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測定圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。【アルバック／ULVAC】
本ディスプレイは、G-TRAN 全シリーズ、およびCCM シリーズ対応の1 チャンネルディスプレイです。 測定ユニットと接続することにより、圧力表示や圧力接点の設定、各種操作が手軽に行え、動作状況も一目でわかります。 ディスプレイユニットを介して、リモート操作による制御、測定が可能です。 【特徴】 ○0-10Vのリニア出力 ○セットポイント出力（3点） ○入力電圧をDC24V ○表示部は見やすいLED ○CE標準対応 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
最大４台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。【アルバック／ULVAC】
４チャンネルディスプレイユニットは、最大４台まで測定ユニットを接続、同時計測・表示が可能です。 ８点のセットポイント出力、I/O・通信制御機能を標準装備します。 大気圧ピラニゲージまたはピラニゲージとイオンゲージの連動機能により、簡単に広範囲の圧力計測が可能です。 【特徴】 ○□96mmDINサイズを採用 ○入力電圧をDC24V、AC100Vから選択 ○最大4台の計測ユニットの接続が可能 ○各センサ(CH1〜4)の同時計測・出力が可能 ○IG(CH1)と、PG(CH2)の連動測定が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェア【アルバック／ULVAC】
“Qulee QCS”は、アルバックの残留ガス分析計／プロセスガスモニタに対応したソフトウェアです。 当ソフトウェアは、ULVAC 製のほとんどのガス分析計に対応しており、簡単なクリック操作で、誰でも測定・データ保存ができます。 【特徴】 ○Quleeの標準ソフトウエア →Qulee全シリーズに標準採用（Windows XP/7対応） ○簡単操作 →充実したショートカットボタンによる簡単操作 ○測定モードの充実 →スキャンモード、トレンドモード、アナログモード、感度校正モードなど ○リークテスト機能の充実 →ヘリウムリークテストモードにより簡単にリークチェックが可能 ○ガス組成名表示が可能 →スキャンモードにてガス組成名表示が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑えました。【アルバック／ULVAC】
ULVAC は、異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』（特許申請中）を開発、製品化しました。 従来方式の複数の原理を一つの匡体に組み合わせた複合的な真空計では、「1つの測定子の故障で測定子の全交換が必要」「測定子が複雑で故障しやすい」「測定子が高価」などのお客様の声をよく耳にします。この新方式であれば、広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環境負荷の対応となります。 【ラインナップ】 ○SH2-1 標準仕様 ○SH2-2 シリアル通信仕様 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
CVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。【アルバック／ULVAC】
LR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、ドライエッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。ライトプロセスではECO-SHOCK とのコンビネーションで最大約70%の消費電力カットが可能です。また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE 対応可能（オプション）です。 【ラインナップ】 ○LR/HR60 ○LR/HR90 ○LR180 ○LR421 ○LR421-T ほか 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。【アルバック／ULVAC】
VS650A/VS750A は、1段式ベーン型（回転翼型）の油回転真空ポンプです。大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。また、冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びください。 【ラインナップ】 ○VS650A-A ○VS650A-W ○VS750A-A ○VS750A-W 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。【アルバック／ULVAC】
PKS シリーズは、非常に堅牢で排気特性の安定した大型の油回転真空ポンプです。 金属・自動車産業をはじめ、化学・医薬・食品産業などの幅広い用途で使用いただけます。 分解、組立が極めて簡単。排気弁の点検も容易にできます。 【ラインナップ】 ○PKS-016 ○PKS-030 ○PKS-070 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
単層膜から多層膜まで、幅広い蒸着制御にご使用いただけます。【アルバック／ULVAC】
CRTM-6000Gは成膜コントローラとして求められる基本性能を充実させながら、コストパフォーマンスにも優れた水晶発振式成膜コントローラです。 ハーフラックサイズのコンパクトなボディーながら、低レート制御や99層までの多層膜連続蒸着制御も可能です。 【仕様】 ○外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量 約3.6kg ○ユーティリティー AC85 ～ 230V 50/60Hz ○消費電力 30W Max ○使用環境 温度：5 ～ 40℃ 湿度：5 ～ 95％ RH（結露なきこと） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
UFC フランジを使用した超高真空対応の各種導入機です。【アルバック／ULVAC】
UFC フランジ（ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空対応のベーカブルフランジ）を使用した超高真空対応の各種導入機です。 CMS シリーズは電流・電圧、TDU シリーズは回転運動、TSU シリーズは直線運動を大気側から超高真空容器内に漏れなく導入する端子です。 TVU シリーズは、大気側から超高真空容器内を広視野で観察するための覗窓です。 【ラインナップ】 ○電流導入端子 C M S シリーズ ○超高真空回転導入端子 T D U シリーズ ○超高真空直線導入端子 TSU シリーズ ○超高真空ゼロレングス覗窓 TVU シリーズ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。【アルバック／ULVAC】
HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。 EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。 【ラインナップ】 ○HPS-600N ○HPS-1000N ○EGC-10GS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
メンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。【アルバック／ULVAC】
EGNシリーズは、新たにメンテナンス性の向上に主軸を置いて開発した金属蒸着用電子ビーム蒸発源です。 フラットトップ構造および15mmハースデッキの採用により、電子ビーム蒸発源への着膜面積が少なくなり、高いメンテナンス性を実現しております。 【仕様】 ○電子ビーム偏向角度 270° ○るつぼ数 6 ○冷却水量 10L/min ○外形（W×D×H） 260mm×340mm×144mm ○重量 28kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
測定精度向上！真空計の状態確認が一目でわかるLEDを搭載しています。【アルバック／ULVAC】
真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化。 三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においてもお役立て頂けます。 【特徴】 ○三極管型メタル電離真空計（特許申請中） ○測定子が小型・メタル製 ○広帯域測定 ○異なる測定範囲の測定子が接続可能 ○正確な大気圧測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバック／ULVAC】
A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。 異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは各々6台まで並列運転可能。複数台のA2Kの出力パルス同期が可能です。 既設装置にも簡単に取り付けでき、低コストでの歩留り・スループットの向上を実現します。 【特徴】 ○高スループット ○基板ダメージの低減 ○基板温度の抑制 ○簡易な接続性 ○逆パルス周波数の変更可 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
低振動・低騒音を実現！真空包装・吸着搬送に最適な長寿命ロータリ真空ポンプ
ロータリ真空ポンプ「RPV06」は、特殊ロータ形状の採用で、省スペース化と業界トップレベルの高効率を実現！同じ消費電力で高い排気速度を得られるので省エネに貢献します。また、ロータをはじめとした回転部は、振動を抑えた設計に徹底しており、振動も少なく運転音も静かです。 マグネットカップリングの採用により、シール部には摺動がなく、高い耐久性でシール摩耗によるメンテナンスは不要です。また、摺動シールによる発熱がなく、強制空冷方式による冷却と合わせて、低発熱を実現しています。 材質には、自己潤滑性・耐摩耗性に優れたスーパーエンプラを使用し、表面に特殊処理を施すことで、軽量・長寿命化に貢献しています。 グリースには低発塵性・低揮発性の真空用クリーングリースを使用し給油は不要。少ない摺動部と合わせて、摩耗粉飛散による周囲環境への汚染を抑えています。もちろんRoHS指令、CEマーキングにも対応しています。 2連直列接続・2連並列接続・3連並列接続タイプを用意。充実したオプションでニーズに合わせた運用が可能です。
