ガス精製フィルター『250シリーズ』
様々なガスから不純物を除去!
『250シリーズ』は、最大流量10slpm・公称流量2.0slpmのガス精製フィルターです。 窒素や希ガス、水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた 様々なガスから不純物を除去するように設計されています。 ガスに含まれる不純物はほとんどの場合、1ppb未満にまで除去されます。 【特長】 ■用途に合わせて柔軟に対応できるように設計 ■流量を基準とした各サイズに加えて多種多様なバルブ形状 およびフィルター形状も取り揃え ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
- 企業:アップ・テック・ジャパン株式会社
- 価格:応相談