電動アクチュエータ CMX (精密ステージ) [THK公式]
画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ(特許取得済)
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX(アライメントステージ)は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装置、プリント基板製造装置・検査装置、太陽電池製造装置・検査装置、電子デバイス製造装置・検査装置など、様々な分野の装置に使用されております。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、2DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
- 企業:THK株式会社
- 価格:応相談