光学式なのに「垂直焦点」でナノスケールの「実測」を可能に。
■高速連続スキャン ■光学プロファイラー ■実測(ステッチングなし)■サンプル簡単準備
表面特性評価用のリアルナノ3Dプロフィロメーター
ナノビア社のリアルナノ3D表面検査装置は、「粗さ測定」「テクスチャ分析」「段差・高さ評価」のための高精度の表面特性評価を提供します。高度なクロマティックライト技術を使用した非接触プロファイロメーターは、「コーティング」「半導体」「医療機器」「航空宇宙材料」など多岐にわたる再現性のある高解像度の表面計測を提供します。
1)400mm2×200mm/s 高速連続スキャン※ST500
◎400 x 400mmのX-Y軸移動で最高速度200mm/s。
◎384,000点/秒の比類なき超高速スキャン。
2)ナノビア社独自の新方式「多彩色光センサー測定」
◎白色光を波長ごとに分割。
◎光の波長を利用して物理的な高さを正確に測定。
3)ステッチ不要の垂直焦点 ステッチングなしの実測データ
◎表面から反射する物理波長を直接測定。
◎データポイントを連続的に収集。
4)サンプル前処理なし サンプル簡単準備
◎鮮明画像。
◎リフォーカスなし。