更新日： 集計期間:2025年08月20日～2025年09月16日
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外装SUSは仕様！CR内に対応した洗浄装置、剥離装置
ヴァリアス社製の「自動洗浄装置、レジスト剥離装置」は、 多種の洗浄物に対応した洗浄レシピを搭載。 処理能力に対応した自動搬送型で、剥離液にはリークの無い配管を使用。 ポンプもシールレス採用しています。 【特徴】 ○溶剤により防爆仕様対応 ○超音波は各メーカー、周波数に対応 ○装置内はFFU搭載も可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
量産現場向け 高信頼性自動スクラブ洗浄装置
■「CMP後や研磨後洗浄」「受け入れ洗浄」「Final洗浄」としての量産現場に最適 ■マスクのコンタクト露光時に付着した「レジスト除去」にも対応可能 ■2-チャンバー構成で1.8分/枚にも対応実績有り ■「反転機能」「ブラシ押込み量設定機能」「CO2イオナイザー」等のオプション対応が可能 ■ベベル部汚れには「高圧Jet」「DIW2流体」で対応 ■裏面コンタミフリーを基本コンセプト ◎真空チャックはコンタクト部の汚染があるため基本使いません ◎裏面リンス機能は標準搭載です。 ※詳しくはPDF資料をダウンロードいただくか、気軽にお問い合わせ下さい。 ※類似機種の《フォトマスク洗浄機》カタログも参照ください。 ウエハ、枚葉式洗浄装置、基板洗浄装置、スピン洗浄装置、半導体製造装置、半導体、レジスト剥離装置、メガソニック、基板クリーニング装置、洗浄装置、レジスト、フォトレジスト、フォトリソ工程、シリコン、スクラブ洗浄装置、スクラブ洗浄、ウエハ洗浄装置、ウエハ洗浄機、搬送装置
ブラシを使わず、セイロや搬送用コンテナの洗浄を一気に能率アップ！
当製品は、複数の回転式高圧ノズルにより、汚れの隅々まで綺麗に洗浄が できる自動洗浄機です。 ブラシの代わりに高圧を使うため、ブラシ毛などの付着はしません。 直進ノズル使用により、扇形ノズルに比べ数段上の洗浄力を発揮。 高圧洗浄とブローが可能です。 その他、「高圧温水式自動部品洗浄機」もご用意しております。 【特長】 ■高圧洗浄とブローが可能 ■ベルトコンベア式(速度可変)で洗浄能率アップ ■主要部分は高級ステンレス製 ■キャスター付なので設置が簡単 ■セイロとコンテナの両方を洗浄可能 など ※別途、高圧洗浄機が必要です。(HW-2002NE)クラスの洗浄機を推奨。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ネット／金属メッシュ・コンベアベルトの汚れは、コンベアベルト自動洗浄機で解決
コンベア自動洗浄機は、食品業界をはじめ、あらゆる産業分野で使用されています。例えば、食品業界ではコンベア自動洗浄機で搬送しながら、いろいろな加工を行っていますが、その時に問題になるのがコンベアベルトの汚れです。このコンベアベルトの汚れを落とすのに時間がかかってしまいます。（株）小松原が開発しましたＦＶワッシャーを、コンベア装置に組み込んでいただければ、洗浄はこのＦＶワッシャーが行ってくれます。
シンプル設計でハイパフォーマンス洗浄！
長短２種類の毛丈と高耐久繊維を植毛した新開発の平型ブラシユニットが、大切な版面を優しく、深くブラッシング。 【エアーノズル式水切り装置 + プレート傾斜搬送方式】によるダブル機構で版上の滞留水を効果的に除去。 版の洗浄に必要な機能だけに絞るシンプル設計で、新開発機構により抜群の「洗浄力」を堅持したままコストダウンを実現。
