出でよりよい職場環境を作り出します。 内蔵の排気フィルターがオイルミストの排出とオイルロスを防止、 クリーンなアプリケーションでは最長3年間メンテナンスフリーの運転が可能です。 【特長】 ■静かで使いやすい ■排気中のオイルスモークやオイルの損失がなく、クリーンな環境を確保 ■長い稼働：最長3年間メンテナンスフリー ■排気フィルタを内蔵、外付けのフィルターは不要 ■非常にコンパクト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※デモ機あり
食品業界固有の課題解決に貢献する、業界初・唯一の100%オイルフリーの真空ポンプ。食品の安全性と環境への配慮の両立を実現。
製造や包装など、食品業界のお客様のSDGsの目標達成に貢献するドライ真空ポンプ。革新的なベルト駆動式で、オイルが食品に混入するリスクをゼロにします。 ■ 水封式ポンプとに比べ、消費電力を削減。水の管理も不要 ■ 油回転式ポンプに比べ、オイルの交換が不要なため廃棄物を削減でき、製造ラインの稼働時間も延長 食品業界の様々な用途に適したドライスクリュー真空ポンプです。
最高のポンプ性能を引き出すために特殊配合された真空ポンプ用オイル。お客様の生産性を向上します。
各オイルには真空対応の添加剤が配合されており、ポンプを保護しポンプ寿命を延長します。 オイル交換間隔を延長、全体的な電力消費量やメンテナンスコストを削減します。 REACH、DSL、NDSL、GHSなど多くの法規制に準拠しています。 1リットルからドラム缶（200～208リットル）のサイズがあります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
Intelligent. Smart. Economical.
高性能のコンポーネントを組み合わせたクライオシステム。 容易に組み合わせることでさまざまなアプリケーションの要件を満たすことができます。 冷却システムは以下の製品で構成 COOLPAK i：コンプレッサーユニット COOLPOWER i：極低温冷凍機 クライオポンプシステムは以下の製品で構成 COOLPAK i：コンプレッサーユニット COOLVAC i：クライオポンプ ライボルトのシステムは一般的に、それぞれすべての規格および規制（RoHS、EU準拠、安全性）、 特にIEC/EN 61010およびUL 61010に準拠、認定されています。 さまざまな業界の幅広いアプリケーションで使用できます。 ■ 低温冷却システム ■ 研究開発 ■ ニューテクノロジー ■ 産業用コーティングおよび加工
定額コストでメンテナンス期間中の停止時間を最小限に抑える、サステナブルで包括的なメンテナンスソリューション
予防保全のためのライボルトのエクスチェンジサービス。予防メンテナンスを容易に実施でき、費用は固定費用のみです。
コスト削減にオーバーホールをご検討ください！荏原、Edwardsなど各メーカーのドライ／ロータリーポンプに対応します！
ポンプ本体の分解や洗浄はもちろん、不具合箇所の修理やパーツの交換、組み立て試験まで、長年のノウハウを持つ技術者が丁寧にメンテナンスを行います。 標準交換部品はベアリング、Oリング、オイルなどメーカーの標準交換部品に準拠した部品を全数交換。 特別交換部品や追加作業が発生した場合はお客様へご連絡し、ご了解いただいた上での作業再開となりますので、ご安心ください。 ■納期 標準納期は1ヶ月（弊社着後、出荷まで）を基準としております。 なお、特別交換部品等の入荷に時間を要する場合は逐次ご連絡致します。 お急ぎの場合は1～2週間での対応も承りますので、お気軽にご相談ください。 ■主な試験、検査項目 1．共通項目（報告書記載） 到達圧力、電流値、リークチェック合否 2．共通項目（社内管理記録） 排気閉塞加速試験 3．特殊項目（報告書記載） 45～60Hz能力（エドDP）、排気能力（エドMBP） 4．その他（社内保管記録） 各センサ動作、振動、流量、連続運転など
カーエアコン、家庭用エアコンの真空引きに好適！オイル逆流防止用電磁弁付
『R32対応 ツーステージ真空ポンプ』は、R32、R1234yfなどの 微燃性ガスに対応した製品です。 カーエアコン、家庭用エアコンの真空引きに好適。 付属アダプターで、R12、R22、R134a、R410A、R32などに対応。 オイル逆流防止用電磁弁付です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【スペック(一部)】 ■ローター方式：ツーステージ ■ドライブ方式：ダイレクト ■排気速度：51 L/min(50Hz)57 L/min(60Hz) ■到達真空度：15Microns ■使用電源：AC100V 50/60Hz ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
付属アダプターで、R12、R22、R134a、R410A などに対応！真空引きに好適
当社で取り扱う、『タカトテクニカ真空ポンプ』をご紹介します。 付属アダプターで、R12、R22、R134a、R410A などに対応。 カーエアコン、家庭用エアコンの真空引きに好適で、 「TVP-215」はオイル逆流防止用電磁弁付です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【TVP-115 スペック(抜粋)】 ■ローター方式：シングルステージ ■ドライブ方式：ダイレクト ■排気速度：42L/min(50Hz)50 L/min(60Hz) ■到達真空度：150Microns ■使用電源：AC100V 50/60Hz ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
微拡散接合装置
【仕様】 加圧方式：分銅+テコによる加重方式 過熱寸法：40パイx40H 過熱方式：高周波、プログラム式温度調節 最高過熱温度：1400℃ 真空度：x10-5PA 高周波電源：20KW
長年の経験に基づく、高度な真空技術を凝縮。
信頼性・耐久性・安全性に優れたＧＨＰシリーズは、幅広い分野で最大の威力を発揮します。 【特徴】 ○低騒音・低振動 ○オイル逆流防止機構付 ○ガスバラストバルブ付 ○小型軽量 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。
溶接では難しい、異なる金属材料同士の接合や、複雑形状・微小材料の接合も実現
『拡散接合装置』は、当社独自の真空技術によって金属材料を 原子レベルで接合し、異なる材料同士の接合も可能になる製品です。 溶接で問題となる材料の変形が少なく、何層にも積層ができるので、 高精度な加工や微小な材料の接合も可能です。 【特長】 ■プログラムによる細かな温度管理が可能 ■材料を溶かさずに接合が可能 ■リースでのお取扱いにも対応 ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
金属・合金を原料に！アーク放電法H2-Ar中生成方式のナノ粒子製造装置をご紹介
『UFP-AT-300SS型』は、希望する金属のナノ粒子を自社で簡単に作製できる 廉価版ナノ粒子製造装置です。 少量多種のナノ粒子作製に好適で、特にAg、Sn、Bi、Cu、Znは簡単に作製可能。 直流ア－ク電源は300A、循環ポンプは100L／minとなっております。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■希望する金属のナノ粒子を自社で簡単に作製可能 ■少量多種のナノ粒子作製に好適 ■特にAg、Sn、Bi、Cu、Znは簡単に作製可能 ■アーク放電法H2-Ar中生成方式 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
さまざまな金属などを拡散接合！微拡散接合装置や高周波加熱式拡散接合炉をご紹介
アトーテックで取り扱う真空拡散接合装置をご紹介いたします。 金属などを原子レベルで接合させる「微拡散接合装置」は、当社の真空技術を 使用して設計・製造。同じ材料同士の接合や異なる材料の接合が可能です。 また、「高周波加熱式拡散接合炉」は、短時間で効率良く拡散接合を 行うことができ、φ30までの各種金属類の拡散接合にご使用いただけます。 【微拡散接合装置 仕様】 ■加圧方式：分銅＋テコによる加重方式 ■過熱寸法：40φ×40H ■過熱方式：高周波、プログラム式温度調節 ■最高過熱温度：1400℃ ■真空度：×10-5PA ■高周波電源：20KW ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ＤＣブラシレスモータ採用により高効率な省エネブロワのご紹介です。
圧力制御式ブロワ AB37C型はＤＣブラシレスモータ採用により高効率な圧力制御式ブロワです。操作が簡単なタッチパネル方式、軽量小型タイプです。また、圧力一定制御機能付のため、間欠エアブローに最適です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
ケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプ総合カタログを無料プレゼント中！
油回転ポンプ・水封式ポンプの様にケーシング内部に油・水を使わない、ドライ多段ルーツ式真空ポンプです。 ユニークなドライ真空ポンプとして業界注目の的です。 ※詳しくはカタログをダウンロード頂くかカタログをご希望のお客様は「カタログ希望」と記載の上、お問い合わせください。
省エネ・低騒音！大気圧～到達圧力まで全圧力域で運転可能です
『プレミアム パッケージポンプ』は、省エネ、低騒音で IoT対応システムを搭載した新型真空ポンプです。 大気圧～到達圧力まで全圧力域で運転可能です。 タッチパネルに「運転稼動管理」や「圧力・負荷率グラフ」など 様々な情報を表示し、簡単操作で運転条件を変更できます。 【特長】 ■吸着輸送・真空成型・工場集中真空源 ■省エネ・低騒音 ■IoT対応システム ■簡単タッチパネル操作 ■複数台は台数制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
水封式真空ポンプからドライ真空ポンプへの切替のご提案
『オートドレントラップ AADT』は、気体と液体(ドレン)を 同時吸引しても、真空ポンプへの液体を防止できる ドライ真空ポンプです。 水などの液体を99％除去し、真空ポンプ運転中も真空度を 損なうことなくドレンを排出できるため、 長時間連続運転が可能です。 【特長】 ■水封式ポンプに比べ、電気・水道代が、約3割安くなる ■連続運転しながらドレン排出が可能(真空度：-50～-90kPa) ■ドレン排出量 ・50Hz地区：20L/min ・60Hz地区：25L/min ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
液封式真空ポンプは、水またはプロセス流体を封液とする、大気圧まで圧縮できる真空ポンプです。
封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、 封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。 【特徴】 ○水をはじめ様々な封液を選択でき、用途に応じた最適な封液を選択する事により、 水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応 ○封液をクローズド（閉サイクル）システムで循環することにより、 発生する廃液を最小に抑えることも可能 ○他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応 ・ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現（PRLシリーズ） ・アトモスタ（空気エジェクタ）と組合せることにより、到達圧力を有利にし、 キャビテーション防止することができる（1段アトモスタ：WAシリーズ、2段アトモスタWBシリーズ） ●詳細については、お問い合わせ下さい。
